【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅粉料合成，具体而言，涉及一种碳化硅粉料合成坩埚和碳化硅粉料合成设备。
技术介绍
1、目前碳化硅粉料合成大都使用感应线圈式加热炉，因感应炉本身存在径向温梯较大等局限，大公斤生产会造成内部温度不足，反应不完全等缺陷，因此无法实现碳化硅粉料的大公斤生产。而碳化硅产业化迫切需要可满足大公斤量产碳化硅粉料设备和配套工艺。
2、进一步地，现有技术中出现了电阻式加热炉，电阻式加热炉在大公斤粉料合成中，可提供稳定、较小的径向梯度，能满足各区粉料充分反应条件，且轴向梯度可自主调节，可实现碳化硅粉料大公斤量产。然而，现有的电阻式加热炉在进行粉料合成时，在排杂过程中会排出大量的挥发物，该挥发物中部分气体具有腐蚀性，例如硅气，会对电阻式石墨加热器和石墨热场造成腐蚀，影响其使用寿命。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种碳化硅粉料合成坩埚和碳化硅粉料合成设备，其能够对挥发气体进行过滤，有效消除腐蚀气体的外溢，避免对外部石墨结构进行腐蚀，提升了整体设备的使用寿命。
2、本技术的实施例是这样实现的：
3、第一方面，本技术提供一种碳化硅粉料合成坩埚，包括坩埚本体、坩埚盖和过滤装置，所述坩埚本体用于容纳合成原料，所述坩埚盖设置在所述坩埚本体上，所述过滤装置罩设在所述坩埚本体的顶部，并覆盖在所述坩埚盖上，且所述过滤装置所述坩埚本体可拆卸连接，所述过滤装置用于过滤所述坩埚本体外溢的腐蚀气体。
4、在可选的实施方式中，所述过滤装置包括过滤盖和滤芯，所述
5、在可选的实施方式中，所述过滤盖的顶侧设置有过滤孔，所述过滤孔与所述过滤腔连通，所述滤芯封堵于所述过滤孔，所述过滤孔用于排出过滤后的气体。
6、在可选的实施方式中，所述坩埚本体的顶部还设置有导流孔，所述导流孔与所述过滤腔连通。
7、在可选的实施方式中，所述滤芯包括石墨软毡，所述石墨软毡填充于所述过滤腔，并封堵于所述过滤孔和所述导流孔。
8、在可选的实施方式中，所述过滤盖包括顶盖板、侧围板和连接环，所述顶盖板间隔设置在所述坩埚盖上方，所述侧围板设置在所述顶盖板周围，并与所述坩埚本体的顶部相间隔，所述连接环设置在所述侧围板的底部，并可拆卸地连接于所述坩埚本体的顶部。
9、在可选的实施方式中，所述坩埚本体的顶部的周壁设置有螺纹，所述连接环螺纹装配在所述坩埚本体的周壁上。
10、在可选的实施方式中，所述坩埚本体内还设置有多孔隔板，所述多孔隔板将所述坩埚本体的内腔分隔成上合成区和下合成区，所述上合成区和所述下合成区均用于容纳所述合成原料。
11、在可选的实施方式中，所述多孔隔板包括石墨隔板，所述坩埚本体的内壁还设置有安装座，所述石墨隔板的边缘放置在所述安装座上。
12、第二方面，本技术提供一种碳化硅粉料合成设备，包括电阻式加热炉和如前述实施方式任一项所述的碳化硅粉料合成坩埚，所述碳化硅粉料合成坩埚放置在所述加热炉内，所述电阻式加热炉内设置有多个电阻加热器，所述电阻加热器围设在所述坩埚本体的四周。
13、本技术实施例的有益效果包括：
14、本技术实施例提供的碳化硅粉料合成坩埚和碳化硅粉料合成设备，通过在坩埚本体的顶端设置过滤装置，该过滤装置覆盖在坩埚盖上，并与坩埚本体可拆卸连接，同时可以通过该过滤装置来过滤掉坩埚本体外溢的腐蚀气体，从而使得排杂过程中不会向外排出腐蚀气体，避免了腐蚀气体对外部石墨结构的腐蚀。相较于现有技术，本技术提供的碳化硅粉料合成坩埚，能够对挥发气体进行过滤，有效消除腐蚀气体的外溢，避免对外部石墨结构进行腐蚀，提升了整体设备的使用寿命。
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1.一种碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，包括坩埚本体(110)、坩埚盖(130)和过滤装置(150)，所述坩埚本体(110)用于容纳合成原料，所述坩埚盖(130)设置在所述坩埚本体(110)上，所述过滤装置(150)罩设在所述坩埚本体(110)的顶部，并覆盖在所述坩埚盖(130)上，且所述过滤装置(150)所述坩埚本体(110)可拆卸连接，所述过滤装置(150)用于过滤所述坩埚本体(110)排出的腐蚀气体。
2.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述过滤装置(150)包括过滤盖(151)和滤芯(153)，所述过滤盖(151)罩设在所述坩埚本体(110)的顶部和所述坩埚盖(130)外，且所述过滤盖(151)与所述坩埚本体(110)的周壁可拆卸连接，并在内部形成过滤腔，所述滤芯(153)设置在过滤腔中，用于过滤所述腐蚀气体。
