本技术公开了一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，属于PECVD腔体内传感器安装技术领域，所述腔体上设置有真空法兰，所述安装装置将光纤传感器的发射接收组件安装在所述真空法兰上，所述发射接收组件为倾斜设置，所述安装装置与所述发射接收组件固定连接，所述安装装置包括安装座以及位于所述安装座内的密封架，所述安装座套设于所述真空法兰末端且能够以所述真空法兰的中心线为轴线进行转动，所述密封架包括第一密封架与第二密封架，所述第一密封架及所述第二密封架均固定于所述安装座内。本技术仅需在腔体外部对光纤传感器进行调整，有效避免了作业人员进入腔体内部，有利于作业人员的安全保障，提高操作效率。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于pecvd腔体内传感器安装，尤其涉及一种pecvd腔体内光纤传感器安装装置。
技术介绍
1、在半导体行业中，真空镀膜设备使用极为广泛，而pecvd腔体则属于真空镀膜设备的重要部件之一。光纤传感器应用于pecvd腔体时可分为两部分：发射接收组件(包含发射端和接收端)及反射组件。在工作时pecvd腔体内处于真空和高温状态，一般光纤传感器的发射接收组件在腔体外部，反射组件即带斜度的反射镜片安装在腔体内部。
2、由于腔体内部要保持高真空状态，因此光纤传感器的发射接收组件与pecvd腔体衔接部分时刻保持密闭。在安装、调试设备时pecvd腔体是密闭状态，调整光纤传感器的发射接收组件或者反射组件使其达到使用要求，因此要方便作业人员调整，保障作业人员安全。
3、目前对于光纤传感器发射接收组件的安装，通常是直接焊接在腔体上或用螺栓直接锁在腔体上等，这几种方式具有以下两个缺点：
4、1.光纤传感器的发射接收组件直接焊接在腔体上，作业人员只能进入密闭的腔体内部调整反射组件的位置，如果发生紧急情况无法保障作业人员的安全，并且影响作业效率；
5、2.光纤传感器的发射接收组件直接锁在腔体上，由于在工作时pecvd腔体内部处于真空和高温状态，发射接收组件和腔体的衔接部分可能会由于负压和受热膨胀出现缝隙，影响腔体内的真空环境。
技术实现思路
1、本技术克服了现有技术的不足，提供一种pecvd腔体内光纤传感器安装装置，以解决现有技术中存在的问题。
>2、为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种pecvd腔体内光纤传感器安装装置，所述腔体上设置有真空法兰，所述安装装置将光纤传感器的发射接收组件安装在所述真空法兰上，所述发射接收组件为倾斜设置，所述安装装置与所述发射接收组件固定连接，所述安装装置包括安装座以及位于所述安装座内的密封架，所述安装座套设于所述真空法兰末端且能够以所述真空法兰的中心线为轴线进行转动，所述密封架包括第一密封架与第二密封架，所述第一密封架及所述第二密封架均固定于所述安装座内，所述第一密封架为水平设置，对真空法兰末端进行密封，所述第二密封架通过连接组件与所述发射接收组件连接。3、本技术一个较佳实施例中，所述腔体包括上腔体与下腔体，所述真空法兰位于所述下腔体上。
4、本技术一个较佳实施例中，所述安装座包括自上而下依次设置的卡箍、上斜块以及下斜块，所述卡箍、上斜块、下斜块之间采用螺栓锁紧。
5、本技术一个较佳实施例中，所述卡箍上设有第一斜面，所述真空法兰上设有第二斜面，当所述第一斜面与所述第二斜面贴合时，所述安装座套设于所述真空法兰上。
6、本技术一个较佳实施例中，所述连接组件包括固定块与透光玻璃，所述固定块与所述第二密封架固定连接。
7、本技术一个较佳实施例中，所述固定块上设有第三斜面，所述下斜块上设有第四斜面，当所述第三斜面与所述第四斜面贴合时，所述固定块与所述下斜块配合。
8、本技术一个较佳实施例中，所述固定块与所述透光玻璃固定连接，所述透光玻璃与所述发射接收组件连接。
9、本技术一个较佳实施例中，所述第一密封架位于所述卡箍与所述上斜块之间，所述第二密封架位于所述上斜块与所述下斜块之间。
10、本技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷，本技术具备以下有益效果：
11、1、本技术仅需在腔体外部对光纤传感器进行调整，有效避免了作业人员进入腔体内部，有利于作业人员的安全保障，提高操作效率；
12、2、采用卡箍、上斜块、下斜块形成的安装座，由安装座、密封架、固定块、透光玻璃与真空法兰组成密闭空间，在腔体内出现真空负压状态下，由于上斜块与下斜块可以错位，在负压力和螺栓锁紧力的作用下会将第一密封架与第二密封架压的更紧，有效避免缝隙的产生，保证腔体内的真空度；
