【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种光感测系统及晶圆机台。
技术介绍
1、晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。
2、在晶圆产品生产时，晶圆加工设备的机械手臂需要伸入晶圆盒内抓取晶圆，因长期使用机械手臂零件会产生磨损，造成机械手臂在抓取或放置晶圆时高度异常或倾斜而刮伤晶圆，这种机械性刮伤轻则会导致造成良率损失，重则会导致晶圆破片或晶圆报废。现有通常采用目视法观察并校正机械手臂的高度，但因目视法无法量化，容易产生误差，故目视法并不能很好的解决上述问题。
3、有鉴于此，有必要提出一种光感测系统及晶圆机台以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种光感测系统及晶圆机台，用以解决目视法无法有效地避免机械手臂不刮伤晶圆的问题。
2、第一方面，本技术提供了一种光感测系统，包括：红外发射装置、红外接收装置以及报警装置；所述红外发射装置和所述红外接收装置活动地安装于晶圆传输室内靠近晶圆装载开口的一端，且分别位于晶圆装载开口的相对两侧，所述红外发射装置用于发射多束相互平行的红外光带，所述红外接收装置用于接收所述红外光带；所述晶圆承载台承载有晶圆盒，所述晶圆盒安装于所述晶圆装载开口处，所述晶圆盒内具有供放置晶圆的若干个晶圆放置区域，多束所述红外光带与若干个所述晶圆放置区域在竖向方向上一一对应，所述红外光带的宽度大于所述晶圆的厚度；所述报警装置用于当机械手臂遮挡所述红
3、本技术提供的光感测系统的有益效果在于：利用设置在晶圆装载开口两侧的所述红外发射装置和所述红外接收装置，于所述晶圆装载开口处形成多束相互平行的红外光带，当所述机械手臂从所述红外光带间的缝隙伸入所述晶圆盒内抓取或放置某个晶圆，当所述机械手臂的高度异常或倾斜时，会遮挡所述红外光带并触发警报，以及时地提醒操作人员，从而避免因所述机械手臂的运动轨迹继续偏离而刮伤所述晶圆盒内其他的晶圆。
4、在一种可能的实施例中，所述红外发射装置包括间隔设置的若干个红外光带发射件，所红外接收装置包括间隔设置的若干个红外光带接收件，所述红外光带发射件与所述红外光带接收件一一对应设置。其有益效果在于：每个红外光带发射件发射具有一定宽度的红外光带，并由对应的红外光带接收件接收，从而形成红外光带的发射和接收机制。
5、在一种可能的实施例中，该光感测系统还包括相互平行且呈竖向设置的第一滑轨和第二滑轨，所述第一滑轨和所述第二滑轨安装于晶圆传输室内靠近晶圆装载开口的一端，且分别位于晶圆装载开口的相对两侧；所述红外光带发射件安装于所述第一滑轨上且能够沿所述第一滑轨移动；所述红外光带接收件安装于所述第二滑轨上且能够沿所述第二滑轨移动。其有益效果在于：通过移动调节所述红外光带发射件在第一滑轨上的位置及所述红外光带接收件在第二滑轨上的位置，以调节所述红外光带在竖向方向上的位置，以适配不同尺寸的晶圆盒。
6、在一种可能的实施例中，所述红外光带发射件上安装有第一驱动件，所述第一驱动件驱动连接有第一齿轮，所述第一滑轨上沿所述第一滑轨长度方向间隔地设有若干个第一齿槽，所述第一齿轮啮合连接于所述第一齿槽上；所述红外光带接收件上安装有第二驱动件，所述第二驱动件驱动连接有第二齿轮，所述第二滑轨上沿所述第二滑轨长度方向间隔地设有若干个第二齿槽，所述第二齿轮啮合连接于所述第二齿槽上。其有益效果在于：通过第一驱动件驱动第一齿轮沿第一齿槽移动，并通过第二驱动件驱动第二齿轮沿第二齿槽移动，以便捷地实现所述红外光带发射件和所述红外光带接收件的位置调节。
7、在一种可能的实施例中，该光感测系统还包括相互平行且呈竖向设置的第一丝杠、第一导杆、第二丝杠以及第二导杆；所述第一丝杠和所述第一导杆安装于晶圆传输室内靠近晶圆装载开口的一端，且位于晶圆装载开口的一侧，所述第一丝杠安装有第三驱动件以驱动所述第一丝杠旋转；所述第二丝杠和所述第二导杆安装于晶圆传输室内靠近晶圆装载开口的一端，且位于晶圆装载开口的另一侧，所述第二丝杠安装有第四驱动件以驱动所述第二丝杠旋转；所述红外光带发射件设有第一安装座，所述第一安装座套设于所述第一丝杠和所述第一导杆上且与所述第一丝杠螺纹连接；所述红外光带接收件设有第二安装座，所述第二安装座套设于所述第二丝杠和所述第二导杆上且与所述第二丝杠螺纹连接。在该实施例中，通过所述第三驱动件驱动所述第一安装座沿所述第一丝杠上下移动，通过所述第四驱动件驱动所述第二安装座沿所述第二丝杠上下移动，从而实现对所述红外光带发射件和所述红外光带接收件的位置调节。
8、在一种可能的实施例中，所述红外光带发射件包括若干个红外发射头，若干个红外发射头发射的红外光束形成所述红外光带；所述红外光带接收件包括若干个红外接收头，所述红外接收头与所述红外发射头相对设置且一一对应，所述红外接收头用于接收对应的所述红外发射头发射的红外光束。其有益效果在于：由若干个红外光束汇聚形成一束较宽的红外光带，以满足检测需求。