3.根据权利要求2所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述过滤盖(151)的顶侧设置有过滤孔(155)，所述过滤孔(155)与所述过滤腔连通，所述滤芯(153)封堵于所述过滤孔(155)，所述过滤孔(155)用于排出过
4.根据权利要求3所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述坩埚本体(110)的顶部还设置有导流孔(111)，所述导流孔(111)与所述过滤腔连通。
5.根据权利要求4所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述滤芯(153)包括石墨软毡，所述石墨软毡填充于所述过滤腔，并封堵于所述过滤孔(155)和所述导流孔(111)。
6.根据权利要求2所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述过滤盖(151)包括顶盖板(157)、侧围板(158)和连接环(159)，所述顶盖板(157)间隔设置在所述坩埚盖(130)上方，所述侧围板(158)设置在所述顶盖板(157)周围，并与所述坩埚本体(110)的顶部相间隔，所述连接环(159)设置在所述侧围板(158)的底部，并可拆卸地连接于所述坩埚本体(110)的顶部。
7.根据权利要求6所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述坩埚本体(110)的顶部的周壁设置有螺纹，所述连接环(159)螺纹装配在所述坩埚本体(110)的周壁上。
8.根据权利要求1-7任一项所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述坩埚本体(110)内还设置有多孔隔板(170)，所述多孔隔板(170)将所述坩埚本体(110)的内腔分隔成上合成区和下合成区，所述上合成区和所述下合成区均用于容纳所述合成原料。
9.根据权利要求8所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述多孔隔板(170)包括石墨隔板，所述坩埚本体(110)的内壁还设置有安装座(171)，所述石墨隔板的边缘放置在所述安装座上。
10.一种碳化硅粉料合成设备，其特征在于，包括电阻式加热炉和如权利要求1-9任一项所述的碳化硅粉料合成坩埚，所述碳化硅粉料合成坩埚放置在所述电阻式加热炉内，所述电阻式加热炉内设置有多个电阻加热器，所述电阻加热器围设在所述坩埚本体(110)的四周。
...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，包括坩埚本体(110)、坩埚盖(130)和过滤装置(150)，所述坩埚本体(110)用于容纳合成原料，所述坩埚盖(130)设置在所述坩埚本体(110)上，所述过滤装置(150)罩设在所述坩埚本体(110)的顶部，并覆盖在所述坩埚盖(130)上，且所述过滤装置(150)所述坩埚本体(110)可拆卸连接，所述过滤装置(150)用于过滤所述坩埚本体(110)排出的腐蚀气体。
2.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述过滤装置(150)包括过滤盖(151)和滤芯(153)，所述过滤盖(151)罩设在所述坩埚本体(110)的顶部和所述坩埚盖(130)外，且所述过滤盖(151)与所述坩埚本体(110)的周壁可拆卸连接，并在内部形成过滤腔，所述滤芯(153)设置在过滤腔中，用于过滤所述腐蚀气体。
3.根据权利要求2所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述过滤盖(151)的顶侧设置有过滤孔(155)，所述过滤孔(155)与所述过滤腔连通，所述滤芯(153)封堵于所述过滤孔(155)，所述过滤孔(155)用于排出过滤后的气体。
4.根据权利要求3所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述坩埚本体(110)的顶部还设置有导流孔(111)，所述导流孔(111)与所述过滤腔连通。
5.根据权利要求4所述的碳化硅粉料合成坩埚，其特征在于，所述滤芯(153)包括石墨软毡，所述石墨软毡填充于所述过滤腔，并封堵于所述过滤孔(1...
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