【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学扫描成像的领域，尤其是涉及一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统。
技术介绍
1、目前，光学扫描成像是一种使用光学原理进行图像获取和展示的技术。它通过光学装置扫描目标物体表面的光信号，并将其转换为电信号，最后再将电信号转化为可视化的图像。其广泛应用于科学研究、工业制造和医学诊断等领域。
2、在光学扫描成像中，常用的设备包括激光扫描仪、扫描电子显微镜和扫描探针显微镜等。
3、针对上述中的相关技术，专利技术人认为存在有以下缺陷：在光学扫描成像中，视场边缘容易畸变，导致扫描区域图像质量低。
技术实现思路
1、为了减少视场边缘的畸变，以提高扫描区域图像的质量，本申请提供一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统。
2、本申请提供的一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，采用如下的技术方案：
3、一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，包括第一激光器、扫描组件、光束收集组件与第一光电探测器，所述第一激光器用于提供激光，所述扫描组件包括第一检流计振镜、第二检流计振镜与共振振镜，所述第一检流计振镜用于接收所述第一激光器的激光并将激光反射至所述第二检流计振镜，所述第二检流计振镜用于接收所述第一检流计振镜的激光并将激光反射至所述共振振镜，所述共振振镜用于接收所述第二检流计振镜的激光并将激光反射至样品，所述光束收集组件用于收集样品反射的光束并将光束输送至所述第一光电探测器，所述第一光电探测器用于将光信号转换成电信号，所述
4、通过采用上述技术方案，第一激光器可输出激光，输出的激光至第一检流计振镜，第一检流计振镜将激光反射到第二检流计振镜，第二检流计振镜将激光反射到共振振镜，共振振镜将激光反射到样品，激光通过第一检流计振镜、第二检流计振镜与共振振镜反射后，可使激光在扫描样品的时候，视场边缘光束的角度较小，以此可减少视场边缘的畸变，样品反射的光束通过光束收集组件收集至第一光电探测器后，第一光电探测器可将光信号转换成电信号，图像重构件可将电信号转换成样品图像，进而可提高扫描区域图像的质量。
5、优选的，所述共振振镜双面均设有反射层，所述第二检流计振镜位于所述共振振镜的一侧，所述共振振镜另一侧设有第二激光器、聚焦透镜以及多线条光栅，所述第二激光器用于提供激光，所述聚焦透镜位于所述共振振镜与所述多线条光栅之间，所述多线条光栅位于所述聚焦透镜的焦点处，所述共振振镜用于反射所述第二激光器的激光至所述聚焦透镜。
6、通过采用上述技术方案，第二激光器可输出激光，输出的激光至共振振镜，共振振镜将激光反射至聚焦透镜，聚焦透镜将激光聚焦后照射到多线条光栅上，通过共振振镜的偏转，照射到样品的激光和照射到多线条光栅上的激光位置均会发生变化，以此可根据照射到多线条光栅上的激光位置检测照射到样品激光的位置。
7、优选的，所述多线条光栅远离所述聚焦透镜的一侧设置有多个第二光电探测器，多个所述第二光电探测器沿所述多线条光栅长度方向分布，所述第二光电探测器用于检测照射到所述多线条光栅的激光。
8、通过采用上述技术方案，激光照射到多线条光栅后，多个第二光电探测器可探测照射到多线条光栅的激光，以此可检测激光照射到多线条光栅处的位置。
9、优选的，所述扫描组件还包括偏振分光棱镜与四分之一波片，所述第一激光器、所述偏振分光棱镜、所述四分之一波片与所述第一检流计振镜均间隔分布，所述偏振分光棱镜靠近所述第一激光器设置，所述四分之一波片位于所述偏振分光棱镜与所述第一检流计振镜之间，所述第一激光器提供的激光依次经过所述偏振分光棱镜与所述四分之一波片后到达所述第一检流计振镜。
10、通过采用上述技术方案，第一激光器输出的激光照射到偏振分光棱镜后，从偏振分光棱镜出来的光为竖直偏振的线偏光，竖直偏振的线偏光经过四分之一波片之后变成圆偏光，之后光束照射到第一检流计振镜。
11、优选的，所述扫描组件还包括扫描透镜、场镜与物镜，所述扫描透镜、所述场镜与所述物镜间隔分布，所述扫描透镜位于所述共振振镜与所述场镜之间，所述物镜位于所述场镜远离所述扫描透镜的一侧，所述物镜设置于样品上方。
12、通过采用上述技术方案，从共振振镜反射的激光通过扫描透镜和场镜后，最终照射到物镜，经过物镜之后的光束可照射到样品的表面。