13、3、光纤传感器的发射接收组件呈倾斜设置，当需要对发射接收组件发出光线的位置进行调整时，无需进入密封的腔体内部调整光纤传感器的反射组件，只需在外部旋转发射接收组件的安装装置，根据发射接收组件反馈的电信号确定恰当位置。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，所述腔体(10)上设置有真空法兰(20)，所述安装装置将光纤传感器的发射接收组件(30)安装在所述真空法兰(20)上，其特征在于，所述发射接收组件(30)为倾斜设置，所述安装装置与所述发射接收组件(30)固定连接，所述安装装置包括安装座(40)以及位于所述安装座(40)内的密封架(50)，所述安装座(40)套设于所述真空法兰(20)末端且能够以所述真空法兰(20)的中心线为轴线进行转动，所述密封架(50)包括第一密封架(51)与第二密封架(52)，所述第一密封架(51)及所述第二密封架(52)均固定于所述安装座(40)内，所述第一密封架(51)为水平设置，对真空法兰(20)末端进行密封，所述第二密封架(52)通过连接组件(60)与所述发射接收组件(30)连接。
2.根据权利要求1所述的一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，其特征在于，所述腔体(10)包括上腔体(11)与下腔体(12)，所述真空法兰(20)位于所述下腔体(12)上。
3.根据权利要求1所述的一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，其特征在于，所述安装座(40)包括自上而下依次设置的卡箍(41)、上斜块(42)以及下斜块(43)，所述卡箍(41)、上斜块(42)、下斜块(43)之间采用螺栓(70)锁紧。
4.根据权利要求3所述的一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，其特征在于，所述卡箍(41)上设有第一斜面，所述真空法兰(20)上设有第二斜面，当所述第一斜面与所述第二斜面贴合时，所述安装座(40)套设于所述真空法兰(20)上。
5.根据权利要求3所述的一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，其特征在于，所述连接组件(60)包括固定块(61)与透光玻璃(62)，所述固定块(61)与所述第二密封架(52)固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，其特征在于，所述固定块(61)上设有第三斜面，所述下斜块(43)上设有第四斜面，当所述第三斜面与所述第四斜面贴合时，所述固定块(61)与所述下斜块(43)配合。
7.根据权利要求5所述的一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，其特征在于，所述固定块(61)与所述透光玻璃(62)固定连接，所述透光玻璃(62)与所述发射接收组件(30)连接。
8.根据权利要求3所述的一种PECVD腔体内光纤传感器安装装置，其特征在于，所述第一密封架(51)位于所述卡箍(41)与所述上斜块(42)之间，所述第二密封架(52)位于所述上斜块(42)与所述下斜块(43)之间。
...
【技术特征摘要】
1.一种pecvd腔体内光纤传感器安装装置，所述腔体(10)上设置有真空法兰(20)，所述安装装置将光纤传感器的发射接收组件(30)安装在所述真空法兰(20)上，其特征在于，所述发射接收组件(30)为倾斜设置，所述安装装置与所述发射接收组件(30)固定连接，所述安装装置包括安装座(40)以及位于所述安装座(40)内的密封架(50)，所述安装座(40)套设于所述真空法兰(20)末端且能够以所述真空法兰(20)的中心线为轴线进行转动，所述密封架(50)包括第一密封架(51)与第二密封架(52)，所述第一密封架(51)及所述第二密封架(52)均固定于所述安装座(40)内，所述第一密封架(51)为水平设置，对真空法兰(20)末端进行密封，所述第二密封架(52)通过连接组件(60)与所述发射接收组件(30)连接。
2.根据权利要求1所述的一种pecvd腔体内光纤传感器安装装置，其特征在于，所述腔体(10)包括上腔体(11)与下腔体(12)，所述真空法兰(20)位于所述下腔体(12)上。
3.根据权利要求1所述的一种pecvd腔体内光纤传感器安装装置，其特征在于，所述安装座(40)包括自上而下依次设置的卡箍(41)、上斜块(42)以及下斜块(43)，所述卡箍(41)、上斜块(42)、下斜块(43)...
【专利技术属性】
技术研发人员：高洪涛，朱明亮，吴志远，
申请(专利权)人：上海昶火微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。