一种硅片检测机构及硅片传输线制造技术

技术编号:40891304 阅读:15 留言:0更新日期:2024-04-08 18:34
本技术提供了一种硅片检测机构及硅片传输线,目的是解决现有硅片检测装置无法对偏移量很大的硅片进行识别,也没有在传输线前端将大角度硅片剔除的技术问题。该装置包括:机架;第一传输带,安装于所述机架上;检测组件,包括四个第一检测板和设置于所述第一检测板一端的第一传感器,四个第一检测板两两为一组分别设置于所述第一传输带两侧,且四个第一传感器分别与第一传输带上的硅片的四个角位置相对应。本技术检测机构通过安装在四个角的第一传感器能有效检测出硅片是否碎片,还能对偏移量很大的硅片进行识别,通过将大角度产品识别出来,能降低大角度产品在后续传输过程中被损坏的风险。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片传输,尤其是涉及一种硅片检测机构及硅片传输线


技术介绍

1、在硅片生产线上,需要将硅片从一个工位转移至另一个工位,传输过程中,由于各种不可控制的因素会导致硅片出现碎裂或出现较大偏移,而现有的检测装置大多只对碎片进行识别,而且通常是将硅片传输到最后端,通过设置在最后端的检测装置单独进行检测识别,并配合后端设置的剔除设备将不合格硅片剔除,这样偏移量很大(大角度)的硅片到最后端再进行处理会存在将产品弄碎的风险,降低了产品的合格率。


技术实现思路

1、针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本技术的目的是提供一种硅片检测机构及硅片传输线,解决了现有硅片检测装置无法对偏移量很大的硅片进行识别,也没有在传输线前端将大角度硅片剔除的技术问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:

3、一种硅片检测机构,包括:机架;第一传输带,安装于所述机架上;检测组件,包括四个第一检测板和设置于所述第一检测板一端的第一传感器,四个第一检测板两两为一组分别设置于所述第一传输带两侧,且四个第一传感器分别与第一传输带上的硅片的四个角位置相对应。由于硅片产品的特性,其碎片基本是沿四个角碎,本技术检测机构通过安装在四个角的第一传感器能有效检测出硅片是否碎片。而且,还能对偏移量很大的硅片进行识别,即:当第一传输带上的硅片出现碎片或大角度时,那么就会有一个角的第一传感器没有识别,系统就会判断这个产品不合格,当该不合格产品到达下一工序(剔除机构),将其剔除。通过将大角度产品识别出来,能降低大角度产品在后续传输过程中被损坏的风险。

4、可选的,机架包括彼此平行、且间隔设置的两组支架,所述支架中部位置处固定有连接块,所述连接块一端延伸至第一传输带外侧,每一个连接块上分别连接有两个第一检测板,两个第一检测板一端与连接块连接,另一端分别向皮带的两端延伸,第一传感器远离连接块设置。

5、可选的,两个支架之间的中部位置处固定有横板,所述横板上设置有两组第二检测板,两个第二检测板一端与横板连接,另一端分别向第一传输带的两端延伸,两个第二检测板上远离横板的一端均设置有第二传感器,两第二传感器相远离设置。

6、可选的,所述第一检测板和第二检测板可调节设置,所述第一检测板和第二检测板上均开设有调节槽,所述连接块和横板上分别开设有与调节槽相适配的定位孔,检测板通过定位件穿过调节槽和定位孔进行固定。

7、可选的,所述第一传输带包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带,所述皮带绕设在多个传送辊上,所述传送辊设置在所述机架外侧,所述皮带由设置在机架下方的电机驱动。

