【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆分选，具体为一种分选机f标兵算法。
技术介绍
1、晶圆（wafer）分选机正常打料作业流程中，顶针会顶刺蓝膜，造成蓝膜膜缩，使其蓝膜上的芯片的位置发生变动，而为了防止芯片位置变动过大导致打错行列，就需要将晶圆上的芯片分成一个个小区域，每个区域内选一颗芯片作为标兵，每隔一小段时间（一般为5分钟）视觉扫描所有标兵的位置，来扫描检测晶圆，而因为区域内晶粒的位置会跟随标兵的位置变动更新，导致扫描标兵期间无法分选，就会造成产能缓慢。
2、而且在传统的这种方式中，将普通晶粒当做标兵的方法，其标兵晶粒与普通晶粒外观上无法区分，所以在膜缩严重时，芯片位置变动超过半颗芯片间距，会导致视觉错把标兵周围的晶粒当做标兵，导致整个区域的芯片全部对错行列，出现混乱分选事故，所以为了避免这种情况，就必须缩短重扫标兵的时间间隔，而需要在芯片位置偏移半颗芯片间距前重新扫描标兵，这样就会导致产能效率进一步下降，故需要一种可以解决这种情况的新型算法。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种分选机f标兵算法，具备使用f标兵晶粒当做标兵，生产过程无需重扫标兵，减少扫描标兵时间来实现产能提升等优点，解决了传统使用普通晶粒当做标兵，在生成过程中需要频繁重扫标兵，而导致产能效率低的问题。
2、为实现上述使用f标兵晶粒当做标兵，生产过程无需重扫标兵，减少扫描标兵时间来实现产能提升的目的，本专利技术提供如下技术方案：一种分选机f标兵算法，该算法包括以下步骤：
4、2）视觉定位f标兵晶粒初始位置，当分选流程合并完map图后，根据f标兵晶粒的map行列坐标，在f标兵晶粒邻近九宫格行列范围内，找到最近的已经合并的晶粒，根据该晶粒位置，以及与f标兵晶粒相差的行列间隔，推算出f标兵晶粒的理论位置，然后去该理论位置拍照采图，得到f标兵晶粒的实际轴位置；
5、3）f标兵晶粒区域划分与管理，根据f标兵晶粒的map行列坐标，将整个晶圆区域均匀分割成一块块以f标兵晶粒为中心的矩形区域进行管理。
6、优选的，所述步骤1中f标兵晶粒的具体坐标值会保存在一个纯文本格式文件中，其中该文件里的每一行数据表示一颗f标兵晶粒的行列坐标。
7、优选的，所述步骤2中理论位置拍照采图通过模板匹配的方式，根据f标兵晶粒图像模板来进行视觉匹配，查看f标兵晶粒是否能匹配到，若匹配不到则先记录该f标兵晶粒的数据行列坐标。
8、优选的，若视觉匹配能直接识别匹配到，则将匹配到的f标兵晶粒的中心像素坐标，根据相机与轴的标定结果，转换为实际轴位置。
9、优选的，所述步骤2中需对每一颗f标兵晶粒依次采用同样的方式来确定有无初始实际轴位置，以保证每一颗f标兵晶粒初始实际轴位置的准确性。
10、优选的，所述步骤3中分割区域后，当分割的区域内所有晶粒的位置变化偏移，会统一跟随f标兵晶粒管理，即f标兵晶粒偏移值是多少，该区域内所有晶粒的偏移值也是多少。
11、优选的，所述步骤3中还包括对于晶圆边缘没有f标兵晶粒的区域，和在所述步骤2中未视觉匹配到f标兵晶粒的缺失标兵区域，便对其上下左右周围邻近区域进行寻找，在邻近区域内找到存在f标兵晶粒的区域，从邻近区域内找出距离缺失区域中心位置最近的f标兵晶粒，然后将其缺失标兵区域并入该f标兵晶粒所在的区域。
12、优选的，所述步骤3中还包括当将其缺失标兵区域并入该f标兵晶粒所在的区域后，缺失区域内所有晶粒的位置变动就会跟随该邻近区域的f标兵晶粒位置变动，来实现不存在f标兵晶粒的区域也可以获取膜缩后变动的位置，准确的完成分选挑拣，避免晶粒良率损失。
13、与现有技术相比，本专利技术提供了一种分选机f标兵算法，具备以下有益效果：
