【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体的检测，具体地涉及一种半导体检测装置。
技术介绍
1、半导体检测是指对半导体器件进行各种测试和分析，以确保其质量、性能和可靠性符合预期要求。
2、操作台通常被用于半导体的测试和检测过程中。操作台是一种设备，具有固定的工作平台和可调节的探针位置，用于将探针与待测半导体器件进行接触，并进行电性能测试、信号采集、功能验证等操作。
3、然而操作台在对大批量的半导体进行检测时，探针头部与被测试的半导体样品接触并进行测量，这个接触过程会导致一定程度的能量转化为热量，使探针头部的热量传导到被测试的半导体样品上，导致样品的温度升高，从而会影响半导体的电阻、导电性和其他电学特性，进而对测试结果产生影响，为此提出一种半导体检测装置。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
2、为此，本技术的一个目的在于提出一种半导体检测装置，包括操作台，所述操作台的上安装有显微镜，所述操作台的顶部对称安装有两个探头底座，所述探头底座上安装有探针，所述显微镜位于两个所述探头底座之间，所述探头底座上分别开设有凹槽ⅰ和凹槽ⅱ，所述探针的外部贯穿所述凹槽ⅰ和所述凹槽ⅱ的内部，所述凹槽ⅰ和所述凹槽ⅱ的内部弹性连接有两个弧形板，两个所述弧形板套接在所述探针的外部，所述弧形板的内部安装有冷却器；其中，所述探头底座上安装有温度传感器，所述操作台的一侧安装有控制器，所述温度传感器的信号输出端通过信号与所述控制器信号输入端连接，所述控制器通过导线与所述冷却器
3、优选的，两个所述弧形板呈倾斜设置，所述冷却器位于所述弧形板的底部。
4、优选的，所述弧形板的顶部均匀开设有多个散热孔，所述散热孔位于所述冷却器的上方，所述散热孔的内部安装有防尘网。
5、优选的，所述弧形板的材质为散热板。
6、优选的，一个所述弧形板的一端对称开设有两个卡槽，另一个所述弧形板的一端对称固定连接有两个卡块，所述卡块的外部插接在所述卡槽的内部。
7、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
9、本技术通过温度传感器能够实时监测探针的温度，当探针的温度异常时，控制器启动冷却器，使冷却器对探针的温度进行控制，降低探针将热量传递到被检测半导体的情况出现，从而能够对探针和被检测半导体进行保护，提高检测半导体的准确性。
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1.一种半导体检测装置，包括操作台(10)，所述操作台(10)的上安装有显微镜(13)，所述操作台(10)的顶部对称安装有两个探头底座(11)，所述探头底座(11)上安装有探针(12)，所述显微镜(13)位于两个所述探头底座(11)之间，其特征在于：所述探头底座(11)上分别开设有凹槽Ⅰ(22)和凹槽Ⅱ(23)，所述探针(12)的外部贯穿所述凹槽Ⅰ(22)和所述凹槽Ⅱ(23)的内部，所述凹槽Ⅰ(22)和所述凹槽Ⅱ(23)的内部弹性连接有两个弧形板(14)，两个所述弧形板(14)套接在所述探针(12)的外部，所述弧形板(14)的内部安装有冷却器(16)；
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测装置，其特征在于：两个所述弧形板(14)呈倾斜设置，所述冷却器(16)位于所述弧形板(14)的底部。
3.根据权利要求2所述的一种半导体检测装置，其特征在于：所述弧形板(14)的顶部均匀开设有多个散热孔(18)，所述散热孔(18)位于所述冷却器(16)的上方，所述散热孔(18)的内部安装有防尘网(19)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体检测装置，其特征在
5.根据权利要求1所述的一种半导体检测装置，其特征在于：一个所述弧形板(14)的一端对称开设有两个卡槽(20)，另一个所述弧形板(14)的一端对称固定连接有两个卡块(21)，所述卡块(21)的外部插接在所述卡槽(20)的内部。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体检测装置，包括操作台(10)，所述操作台(10)的上安装有显微镜(13)，所述操作台(10)的顶部对称安装有两个探头底座(11)，所述探头底座(11)上安装有探针(12)，所述显微镜(13)位于两个所述探头底座(11)之间，其特征在于：所述探头底座(11)上分别开设有凹槽ⅰ(22)和凹槽ⅱ(23)，所述探针(12)的外部贯穿所述凹槽ⅰ(22)和所述凹槽ⅱ(23)的内部，所述凹槽ⅰ(22)和所述凹槽ⅱ(23)的内部弹性连接有两个弧形板(14)，两个所述弧形板(14)套接在所述探针(12)的外部，所述弧形板(14)的内部安装有冷却器(16)；
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测装置，其特征在于：两个所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：周脉强，
申请(专利权)人：徐州里程碑智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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