【技术实现步骤摘要】
本技术涉及清洗机台锁定，尤其涉及一种半导体清洗机台互锁装置。
技术介绍
1、半导体是一种材料，具有介于导体和绝缘体之间的电导特性。它的电导性介于金属和非金属之间，在特定条件下可以表现出较高的电子迁移率和导电能力，在加工完后的半导体需要对其进行清洗，就会用到半导体清洗机，半导体清洗机是一种专门用于清洗半导体材料表面的设备，半导体材料在制造过程中需要保持高纯度和无污染的状态，以确保器件的性能和可靠性，半导体清洗机台互锁装置是一种在半导体清洗机台上使用的安全装置，它的主要作用是确保在清洗机台工作时，操作人员的安全和设备的正常运行。
2、在工作人员使用半导体清洗机台互锁装置时，大部分装置在进行固定时是通过工作人员进行一个一个进行固定，不能使工作人员单手同时固定多个物件，增加了用户开关门的繁琐程度，降低了工作效率。
技术实现思路
1、为了弥补以上不足，本技术提供了一种半导体清洗机台互锁装置，旨在改善大部分装置在进行固定时是通过工作人员进行一个一个进行固定，不能使工作人员单手同时固定多个物件，增加了用户开关门的繁琐程度，降低了工作效率的问题。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种半导体清洗机台互锁装置，包括底座二，所述底座二顶壁固定连接有u型柱，所述u型柱顶壁固定连接有支架，所述支架底壁固定连接有放置架，所述放置架内部固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有转动柱的一端，所述转动柱另一端固定连接有连接环，所述连接环两侧均转动连接有连杆的一端，所述连杆另一
3、作为上述技术方案的进一步描述：
4、所述固定柱固定连接在卡板的内部，所述滑板内部开设有滑槽，所述连接杆滑动连接在滑槽的内部。
5、作为上述技术方案的进一步描述：
6、所述连接杆的内部开设有内槽，所述滑板内部固定连接有滑杆，所述滑杆滑动连接在内槽的内部。
7、作为上述技术方案的进一步描述：
8、所述底座二两侧均设置有底座一，所述底座一顶壁固定连接有底盘。
9、作为上述技术方案的进一步描述：
10、所述底盘顶壁固定连接有定位柱，所述定位柱侧壁设置有内孔。
11、作为上述技术方案的进一步描述：
12、所述卡柱滑动连接在内孔的内部。
13、作为上述技术方案的进一步描述：
14、所述定位柱贯穿定位柱并延伸至卡槽的内部。
15、作为上述技术方案的进一步描述：
16、所述底座二顶壁固定连接有底柱，所述底柱顶壁固定连接有弹簧的一端，所述弹簧另一端固定连接在卡板的底部。
17、本技术具有如下有益效果：
18、1、本技术中，首先通过连杆推动连接杆向前进行移动，在连接杆移动时推动卡板和卡柱向前移动并插入到定位柱内，通过它们之间的配合，达到可以快速进行固定的效果，解决了工作人员使单手同时打开多个部件费时费力的问题，提高了固定速率。
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1.一种半导体清洗机台互锁装置，包括底座二(15)，其特征在于：所述底座二(15)顶壁固定连接有U型柱(1)，所述U型柱(1)顶壁固定连接有支架(16)，所述支架(16)底壁固定连接有放置架(17)，所述放置架(17)内部固定连接有电机(18)，所述电机(18)输出端固定连接有转动柱(20)的一端，所述转动柱(20)另一端固定连接有连接环(19)，所述连接环(19)两侧均转动连接有连杆(21)的一端，所述连杆(21)另一端固定连接有固定块(22)，所述固定块(22)内部转动连接有连接杆(6)的一端，所述连接杆(6)另一端转动连接有固定柱(4)，所述U型柱(1)内部固定连接有连接柱(2)，所述连接柱(2)的外侧壁转动连接有卡板(3)的一侧，所述卡板(3)顶壁滑动连接有滑板(5)，所述滑板(5)一侧固定连接有卡柱(10)，所述卡板(3)的一侧设置有卡槽(11)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗机台互锁装置，其特征在于：所述固定柱(4)固定连接在卡板(3)的内部，所述滑板(5)内部开设有滑槽(9)，所述连接杆(6)滑动连接在滑槽(9)的内部。
3.根据权
4.根据权利要求1所述的一种半导体清洗机台互锁装置，其特征在于：所述底座二(15)两侧均设置有底座一(8)，所述底座一(8)顶壁固定连接有底盘(25)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体清洗机台互锁装置，其特征在于：所述底盘(25)顶壁固定连接有定位柱(13)，所述定位柱(13)侧壁设置有内孔(12)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体清洗机台互锁装置，其特征在于：所述卡柱(10)滑动连接在内孔(12)的内部。
7.根据权利要求5所述的一种半导体清洗机台互锁装置，其特征在于：所述定位柱(13)贯穿定位柱(13)并延伸至卡槽(11)的内部。
8.根据权利要求1所述的一种半导体清洗机台互锁装置，其特征在于：所述底座二(15)顶壁固定连接有底柱(23)，所述底柱(23)顶壁固定连接有弹簧(24)的一端，所述弹簧(24)另一端固定连接在卡板(3)的底部。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗机台互锁装置，包括底座二(15)，其特征在于：所述底座二(15)顶壁固定连接有u型柱(1)，所述u型柱(1)顶壁固定连接有支架(16)，所述支架(16)底壁固定连接有放置架(17)，所述放置架(17)内部固定连接有电机(18)，所述电机(18)输出端固定连接有转动柱(20)的一端，所述转动柱(20)另一端固定连接有连接环(19)，所述连接环(19)两侧均转动连接有连杆(21)的一端，所述连杆(21)另一端固定连接有固定块(22)，所述固定块(22)内部转动连接有连接杆(6)的一端，所述连接杆(6)另一端转动连接有固定柱(4)，所述u型柱(1)内部固定连接有连接柱(2)，所述连接柱(2)的外侧壁转动连接有卡板(3)的一侧，所述卡板(3)顶壁滑动连接有滑板(5)，所述滑板(5)一侧固定连接有卡柱(10)，所述卡板(3)的一侧设置有卡槽(11)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗机台互锁装置，其特征在于：所述固定柱(4)固定连接在卡板(3)的内部，所述滑板(5)内部开设有滑槽(9)，所述连接杆(6)滑动连接在滑槽(9)的内部。
3.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：王红佳，王红星，王守国，王天奇，
申请(专利权)人：天津市晓川过滤设备发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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