14、该分选机f标兵算法，来通过使用外观与普通晶粒不一致的f标兵晶粒，配合直接输入f标兵map行列坐标、视觉定位准确的初始位置和对应进行的区域划分及管理的f标兵算法，来在膜缩比较严重时，即使芯片偏移了半颗芯片间距以上，也会因f标兵晶粒外观特殊，而有效避免视觉识别找错标兵晶粒，因此就可以不用重新扫描标兵晶粒，减少扫描标兵时间，实现产能效率的提升。
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1.一种分选机F标兵算法，其特征在于：该算法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种分选机F标兵算法，其特征在于：所述步骤1中F标兵晶粒的具体坐标值会保存在一个纯文本格式文件中，其中该文件里的每一行数据表示一颗F标兵晶粒的行列坐标。
3.根据权利要求1所述的一种分选机F标兵算法，其特征在于：所述步骤2中理论位置拍照采图通过模板匹配的方式，根据F标兵晶粒图像模板来进行视觉匹配，查看F标兵晶粒是否能匹配到，若匹配不到则先记录该F标兵晶粒的数据行列坐标。
4.根据权利要求3所述的一种分选机F标兵算法，其特征在于：若视觉匹配能直接识别匹配到，则将匹配到的F标兵晶粒的中心像素坐标，根据相机与轴的标定结果，转换为实际轴位置。
5.根据权利要求4所述的一种分选机F标兵算法，其特征在于：所述步骤2中需对每一颗F标兵晶粒依次采用同样的方式来确定有无初始实际轴位置，以保证每一颗F标兵晶粒初始实际轴位置的准确性。
6.根据权利要求1所述的一种分选机F标兵算法，其特征在于：所述步骤3中分割区域后，当分割的区域内所有晶粒的位置变化偏移，会统一
7.根据权利要求6所述的一种分选机F标兵算法，其特征在于：所述步骤3中还包括对于晶圆边缘没有F标兵晶粒的区域，和在所述步骤2中未视觉匹配到F标兵晶粒的缺失标兵区域，便对其上下左右周围邻近区域进行寻找，在邻近区域内找到存在F标兵晶粒的区域，从邻近区域内找出距离缺失区域中心位置最近的F标兵晶粒，然后将其缺失标兵区域并入该F标兵晶粒所在的区域。
8.根据权利要求7所述的一种分选机F标兵算法，其特征在于：所述步骤3中还包括当将其缺失标兵区域并入该F标兵晶粒所在的区域后，缺失区域内所有晶粒的位置变动就会跟随该邻近区域的F标兵晶粒位置变动，来实现不存在F标兵晶粒的区域也可以获取膜缩后变动的位置，准确的完成分选挑拣，避免晶粒良率损失。
...【技术特征摘要】
1.一种分选机f标兵算法，其特征在于：该算法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种分选机f标兵算法，其特征在于：所述步骤1中f标兵晶粒的具体坐标值会保存在一个纯文本格式文件中，其中该文件里的每一行数据表示一颗f标兵晶粒的行列坐标。
3.根据权利要求1所述的一种分选机f标兵算法，其特征在于：所述步骤2中理论位置拍照采图通过模板匹配的方式，根据f标兵晶粒图像模板来进行视觉匹配，查看f标兵晶粒是否能匹配到，若匹配不到则先记录该f标兵晶粒的数据行列坐标。
4.根据权利要求3所述的一种分选机f标兵算法，其特征在于：若视觉匹配能直接识别匹配到，则将匹配到的f标兵晶粒的中心像素坐标，根据相机与轴的标定结果，转换为实际轴位置。
5.根据权利要求4所述的一种分选机f标兵算法，其特征在于：所述步骤2中需对每一颗f标兵晶粒依次采用同样的方式来确定有无初始实际轴位置，以保证每一颗f标兵晶粒初始实际轴位置的准确性。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：刘东，张正辉，郤能，邱鹏，黄剑锋，肖刚，唐博识，
申请(专利权)人：深圳市智立方自动化设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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