8、可选的,所述机架的数量为多个,多个机架沿水平方向依次并列排布在基座上,每一个机架上均安装有第一传输带、检测组件和电机。

9、一种硅片传输线,包括硅片检测机构和剔除机构,所述剔除机构与所述硅片检测机构数量相适配、且运行方向一致,所述剔除机构的进料端和所述硅片检测机构的出料端对接,所述剔除机构的出料端设置有后段传输带和料盒,所述料盒位于所述后段传输带下方,所述硅片检测机构为上述所述的硅片检测机构。该传输线通过将硅片检测机构、剔除机构飞设置,在产品传输过程中就能将不合格(碎片或大角度硅片)的产品直接剔除,无需到下道工序进行单独检测剔除处理,可以简化工序,提高生产效率,还能节省设备费用。同时,在传输前端就能将大角度产品剔除到料盒里,能降低大角度产品在传输过程中被损坏的风险,减少碎片率。

10、可选的,所述剔除机构包括支撑架、传输架、第二传输带和气缸,所述传输架一端通过转轴与所述支撑架连接,所述第二传输带安装于所述传输架上,所述气缸设置于所述传输架下方,所述气缸可带动所述传输架和第二传输带绕所述转轴转动,所述硅片检测机构的传感器和所述气缸均与控制器电性连接,所述控制器接收传感器的检测信号并调控所述气缸与所述后段传输带或料盒对接。

11、可选的,所述支撑架靠近所述硅片检测机构设置,所述转轴安装于所述支撑架顶端,传输架一端与所述转轴连接,所述传输架可绕所述转轴转动,所述第二传输带安装于所述传输架外侧,所述第二传输带靠近所述支撑架的一端与硅片检测机构的出料端对接,第二传输带的另一端与后段传输带或料盒对接。

12、可选的,所述料盒包括支撑座和安装于所述支撑座上的盒体,所述盒体的底板从靠近剔除机构的一端向下倾斜设置。

13、可选的,所述盒体内侧壁和/或底壁上设置有柔性的垫片。通过料盒内侧设置的柔性垫片能保护产品不被划伤,减少碎片率。

14、与现有技术相比,本技术有益效果为:

15、由于硅片产品的特性,其碎片基本是沿四个角碎,本技术硅片检测机构通过安装在四个角的第一传感器能有效检测出硅片是否碎片。而且,还能对偏移量很大的硅片进行识别,即:当第一传输带上的硅片出现碎片或大角度时,那么就会有一个角的第一传感器没有识别,系统就会判断这个产品不合格。通过将大角度产品识别出来,能降低大角度产品在后续传输过程中被损坏的风险。本技术硅片传输线通过将硅片检测机构、剔除机构设置,在产品传输过程中就能将不合格(碎片或大角度硅片)的产品直接剔除,无需到下道工序进行单独检测剔除处理,可以简化工序,提高生产效率,还能节省设备费用。同时,在传输前端就能将大角度产品剔除到料盒里,能降低大角度产品在传输过程中被损坏的风险,减少碎片率。

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【技术保护点】

1.一种硅片检测机构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种硅片检测机构,其特征在于,机架(11)包括彼此平行、且间隔设置的两组支架(111),所述支架(111)中部位置处固定有连接块(112),所述连接块(112)一端延伸至所述第一传输带(12)外侧,每一个连接块(112)上分别连接有两个第一检测板(131),两个第一检测板(131)一端与所述连接块(112)连接,另一端分别向所述第一传输带(12)的两端延伸,所述第一传感器(132)远离所述连接块(112)设置。

3.根据权利要求2所述的一种硅片检测机构,其特征在于,所述机架的中部位置处固定有横板(113),所述横板(113)上设置有两组第二检测板(133),两第二检测板(133)的一端与横板(113)连接,另一端分别向第一传输带(12)的两端延伸,两个第二检测板(133)上远离横板(113)的一端均设置有第二传感器(134),两个第二传感器(134)相远离设置。

4.根据权利要求3所述的一种硅片检测机构,其特征在于,所述第一检测板(131)和第二检测板(133)可调节设置,所述第一检测板(131)和第二检测板(133)上均开设有调节槽(1311),所述连接块(112)和横板(113)上分别开设有与调节槽(1311)相适配的定位孔(1121),检测板通过定位件穿过调节槽(1311)和定位孔(1121)进行固定。