13、优选的，所述光束收集组件包括收集透镜，所述收集透镜与所述第一光电探测器间隔分布，所述收集透镜用于收集样品反射的光束，所述第一光电探测器用于探测所述收集透镜输出的光束。
14、通过采用上述技术方案，样品反射的光束经过收集透镜聚焦后再输送至第一光电探测器，第一光电探测器以此可探测样品反射的光束。
15、优选的，所述光束收集组件还包括可变针孔，所述收集透镜、所述可变针孔与所述第一光电探测器依次间隔分布，所述可变针孔分布于所述收集透镜与所述第一光电探测器之间，所述可变针孔位于所述收集透镜的焦点处。
16、通过采用上述技术方案，光束经过收集透镜聚焦后再经过可变针孔，可过滤非焦面的杂散光信号，以此可将有效的光信号照射到第一光电探测器的靶面上。
17、优选的，所述光束收集组件还包括衰减片，所述衰减片位于所述可变针孔与所述第一光电探测器之间。
18、通过采用上述技术方案，经过可变针孔的光束通过衰减片，衰减片可衰减光束强度，可将强度衰减后的光束输送至第一光电探测器。
19、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
20、1.第一激光器可输出激光，输出的激光至第一检流计振镜，第一检流计振镜将激光反射到第二检流计振镜，第二检流计振镜将激光反射到共振振镜，共振振镜将激光反射到样品，激光通过第一检流计振镜、第二检流计振镜与共振振镜反射后，可使激光在扫描样品的时候，视场边缘光束的角度较小，以此可减少视场边缘的畸变，样品反射的光束通过光束收集组件收集至第一光电探测器后，第一光电探测器可将光信号转换成电信号，图像重构件可将电信号转换成样品图像，进而可提高扫描区域图像的质量；
21、2.第二激光器可输出激光，输出的激光至共振振镜，共振振镜将激光反射至聚焦透镜，聚焦透镜将激光聚焦后照射到多线条光栅上，通过共振振镜的偏转，照射到样品的激光和照射到多线条光栅上的激光位置均会发生变化，以此可根据照射到多线条光栅上的激光位置检测照射到样品激光的位置；
22、3.激光照射到多线条光栅后，多个第二光电探测器可探测照射到多线条光栅的激光，以此可检测激光照射到多线条光栅处的位置。
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1.一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：包括第一激光器（100）、扫描组件（200）、光束收集组件（300）与第一光电探测器（400），所述第一激光器（100）用于提供激光，所述扫描组件（200）包括第一检流计振镜（203）、第二检流计振镜（204）与共振振镜（205），所述第一检流计振镜（203）用于接收所述第一激光器（100）的激光并将激光反射至所述第二检流计振镜（204），所述第二检流计振镜（204）用于接收所述第一检流计振镜（203）的激光并将激光反射至所述共振振镜（205），所述共振振镜（205）用于接收所述第二检流计振镜（204）的激光并将激光反射至样品（500），所述光束收集组件（300）用于收集样品（500）反射的光束并将光束输送至所述第一光电探测器（400），所述第一光电探测器（400）用于将光信号转换成电信号，所述第一光电探测器（400）电连接有图像重构件，所述图像重构件用于将电信号转换成样品（500）图像。
2.根据权利要求1所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述共振振镜（205）双面均设有反射层，
3.根据权利要求2所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述多线条光栅（211）远离所述聚焦透镜（210）的一侧设置有多个第二光电探测器（212），多个所述第二光电探测器（212）沿所述多线条光栅（211）长度方向分布，所述第二光电探测器（212）用于检测照射到所述多线条光栅（211）的激光。
4.根据权利要求1所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述扫描组件（200）还包括偏振分光棱镜（201）与四分之一波片（202），所述第一激光器（100）、所述偏振分光棱镜（201）、所述四分之一波片（202）与所述第一检流计振镜（203）均间隔分布，所述偏振分光棱镜（201）靠近所述第一激光器（100）设置，所述四分之一波片（202）位于所述偏振分光棱镜（201）与所述第一检流计振镜（203）之间，所述第一激光器（100）提供的激光依次经过所述偏振分光棱镜（201）与所述四分之一波片（202）后到达所述第一检流计振镜（203）。
