【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片检测,特别是涉及一种除尘复检装置及除尘设备。
技术介绍
1、成像领域的电子产品(例如手机、相机、车载摄像头以及监控摄像头等产品)在封装生产过程中,需对cmos(complementary metal-oxide-semiconductor,互补金属氧化物半导体)或ccd(charge-coupled device,电荷耦合元件)芯片进行表面灰尘的探测及除尘。
2、在检测结束后,需根据检测结果对需除尘的芯片进行除尘。然而,传统的除尘设备仅能执行简单的除尘动作,除尘效果差。为了提高除尘质量,一种思路是除尘后对产品进行复测,对复测不合格的产品进行再次除尘。然而,传统的产品复测设备一般采用ccd相机拍照手段进行灰尘识别,识别效果差,容易误判或漏判。
技术实现思路
1、基于此,有必要针对现有技术中的除尘设备存在除尘效果差、复测容易误判或漏判的问题,提供一种改善上述缺陷的除尘复检装置及除尘设备。
2、一种除尘复检装置,包括:
3、除尘模块,包括除尘组件和除尘驱动组件,所述除尘组件设置在所述除尘驱动组件的驱动端,所述除尘驱动组件用于驱动所述除尘组件运动至位于除尘工位的载盘上待除尘的感光产品处,以对所述载盘上待除尘的感光产品进行除尘;及
4、复检模块,包括测试组件及检测驱动组件,所述测试组件设置在所述检测驱动组件的驱动端,所述检测驱动组件用于驱动所述测试组件运动至位于所述除尘工位的所述载盘上完成除尘的感光产品处;所述测试组件具有电连接头
5、在其中一个实施例中,所述除尘组件包括除尘驱动件和除尘夹紧件,所述除尘驱动件安装在所述除尘驱动组件的驱动端,所述除尘夹紧件安装在所述除尘驱动件的驱动端,且用于夹持除尘棒;所述除尘驱动件用于驱动所述除尘夹紧件伸出或缩回,还用于驱动所述除尘夹紧件旋转。
6、在其中一个实施例中,所述除尘模块还包括用于储存除尘棒的除尘棒缓存组件,所述除尘驱动组件还用于驱动所述除尘组件运动至所述除尘棒缓存组件处,以使所述除尘组件将使用过的除尘棒释放至所述除尘棒缓存组件,并拾取所述除尘棒缓存组件储存的未使用的除尘棒。
7、在其中一个实施例中,所述除尘棒缓存组件包括基座及缓存盘,所述缓存盘设置在所述基座上,且具有沿所述缓存盘的周向间隔布设的多个缓存部,所述缓存部用于缓存除尘棒;所述缓存盘可受控地相对所述基座绕自身轴线旋转。
8、在其中一个实施例中,所述复检模块还包括安装在所述除尘驱动组件的驱动端的光源组件,所述除尘驱动组件用于驱动所述光源组件运动至位于所述除尘工位的所述载盘上完成除尘的感光产品处,所述光源组件用于对所述载盘上完成除尘的感光产品进行光照。
9、在其中一个实施例中,所述复检模块还包括镜头组件,所述镜头组件安装在所述除尘驱动组件或所述光源组件上;所述镜头组件具有镜头,所述镜头位于所述光源组件的出光测,以使所述光源组件发出的光线穿过所述镜头并照射在所述载盘上的完成除尘的感光产品上。
10、在其中一个实施例中,所述除尘复检装置还包括输送模块,所述输送模块包括输送组件、压紧组件和限位板,所述输送组件用于将所述载盘输送至所述除尘工位,所述除尘工位位于所述压紧组件和所述限位板之间;所述压紧组件可受控地将位于所述除尘工位的所述载盘压紧在所述限位板上。
11、在其中一个实施例中,所述输送组件包括两个第二输送单元和第二间距调节机构,两个所述第二输送单元用于共同支撑并输送所述载盘;
12、所述第二间距调节机构与两个所述第二输送单元中的至少一者传动连接,以驱动两个所述第二输送单元彼此靠近或远离。
13、在其中一个实施例中,所述压紧组件和所述载盘的其中一者具有定位销,其中另一者具有定位孔;
14、当位于所述除尘工位的所述载盘被压紧至所述限位板时,所述定位销定位配合于所述定位孔内。
15、一种除尘设备,包括检测装置及如上任一实施例中所述的除尘复检装置;
16、所述检测装置用于与位于检测工位的所述载盘上的各个感光产品电连接,并控制所述载盘上的各个感光产品进行成像;所述除尘组件用于根据成像结果对流转至所述除尘工位的所述载盘上的感光产品进行除尘。
17、上述除尘复检装置及除尘设备,在检测工位载盘上的各个感光产品测试完毕之后,载盘再流转至除尘工位。然后,除尘驱动组件驱动除尘组件运动至载盘上的被判定为存在灰尘的感光产品处,使得除尘组件对该感光产品进行除尘。完成除尘后,检测驱动组件驱动测试组件运动至除尘工位的载盘上完成除尘的感光产品处,使得测试组件与该完成除尘的感光产品电连接,并控制该完成除尘的感光产品进行成像。根据该成像结果能够判定该完成除尘的感光产品上是否还存在灰尘,如判定还存在灰尘,则利用除尘组件再次对该感光产品进行除尘或者在后续工序中将该感光产品剔除,从而大大降低了误判和漏判率,避免存在灰尘的感光产品流入后续生产工序。
