一种用于石英坩埚到货检测的仿形检具制造技术

技术编号:40848847 阅读:21 留言:0更新日期:2024-04-01 15:46
本技术公开了一种用于石英坩埚到货检测的仿形检具,包括可旋转体和与可旋转体连接的支臂,支臂包括左支臂和右支臂,左支臂和右支臂各自与可旋转体连接,左支臂由左支臂弧形段和左支臂直线段组成,右支臂由右支臂弧形段和右支臂直线段组成,左支臂弧形段端头与可旋转体连接,右支臂弧形段端头与可旋转体连接,左支臂弧形段、包括可旋转体及右支臂弧形段的组合形状及尺寸对应标准石英坩埚埚底形状及尺寸,右支臂直线段、右支臂直线段尺寸对应标准石英坩埚高度尺寸。本技术可全方位尺寸检测。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅制造领域,特别涉及一种用于石英坩埚到货检测的仿形检具


技术介绍

1、在光伏单晶硅制造中,石英坩埚使用时要盛放超过900kg的硅料,是盛放硅料的重要器皿,工作温度高达1500℃,是最主要的辅材。在单晶硅生长过程中,连续直拉法是目前主流的拉制单晶手段,其可以在拉晶过程中持续往石英坩埚内加料,并不断产出多根新的单晶硅棒,需持续安全工作300小时以上,对石英坩埚的寿命提出了更高要求,而基于单晶硅片纯度的要求,石英坩埚几次拉晶完成后即报废,需要购置新的石英坩埚用于下次拉晶,在单晶硅产业链中属于消耗品。如果石英坩埚尺寸存在异常,在使用过程中与碳碳坩埚不匹配贴合,轻则影响单晶硅的质量和产量,重则造成鼓包、漏硅事故,带来重大损失,甚至危及工作人员的人身产安全。因而对于石英坩埚的到货检验尤为关键,将问题坩埚拒之门外。

2、cn101886902a公开了一种石英坩埚的检测工具,包括两个圆环状的外卡环和内卡环,所述外卡环的内径为允许的石英坩埚最大外径加2~5mm,以整数为宜;所述内卡环的最大外径为允许的石英坩埚的最小内径r。该检测工具存在以下缺陷:1、石英坩埚r角、底部弧度无法检测。2、无法检测石英坩埚相关尺寸是否在公差范围内。


技术实现思路

1、针对上述缺陷,本技术提供一种用于石英坩埚到货检测的仿形检具,可全方位尺寸检测到货石英坩埚,解决了现有到货石英坩埚检验相关问题。

2、技术方案是:一种用于石英坩埚到货检测的仿形检具,所述用于石英坩埚到货检测的仿形检具包括可旋转体和与可旋转体连接的支臂,支臂包括左支臂和右支臂,左支臂和右支臂各自与可旋转体连接,左支臂由左支臂弧形段和左支臂直线段组成,右支臂由右支臂弧形段和右支臂直线段组成,左支臂弧形段端头与可旋转体连接,右支臂弧形段端头与可旋转体连接,左支臂弧形段、包括可旋转体及右支臂弧形段的组合形状及尺寸对应标准石英坩埚埚底形状及尺寸,右支臂直线段、右支臂直线段尺寸对应标准石英坩埚高度尺寸。

3、进一步地,所述可旋转体为轴承。

4、进一步地,所述用于石英坩埚到货检测的仿形检具还包括吸盘,吸盘安装在可旋转体上。

5、进一步地,所述用于石英坩埚到货检测的仿形检具还包括百分表,百分表有两个,分别安装在左支臂和右支臂上。

6、进一步地,所述左支臂和右支臂采用塑料材料制成。

7、进一步地,所述吸盘采用塑料材料制成。

8、有益效果:

9、1、本技术通过旋转件及支臂,实现了360°全方位检测观察;

10、2、本技术通过百分表,实现了检测石英坩埚公差及圆跳动是否达到要求;

11、3、本技术通过吸盘以固定检具在石英坩埚上,解放双手,降低人员劳动强度。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于石英坩埚到货检测的仿形检具,其特征在于,所述用于石英坩埚到货检测的仿形检具包括可旋转体(4)和与可旋转体(4)连接的支臂(1),支臂(1)包括左支臂(6)和右支臂(5),左支臂(6)和右支臂(5)各自与可旋转体(4)连接,左支臂(6)由左支臂弧形段和左支臂直线段组成,右支臂(5)由右支臂弧形段和右支臂直线段组成,左支臂弧形段端头与可旋转体(4)连接,右支臂弧形段端头与可旋转体(4)连接,左支臂弧形段、包括可旋转体(4)及右支臂弧形段的组合形状及尺寸对应标准石英坩埚埚底形状及尺寸,右支臂直线段、右支臂直线段尺寸对应标准石英坩埚高度尺寸。

2.根据权利要求1所述的用于石英坩埚到货检测的仿形检具,其特征在于,所述可旋转体(4)为轴承。

3.根据权利要求1所述的用于石英坩埚到货检测的仿形检具,其特征在于,所述用于石英坩埚到货检测的仿形检具还包括吸盘(3),吸盘(3)安装在可旋转体(4)上。

4.根据权利要求1-3任一所述的用于石英坩埚到货检测的仿形检具,其特征在于,所述用于石英坩埚到货检测的仿形检具还包括百分表(2),百分表(2)有两个,分别安装在左支臂(6)和右支臂(5)上。

5.根据权利要求1-2任一所述的用于石英坩埚到货检测的仿形检具,其特征在于,所述左支臂(6)和右支臂(5)采用塑料材料制成。

6.根据权利要求3所述的用于石英坩埚到货检测的仿形检具,其特征在于,所述吸盘(3)采用塑料材料制成。

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【技术特征摘要】

1.一种用于石英坩埚到货检测的仿形检具,其特征在于,所述用于石英坩埚到货检测的仿形检具包括可旋转体(4)和与可旋转体(4)连接的支臂(1),支臂(1)包括左支臂(6)和右支臂(5),左支臂(6)和右支臂(5)各自与可旋转体(4)连接,左支臂(6)由左支臂弧形段和左支臂直线段组成,右支臂(5)由右支臂弧形段和右支臂直线段组成,左支臂弧形段端头与可旋转体(4)连接,右支臂弧形段端头与可旋转体(4)连接,左支臂弧形段、包括可旋转体(4)及右支臂弧形段的组合形状及尺寸对应标准石英坩埚埚底形状及尺寸,右支臂直线段、右支臂直线段尺寸对应标准石英坩埚高度尺寸。

2.根据权利要求1所述的用于石英坩埚到货检测的仿形检具,其特征在于,所述可旋...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨宇关树军洪华路建华曾宏强
申请(专利权)人:乐山市京运通新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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