9、在一种可能的实施例中，所述红外光带的上边缘高于对应的所述晶圆放置区域的上边缘，所述红外光带上边缘与对应的所述晶圆放置区域上边缘的间距为50-200um；和/或，所述红外光带的下边缘低于对应的所述晶圆放置区域的下边缘，所述红外光带下边缘与对应的所述晶圆放置位置下边缘的间距为50-200um。通过合理地设置所述红外光带上边缘与对应的所述晶圆放置区域上边缘的位置关系，以及所述红外光带下边缘与对应的所述晶圆放置区域下边缘的位置关系，以避免所述机械手臂刮伤晶圆。
10、在一种可能的实施例中，该光感测系统还包括与所述红外接收装置和所述报警装置连接的信号反馈模块，所述信号反馈模块用于当所述红外接收装置因机械手臂遮挡而接收所述红外光带受阻时，通知所述报警装置发出报警，并使机台控制所述机械手臂暂停工作。其有益效果在于：通过将所述红外接收装置与所述信号反馈模块联动，以及时地触发警报，从而有效地提醒操作人员。
11、在一种可能的实施例中，所述报警装置包括报警灯和/或报警扬声器。其有益效果在于：通过报警灯和/或报警扬声器的方式以有效地提醒操作人员。
12、第二方面，本技术还提供了一种晶圆机台，其特征在于，包括：如上述任一实施例中的光感测系统。该第二方面的有益效果可以参见上述第一方面中的描述，不再重复赘述。
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1.一种光感测系统，其特征在于，包括：红外发射装置、红外接收装置以及报警装置；
2.根据权利要求1所述的光感测系统，其特征在于，所述红外发射装置包括间隔设置的若干个红外光带发射件，所红外接收装置包括间隔设置的若干个红外光带接收件，所述红外光带发射件与所述红外光带接收件一一对应设置。
3.根据权利要求2所述的光感测系统，其特征在于，还包括相互平行且呈竖向设置的第一滑轨和第二滑轨，所述第一滑轨和所述第二滑轨安装于晶圆传输室内靠近晶圆装载开口的一端，且分别位于晶圆装载开口的相对两侧；
4.根据权利要求3所述的光感测系统，其特征在于，所述红外光带发射件上安装有第一驱动件，所述第一驱动件驱动连接有第一齿轮，所述第一滑轨上沿所述第一滑轨长度方向间隔地设有若干个第一齿槽，所述第一齿轮啮合连接于所述第一齿槽上；
5.根据权利要求2所述的光感测系统，其特征在于，还包括相互平行且呈竖向设置的第一丝杠、第一导杆、第二丝杠以及第二导杆；
6.根据权利要求2至5中任一项所述的光感测系统，其特征在于，所述红外光带发射件包括若干个红外发射头，若干个红
7.根据权利要求1至5中任一项所述的光感测系统，其特征在于，所述红外光带的上边缘高于对应的所述晶圆放置区域的上边缘，所述红外光带上边缘与对应的所述晶圆放置区域上边缘的间距为50-200um；和/或，
8.根据权利要求1-5中任一项所述的光感测系统，其特征在于，还包括与所述红外接收装置和所述报警装置连接的信号反馈模块，所述信号反馈模块用于当所述红外接收装置因机械手臂遮挡而接收所述红外光带受阻时，通知所述报警装置发出报警，并使机台控制所述机械手臂暂停工作。
9.根据权利要求1-5中任一项所述的光感测系统，其特征在于，所述报警装置包括报警灯和/或报警扬声器。
10.一种晶圆机台，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的光感测系统。
...【技术特征摘要】
1.一种光感测系统，其特征在于，包括：红外发射装置、红外接收装置以及报警装置；
2.根据权利要求1所述的光感测系统，其特征在于，所述红外发射装置包括间隔设置的若干个红外光带发射件，所红外接收装置包括间隔设置的若干个红外光带接收件，所述红外光带发射件与所述红外光带接收件一一对应设置。
3.根据权利要求2所述的光感测系统，其特征在于，还包括相互平行且呈竖向设置的第一滑轨和第二滑轨，所述第一滑轨和所述第二滑轨安装于晶圆传输室内靠近晶圆装载开口的一端，且分别位于晶圆装载开口的相对两侧；
4.根据权利要求3所述的光感测系统，其特征在于，所述红外光带发射件上安装有第一驱动件，所述第一驱动件驱动连接有第一齿轮，所述第一滑轨上沿所述第一滑轨长度方向间隔地设有若干个第一齿槽，所述第一齿轮啮合连接于所述第一齿槽上；
5.根据权利要求2所述的光感测系统，其特征在于，还包括相互平行且呈竖向设置的第一丝杠、第一导杆、第二丝杠以及...
【专利技术属性】
技术研发人员：柏广明，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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