5.根据权利要求1所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述扫描组件（200）还包括扫描透镜（206）、场镜（207）与物镜（208），所述扫描透镜（206）、所述场镜（207）与所述物镜（208）间隔分布，所述扫描透镜（206）位于所述共振振镜（205）与所述场镜（207）之间，所述物镜（208）位于所述场镜（207）远离所述扫描透镜（206）的一侧，所述物镜（208）设置于样品（500）上方。
6.根据权利要求1所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述光束收集组件（300）包括收集透镜（301），所述收集透镜（301）与所述第一光电探测器（400）间隔分布，所述收集透镜（301）用于收集样品（500）反射的光束，所述第一光电探测器（400）用于探测所述收集透镜（301）输出的光束。
7.根据权利要求6所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述光束收集组件（300）还包括可变针孔（302），所述收集透镜（301）、所述可变针孔（302）与所述第一光电探测器（400）依次间隔分布，所述可变针孔（302）分布于所述收集透镜（301）与所述第一光电探测器（400）之间，所述可变针孔（302）位于所述收集透镜（301）的焦点处。
8.根据权利要求7所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述光束收集组件（300）还包括衰减片（303），所述衰减片（303）位于所述可变针孔（302）与所述第一光电探测器（400）之间。
...【技术特征摘要】
1.一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：包括第一激光器（100）、扫描组件（200）、光束收集组件（300）与第一光电探测器（400），所述第一激光器（100）用于提供激光，所述扫描组件（200）包括第一检流计振镜（203）、第二检流计振镜（204）与共振振镜（205），所述第一检流计振镜（203）用于接收所述第一激光器（100）的激光并将激光反射至所述第二检流计振镜（204），所述第二检流计振镜（204）用于接收所述第一检流计振镜（203）的激光并将激光反射至所述共振振镜（205），所述共振振镜（205）用于接收所述第二检流计振镜（204）的激光并将激光反射至样品（500），所述光束收集组件（300）用于收集样品（500）反射的光束并将光束输送至所述第一光电探测器（400），所述第一光电探测器（400）用于将光信号转换成电信号，所述第一光电探测器（400）电连接有图像重构件，所述图像重构件用于将电信号转换成样品（500）图像。
2.根据权利要求1所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述共振振镜（205）双面均设有反射层，所述第二检流计振镜（204）位于所述共振振镜（205）的一侧，所述共振振镜（205）另一侧设有第二激光器（209）、聚焦透镜（210）以及多线条光栅（211），所述第二激光器（209）用于提供激光，所述聚焦透镜（210）位于所述共振振镜（205）与所述多线条光栅（211）之间，所述多线条光栅（211）位于所述聚焦透镜（210）的焦点处，所述共振振镜（205）用于反射所述第二激光器（209）的激光至所述聚焦透镜（210）。
3.根据权利要求2所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述多线条光栅（211）远离所述聚焦透镜（210）的一侧设置有多个第二光电探测器（212），多个所述第二光电探测器（212）沿所述多线条光栅（211）长度方向分布，所述第二光电探测器（212）用于检测照射到所述多线条光栅（211）的激光。
4.根据权利要求1所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述扫...
【专利技术属性】
技术研发人员：却井山，朱婷，
申请(专利权)人：杭州柏纳光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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