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1.一种除尘复检装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的除尘复检装置,其特征在于,所述除尘组件(21)包括除尘驱动件(210)和除尘夹紧件(213),所述除尘驱动件(210)安装在所述除尘驱动组件(22)的驱动端,所述除尘夹紧件(213)安装在所述除尘驱动件(210)的驱动端,且用于夹持除尘棒(B);所述除尘驱动件(210)用于驱动所述除尘夹紧件(213)伸出或缩回,还用于驱动所述除尘夹紧件(213)旋转。
3.根据权利要求2所述的除尘复检装置,其特征在于,所述除尘模块还包括用于储存除尘棒(B)的除尘棒缓存组件(30),所述除尘驱动组件(22)还用于驱动所述除尘组件(21)运动至所述除尘棒缓存组件(30)处,以使所述除尘组件(21)将使用过的除尘棒(B)释放至所述除尘棒缓存组件(30),并拾取所述除尘棒缓存组件(30)储存的未使用的除尘棒(B)。
4.根据权利要求3所述的除尘复检装置,其特征在于,所述除尘棒缓存组件(30)包括基座(301)及缓存盘(302),所述缓存盘(302)设置在所述基座(301)上,且具有沿所述缓存盘(302)
5.根据权利要求1所述的除尘复检装置,其特征在于,所述复检模块还包括安装在所述除尘驱动组件(22)的驱动端的光源组件(23),所述除尘驱动组件(22)用于驱动所述光源组件(23)运动至位于所述除尘工位(C)的所述载盘上完成除尘的感光产品处,所述光源组件(23)用于对所述载盘上完成除尘的感光产品进行光照。
6.根据权利要求5所述的除尘复检装置,其特征在于,所述复检模块还包括镜头组件,所述镜头组件安装在所述除尘驱动组件(22)或所述光源组件(23)上;所述镜头组件具有镜头,所述镜头位于所述光源组件(23)的出光测,以使所述光源组件(23)发出的光线穿过所述镜头并照射在所述载盘上的完成除尘的感光产品上。
7.根据权利要求1所述的除尘复检装置,其特征在于,所述除尘复检装置(2)还包括输送模块,所述输送模块包括输送组件(20)、压紧组件(28)和限位板(29),所述输送组件(20)用于将所述载盘输送至所述除尘工位(C),所述除尘工位(C)位于所述压紧组件(28)和所述限位板(29)之间;所述压紧组件(28)可受控地将位于所述除尘工位(C)的所述载盘压紧在所述限位板(29)上。
8.根据权利要求7所述的除尘复检装置,其特征在于,所述输送组件(20)包括两个第二输送单元(201)和第二间距调节机构(202),两个所述第二输送单元(201)用于共同支撑并输送所述载盘;
9.根据权利要求7所述的除尘复检装置,其特征在于,所述压紧组件(28)和所述载盘的其中一者具有定位销(283),其中另一者具有定位孔;
10.一种除尘设备,其特征在于,包括检测装置及如权利要求1至9任一项所述的除尘复检装置(2);
...【技术特征摘要】
1.一种除尘复检装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的除尘复检装置,其特征在于,所述除尘组件(21)包括除尘驱动件(210)和除尘夹紧件(213),所述除尘驱动件(210)安装在所述除尘驱动组件(22)的驱动端,所述除尘夹紧件(213)安装在所述除尘驱动件(210)的驱动端,且用于夹持除尘棒(b);所述除尘驱动件(210)用于驱动所述除尘夹紧件(213)伸出或缩回,还用于驱动所述除尘夹紧件(213)旋转。
3.根据权利要求2所述的除尘复检装置,其特征在于,所述除尘模块还包括用于储存除尘棒(b)的除尘棒缓存组件(30),所述除尘驱动组件(22)还用于驱动所述除尘组件(21)运动至所述除尘棒缓存组件(30)处,以使所述除尘组件(21)将使用过的除尘棒(b)释放至所述除尘棒缓存组件(30),并拾取所述除尘棒缓存组件(30)储存的未使用的除尘棒(b)。
4.根据权利要求3所述的除尘复检装置,其特征在于,所述除尘棒缓存组件(30)包括基座(301)及缓存盘(302),所述缓存盘(302)设置在所述基座(301)上,且具有沿所述缓存盘(302)的周向间隔布设的多个缓存部(303),所述缓存部(303)用于缓存除尘棒(b);所述缓存盘(302)可受控地相对所述基座(301)绕自身轴线旋转。
5.根据权利要求1所述的除尘复检装置,其特征在于,所述复检模块还包括安装在所述除尘驱动组件(22)的驱动端的光源组件(23),所述除尘驱动组件(22)用于...
【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名,请求不公布姓名,
申请(专利权)人:江苏立导科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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