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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电池片生产,具体涉及一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉。
技术介绍
1、topcon电池片是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触的太阳能电池,topcon电池片在生产的时候需要使用扩散炉进行扩散,扩散工序是整个topcon电池片制备中的最关键的工序,扩散工序生成pn结,而pn结的均匀性、可控性一直是太阳能电池研究领域的重点,通常使用三氯氧磷作为磷源进行气源携带扩散,扩散炉在对topcon电池片进行扩散的时候,因为扩散需要氧气和其他气体,现有扩散炉不方便对气体进行混合,导致在其进行扩散时,扩散不够均匀,扩散均匀性较差。
2、公开号为cn219513121u的专利公开了一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,能够使得混合气体排出的时候更加均匀,从而能够对扩散炉内的topcon电池片扩散均匀,提高扩散均匀性。但是该扩散炉通过搅动机构对气体进行混合时,由于第一进气管与第二进气管分别位于扩散炉的上侧和下侧,搅动机构运行时对于上下方向的混合搅拌程度较差,第一进气管进来的气体与第二进气管进来的气体无法更好地混合。因此需要一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉。
技术实现思路
1、(一)针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,克服了现有电池片扩散炉对气体混合不够充分均匀的问题,提高了后续的扩散效果。
2、(二)为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:一种扩散均匀的topcon电
3、炉体的腔室和混合仓之间贯穿安装有连接管,混合仓内设置有封盖,且混合仓上设置有用以驱动封盖以启闭连接管的动力件;
4、炉体的腔室内固定有分流仓,分流仓与连接管连通安装,分流仓的底壁开设有多组供混合气体溢出的分流孔,且分流仓内设置有用以控制分流孔溢出气体流量的调节机构。
5、优选的,搅动机构包括转动安装于混合仓内的支撑轴,支撑轴上安装有离心叶轮,混合仓上安装有用以驱动支撑轴旋转的第一电机。
6、优选的,调节机构包括转动安装于分流仓内的双向螺杆以及固定于分流仓内的导向杆,双向螺杆的两侧段均螺纹安装有与导向杆滑动连接的移动块,两组移动块上均转动安装有臂杆,两组臂杆的另一端转动安装有同一组机架,机架上固定有多组与相应分流孔配合使用的类锥形柱,分流仓内安装有用以驱动双向螺杆旋转的第二电机。
7、优选的,分流仓内安装有用以保护第二电机的防护壳,双向螺杆的端部与防护壳转动安装,导向杆的端部与防护壳固定。
8、优选的,类锥形柱背离机架的一端尺寸小于其另一端尺寸,且类锥形柱背离机架的一端小于分流孔的尺寸。
9、优选的,动力件包括转动安装有混合仓内的转轴以及安装于混合仓上用以驱动转轴旋转的第三电机,转轴与封盖的突出段固定。
10、优选的,动力件包括转动安装于混合仓内的丝杆以及安装于混合仓上用以驱动丝杆旋转的第四电机,封盖的突出段与丝杆螺纹安装,且封盖的突出段滑动安装有固定于混合仓内的限位杆。
11、本专利技术提供了一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,具备以下有益效果:
12、1、通过加入总进气管、混合仓和搅动机构,各组气体通过相应进气支管进入总进气管进行初步混合,而后进入混合仓经搅动机构的工作进行二次混合,有利于各气体的充分均匀混合,提高了后续的扩散效果。
13、2、通过加入调节机构,驱动类锥形柱移动,以实现分流孔中混合气体流量的调控,能根据电池的工艺制造需求,对混合气体的流量进行微调,有利于提高扩散效果。
14、3、通过加入动力件和封盖,在混合仓内的气体进行二次混合后,可控制封盖解除对连接管的封堵,混合后的气体沿着即可进入至分流仓内,在气体未充分混合之前,封盖对连接管进行封堵,防止未混匀的气体直接从连接管进入分流仓内,保证了后续的扩散效果。
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1.一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,包括炉体(1)及其上的炉门(11),其特征在于:炉体(1)上安装有混合仓(2),混合仓(2)前端连通安装有总进气管(3),总进气管(3)上连通安装有至少两组进气支管(4),且混合仓(2)上设置有用以混匀气体的搅动机构(5);
2.如权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:搅动机构(5)包括转动安装于混合仓(2)内的支撑轴(51),支撑轴(51)上安装有离心叶轮(52),混合仓(2)上安装有用以驱动支撑轴(51)旋转的第一电机(53)。
3.如权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:调节机构(9)包括转动安装于分流仓(7)内的双向螺杆(94)以及固定于分流仓(7)内的导向杆(95),双向螺杆(94)的两侧段均螺纹安装有与导向杆(95)滑动连接的移动块(96),两组移动块(96)上均转动安装有臂杆(97),两组臂杆(97)的另一端转动安装有同一组机架(91),机架(91)上固定有多组与相应分流孔(8)配合使用的类锥形柱(92),分流仓(7)内安
4.如权利要求3所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:分流仓(7)内安装有用以保护第二电机(98)的防护壳(93),双向螺杆(94)的端部与防护壳(93)转动安装,导向杆(95)的端部与防护壳(93)固定。
5.如权利要求3所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:类锥形柱(92)背离机架(91)的一端尺寸小于其另一端尺寸,且类锥形柱(92)背离机架(91)的一端小于分流孔(8)的尺寸。
6.如权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:动力件(12)包括转动安装有混合仓(2)内的转轴(1211)以及安装于混合仓(2)上用以驱动转轴(1211)旋转的第三电机(1212),转轴(1211)与封盖(10)的突出段固定。
7.如权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:动力件(12)包括转动安装于混合仓(2)内的丝杆(1221)以及安装于混合仓(2)上用以驱动丝杆(1221)旋转的第四电机(1223),封盖(10)的突出段与丝杆(1221)螺纹安装,且封盖(10)的突出段滑动安装有固定于混合仓(2)内的限位杆(1222)。
...【技术特征摘要】
1.一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,包括炉体(1)及其上的炉门(11),其特征在于:炉体(1)上安装有混合仓(2),混合仓(2)前端连通安装有总进气管(3),总进气管(3)上连通安装有至少两组进气支管(4),且混合仓(2)上设置有用以混匀气体的搅动机构(5);
2.如权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:搅动机构(5)包括转动安装于混合仓(2)内的支撑轴(51),支撑轴(51)上安装有离心叶轮(52),混合仓(2)上安装有用以驱动支撑轴(51)旋转的第一电机(53)。
3.如权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:调节机构(9)包括转动安装于分流仓(7)内的双向螺杆(94)以及固定于分流仓(7)内的导向杆(95),双向螺杆(94)的两侧段均螺纹安装有与导向杆(95)滑动连接的移动块(96),两组移动块(96)上均转动安装有臂杆(97),两组臂杆(97)的另一端转动安装有同一组机架(91),机架(91)上固定有多组与相应分流孔(8)配合使用的类锥形柱(92),分流仓(7)内安装有用以驱动双向螺杆(94)旋转的第二电机(98)。
4.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱浩,王永亮,唐剑明,
申请(专利权)人:滁州捷泰新能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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