【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体器件加工领域，尤其是双轴同心度检测调节方法及双轴加工设备。
技术介绍
1、双轴划片机是一种常用的晶圆加工设备。授权公告号为cn113492468b的专利技术专利揭示了一种典型的双轴划片机。
2、由于设备组装时存在装配公差，会导致双轴划片机的两个主轴之间不能保持同轴的状态，这就在一定程度上影响了切割质量。现有的双轴划片机缺少对于两个主轴的同心状态的检测，不便于装配式快速地使双轴同心度满足要求。
技术实现思路
1、本专利技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种双轴同心度检测调节方法及双轴加工设备。
2、本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：
3、双轴同心度检测调节方法，基于同心度检测装置，所述同心度检测装置包括激光发射器和激光接收板，所述激光发射器设置于第一主轴上且其发出的激光与所述第一主轴的轴线平行，所述激光发射器的发射端朝向所述第二主轴上设置的所述激光接收板，所述激光接收板与所述第二主轴的轴线垂直，所述检测方法包括如下步骤：
4、s1，调节所述第二主轴以使所述激光接收板与第一水平方向垂直；
5、s2,使所述激光发射器向所述激光接收板发射激光；
6、s3,根据所述激光发射器发出的激光在所述激光接收板上的位置确定所述第一主轴的轴线是否平行于第一水平方向，若否，则执行s4；若是，则执行s5；
7、s4，调整所述第一主轴的位置以使第一主轴的轴线平行于第一水平方向，调整后
8、s5,确定所述激光发射器发出的激光在所述激光接收板上的实际位置与理想位置之间的位置偏差是否在阈值内；
9、s6,若是，则确定所述第一主轴和第二主轴的同心度符合要求；
10、s7,若否，则调整所述第一主轴和/或第二主轴的位置以使所述激光发射器发出的激光在所述激光接收板上的位置与理想位置之间的位置偏差在阈值内。
11、优选的，所述双轴同心度检测调节方法中，所述s3包括：
12、s31,沿所述第一水平方向移动所述第一主轴和/或第二主轴以使它们之间的间距增大或减小；
13、s32，在第一主轴和/或第二主轴移动过程中或移动至预定位置后，确定所述激光发射器发出的激光在所述激光发射板上的位置是否偏移；
14、s33,若是,则确定所述第一主轴的轴线未平行于第一水平方向；
15、s34,若否，则确定所述第一主轴的平行于第一水平方向。
16、优选的，所述双轴同心度检测调节方法中，所述s33中，在确定所述第一主轴的轴线未平行于第一水平方向时，确定所述第一主轴的偏差方向并通过显示器进行显示。
17、优选的，所述双轴同心度检测调节方法中，所述s4中，人工根据所述偏移距离和偏移方向调整所述第一主轴所在的第一连接件以使所述第一主轴调整到其轴线平行于第一水平方向的状态。
18、优选的，所述双轴同心度检测调节方法中，所述第一主轴和第二主轴同心时，所述激光发射器发出的激光照射在所述激光反射板的中心，所述理想位置是所述激光反射板的中心。
19、优选的，所述双轴同心度检测调节方法中，所述s5中，使所述第一主轴和第二主轴分别处于下极限位置时，确定所述激光发射器发出的激光在所述激光接收板上的实际位置与理想位置之间的位置偏差是否在阈值内。
20、优选的，所述双轴同心度检测调节方法中，所述s5中，当确定所述实际位置与理想位置在第二水平方向和铅垂方向的距离均小于0.1mm时，确定所述第一主轴和第二主轴的同心度符合要求；反之，确定所述第一主轴和第二主轴的同心度不符合要求；所述第二水平方向垂直于所述第一水平方向。
21、优选的，所述双轴同心度检测调节方法中，当确定所述第一主轴和第二主轴的同心度不符合要求时，通过显示器显示出理想位置与实际位置的偏差方向及它们在第二水平方向和铅垂方向的偏差距离。
22、优选的，所述双轴同心度检测调节方法中，在加工过程中，实时根据所述激光接收板的信号确定所述第一主轴和第二主轴的同心度是否符合要求，若是，则继续进行加工，若否，则停止加工。
23、双轴加工设备，包括第一主轴和第二主轴，还包括同心度检测装置，所述同心度检测装置包括激光发射器和激光接收板，所述激光发射器设置于第一主轴上且其发出的激光与所述第一主轴的轴线平行，所述激光发射器的发射端朝向所述第二主轴上设置的所述激光接收板，所述激光接收板与所述第二主轴的轴线垂直。
24、本专利技术技术方案的优点主要体现在：
25、本专利技术在第一主轴和第二主轴上设置相匹配的激光发射器和激光接收板，在设备组装过程中，通过激光发射器向激光接收板发射激光，在确定激光接收板与第一水平方向垂直的情况下，能够根据激光接收板的信号快速地确定第一主轴的轴线是否与第一水平方向平行，进而进行第一主轴的快速调整，在第一主轴调整到位后，能够快速地根据激光接收板的信号确定第一主轴和第二主轴的同心度是否符合要求，从而能够快速地进行第二主轴的调整以使第一主轴和第二主轴符合要求，有利于提高后续的切割质量。