5.根据权利要求1所述的一种硅片检测机构,其特征在于,所述第一传输带(12)包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带(121),所述皮带(121)绕设在多个传送辊(122)上,所述传送辊(122)设置在所述机架(11)外侧,所述皮带(121)由设置在机架(11)下方的电机(123)驱动。

6.根据权利要求1~5中任意一项所述的一种硅片检测机构,其特征在于,所述机架(11)的数量为多个,多个机架(11)沿水平方向依次并列排布在基座(114)上,每一个机架(11)上均安装有第一传输带(12)和检测组件(13)。

7.一种硅片传输线,其特征在于,包括硅片检测机构(100)和剔除机构(200),所述剔除机构(200)与所述硅片检测机构(100)数量相适配、且运行方向一致,所述剔除机构(200)的进料端和所述硅片检测机构(100)的出料端对接,所述剔除机构(200)的出料端设置有后段传输带和料盒(300),所述料盒(300)位于所述后段传输带下方,所述硅片检测机构(100)为权利要求1~6中任一所述的一种硅片检测机构。

8.根据权利要求7所述的硅片传输线,其特征在于,所述剔除机构(200)包括支撑架(21)、传输架(22)、第二传输带(23)和气缸(24),所述传输架(22)一端通过转轴(211)与所述支撑架(21)连接,所述第二传输带(23)安装于所述传输架(22)上,所述气缸(24)设置于所述传输架(22)下方,所述气缸(24)可带动所述传输架(22)和第二传输带(23)绕所述转轴(211)转动,所述硅片检测机构(100)的传感器和所述气缸(24)均与控制器电性连接,所述控制器接收传感器的检测信号并调控所述气缸(24)与所述后段传输带或料盒(300)对接。

9.根据权利要求7所述的硅片传输线,其特征在于,所述料盒(300)包括支撑座(31)和安装于所述支撑座(31)上的盒体(32),所述盒体(32)的底板从靠近剔除机构的一端向下倾斜设置。

10.根据权利要求9所述的硅片传输线,其特征在于,所述盒体(32)内侧壁和/或底壁上设置有柔性的垫片。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片检测机构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种硅片检测机构,其特征在于,机架(11)包括彼此平行、且间隔设置的两组支架(111),所述支架(111)中部位置处固定有连接块(112),所述连接块(112)一端延伸至所述第一传输带(12)外侧,每一个连接块(112)上分别连接有两个第一检测板(131),两个第一检测板(131)一端与所述连接块(112)连接,另一端分别向所述第一传输带(12)的两端延伸,所述第一传感器(132)远离所述连接块(112)设置。

3.根据权利要求2所述的一种硅片检测机构,其特征在于,所述机架的中部位置处固定有横板(113),所述横板(113)上设置有两组第二检测板(133),两第二检测板(133)的一端与横板(113)连接,另一端分别向第一传输带(12)的两端延伸,两个第二检测板(133)上远离横板(113)的一端均设置有第二传感器(134),两个第二传感器(134)相远离设置。

4.根据权利要求3所述的一种硅片检测机构,其特征在于,所述第一检测板(131)和第二检测板(133)可调节设置,所述第一检测板(131)和第二检测板(133)上均开设有调节槽(1311),所述连接块(112)和横板(113)上分别开设有与调节槽(1311)相适配的定位孔(1121),检测板通过定位件穿过调节槽(1311)和定位孔(1121)进行固定。

5.根据权利要求1所述的一种硅片检测机构,其特征在于,所述第一传输带(12)包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带(121),所述皮带(121)绕设在多个传送辊(122)上,所述传送辊(122)设置在所述机架(11)外侧,所述皮带(121)由设置在机架(11)下方的电机(123)驱动。

【专利技术属性】
技术研发人员:易政肖长力夏子豪
申请(专利权)人:苏州斯玛图智能设备有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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