26、本专利技术在确定所述第一主轴的轴线是否平行于第一水平方向时，是通过使第一主轴和/或第二主轴沿第一水平方向移动，这样不需要人工进行测量，只需要人工控制移动结构即可，操作更简单，检测效率更高，准确性更好。
27、本专利技术在确定第一主轴的轴线未平行于第一水平方向及第一主轴和第二主轴的同心度不符合要求时，能够确定出纠偏方向和纠偏距离，能够方便工作人员快速、准确地进行设备的调试。
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1.双轴同心度检测调节方法，其特征在于：基于同心度检测装置，所述同心度检测装置包括激光发射器和激光接收板，所述激光发射器设置于第一主轴上且其发出的激光与所述第一主轴的轴线平行，所述激光发射器的发射端朝向所述第二主轴上设置的所述激光接收板，所述激光接收板与所述第二主轴的轴线垂直，所述检测方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述S3包括：
3.根据权利要求2所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述S33中，在确定所述第一主轴的轴线未平行于第一水平方向时，确定所述第一主轴的偏差方向并通过显示器进行显示。
4.根据权利要求3所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述S4中，人工根据所述偏移距离和偏移方向调整所述第一主轴所在的第一连接件以使所述第一主轴调整到其轴线平行于第一水平方向的状态。
5.根据权利要求1所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述第一主轴和第二主轴同心时，所述激光发射器发出的激光照射在所述激光反射板的中心，所述理想位置是所述激光反射板的中心。
6.根据权
7.根据权利要求1所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述S5中，当确定所述实际位置与理想位置在第二水平方向和铅垂方向的距离均小于0.1mm时，确定所述第一主轴和第二主轴的同心度符合要求；反之，确定所述第一主轴和第二主轴的同心度不符合要求；所述第二水平方向垂直于所述第一水平方向。
8.根据权利要求1所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：当确定所述第一主轴和第二主轴的同心度不符合要求时，通过显示器显示出理想位置与实际位置的偏差方向及它们在第二水平方向和铅垂方向的偏差距离。
9.根据权利要求1-8任一所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：在加工过程中，实时根据所述激光接收板的信号确定所述第一主轴和第二主轴的同心度是否符合要求，若是，则继续进行加工，若否，则停止加工。
10.双轴加工设备，包括第一主轴和第二主轴，其特征在于：还包括同心度检测装置，所述同心度检测装置包括激光发射器和激光接收板，所述激光发射器设置于第一主轴上且其发出的激光与所述第一主轴的轴线平行，所述激光发射器的发射端朝向所述第二主轴上设置的所述激光接收板，所述激光接收板与所述第二主轴的轴线垂直。
...【技术特征摘要】
1.双轴同心度检测调节方法，其特征在于：基于同心度检测装置，所述同心度检测装置包括激光发射器和激光接收板，所述激光发射器设置于第一主轴上且其发出的激光与所述第一主轴的轴线平行，所述激光发射器的发射端朝向所述第二主轴上设置的所述激光接收板，所述激光接收板与所述第二主轴的轴线垂直，所述检测方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述s3包括：
3.根据权利要求2所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述s33中，在确定所述第一主轴的轴线未平行于第一水平方向时，确定所述第一主轴的偏差方向并通过显示器进行显示。
4.根据权利要求3所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述s4中，人工根据所述偏移距离和偏移方向调整所述第一主轴所在的第一连接件以使所述第一主轴调整到其轴线平行于第一水平方向的状态。
5.根据权利要求1所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述第一主轴和第二主轴同心时，所述激光发射器发出的激光照射在所述激光反射板的中心，所述理想位置是所述激光反射板的中心。
6.根据权利要求1所述的双轴同心度检测调节方法，其特征在于：所述s5中，使所述第一主轴和第二主轴分别处于下极限位置时，确定所述激光...
【专利技术属性】
技术研发人员：周井鑫，刘炳先，孙志超，吕孝袁，高阳，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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