【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体集成电路工艺设备，尤其涉及一种加热基座的水平度监控系统和方法及工艺设备。
技术介绍
1、目前，针对物理气相沉积设备腔体中加热基座的水平调节，通常是在打开腔体后，使用专用校准工具对加热基座的水平偏移情况进行检测。并且，当需要对加热基座的水平度进行调整时，需要在人工摆正加热基座后，通过调整加热基座下方的抱块，来调节加热基座的水平度。
2、上述方式缺乏在腔体工作期间对加热基座的水平度进行检测及调整的实时监控，影响晶圆上的成膜特性；且校准工具较为沉重，水平调节时的操作过程易受人为因素影响，导致水平检测结果误差较大。并且，通过抱块调整水平度的方式，易受到人工锁紧抱块螺丝时扭矩大小的影响，且加热基座下方的可操作空间十分狭小，不易操作，同时也缺乏自调节性。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种加热基座的水平度监控系统和方法及工艺设备。
2、为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下：
3、本专利技术提供一种加热基座的水平度监控系统，包括：
4、测量分析模块，用于测出加热基座表面上的至少三个被测点与基准面之间的相对距离，并根据各所述相对距离，计算出所述加热基座的水平度偏移量；
5、水平调整模块，用于受控对所述加热基座进行所述水平度偏移量超标时的自动达标调整。
6、进一步地，所述测量分析模块包括测量子模块和计算分析子模块；所述测量子模块设有一个测距单元，用于测出与所述基准面
7、进一步地，所述计算分析子模块还在判断所述加热基座的水平度偏移量超标时，制定出对所述加热基座进行减小所述水平度偏移量的水平度自动达标调整的方案。
8、进一步地，还包括：控制模块，用于在所述水平度偏移量超标时，根据所述方案，控制所述水平调整模块对所述加热基座进行水平度的自动达标调整。
9、进一步地，所述水平调整模块包括支撑所述加热基座的连线不在同一直线上的至少三个位置调整单元，所述控制模块根据所述方案，通过调整所述位置调整单元与所述基准面之间的相对距离，使所述加热基座的水平度偏移量减小至低于所述阈值的达标状态。
10、进一步地，所述测距单元包括设于传送机械手的夹持端上，并面向所述加热基座设置的距离传感器，所述基准面包括设有所述加热基座的工艺腔体的底面，所述位置调整单元包括升降支柱，所述计算分析子模块和所述控制模块设于上位机上，在所述传送机械手传片过程中，通过所述距离传感器测出与所述工艺腔体底面之间的第一距离，并在所述传送机械手移动至所述加热基座上方停止前的过程中，对所述加热基座表面进行第二距离的扫描测距，所述上位机根据扫描测距结果，形成当前所述加热基座的水平度偏移量的实时三维影像，制定出与所述方案对应的所述升降支柱的升降变动量，并控制所述升降支柱的对应自动升降。
11、本专利技术还提供一种工艺设备，包括工艺腔体，设于所述工艺腔体中的加热基座，以及上述的加热基座的水平度监控系统，以通过所述加热基座的水平度监控系统，对所述加热基座的水平度进行实时监控和在线自动校准。
12、本专利技术还提供一种加热基座的水平度监控方法，包括：
13、获取加热基座表面上的至少三个被测点与基准面之间的相对距离；
14、根据各所述相对距离，计算所述加热基座的水平度偏移量；
15、将得到的所述水平度偏移量与阈值对比；
16、当所述水平度偏移量满足所述阈值时，判断所述加热基座的水平度偏移量超标，并对所述加热基座进行减小所述水平度偏移量的水平度自动达标调整。
17、进一步地，所述获取加热基座表面上的至少三个被测点与基准面之间的相对距离，具体包括：
18、通过一个测距单元，测出与基准面之间的第一距离，并通过移动测距单元，测出与加热基座表面上连线不在同一直线上的至少三个被测点之间的第二距离；将各所述第二距离分别与所述第一距离相减，得到各所述被测点与所述基准面之间的相对距离；
19、或者，通过两个测距单元，测出各自与基准面之间的一个第一距离，并通过移动测距单元，测出与加热基座表面上各自对应的两个被测点之间的两个第二距离；将每个所述测距单元测出的两个所述第二距离分别与对应的一个所述第一距离相减，得到四个所述被测点与所述基准面之间的相对距离；
20、所述根据各所述相对距离，计算所述加热基座的水平度偏移量，具体包括：
21、将各所述相对距离两两相减计算后得到的各差值中的最大差值，作为所述加热基座的水平度偏移量；
22、所述对所述加热基座进行减小所述水平度偏移量的水平度自动达标调整，具体包括：
23、设置支撑所述加热基座的连线不在同一直线上的至少三个位置调整单元；
24、当判断所述加热基座的水平度偏移量超标时，制定出对所述加热基座进行减小所述水平度偏移量的水平度自动达标调整的方案，所述方案包括调整所述位置调整单元与所述基准面之间的相对距离，使所述加热基座的水平度偏移量减小至低于所述阈值的达标状态。
25、进一步地，在传送机械手的夹持端上设置作为所述测距单元的距离传感器，并使所述距离传感器面向所述加热基座设置，以设有所述加热基座的工艺腔体的底面作为所述基准面，在所述加热基座的底部上设置作为所述位置调整单元的四个升降支柱；在所述传送机械手传片过程中，通过所述距离传感器测出与所述工艺腔体底面之间的第一距离，并在所述传送机械手移动至所述加热基座上方停止前的过程中，对所述加热基座表面进行第二距离的扫描测距，并根据扫描测距结果，通过上位机形成当前所述加热基座的水平度偏移量的实时三维影像，制定出与所述方案对应的各所述升降支柱的升降变动量，并控制所述升降支柱的对应自动升降，实现对所述加热基座的水平度进行实时监控和在线自动校准。
26、由上述技术方案可以看出，本专利技术通过测量加热基座表面上的至少三个被测点与基准面之间的相对距离，根据各相对距离，计算出加热基座的水平度偏移量，从而可对加热基座的水平度进行实时监控；当本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种加热基座的水平度监控系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加热基座的水平度监控系统，其特征在于，所述测量分析模块包括测量子模块和计算分析子模块；所述测量子模块设有一个测距单元，用于测出与所述基准面之间的第一距离，并通过移动测出与所述加热基座表面上连线不在同一直线上的至少三个所述被测点之间的第二距离，所述计算分析子模块用于将各所述第二距离分别与所述第一距离相减，得到各所述被测点与所述基准面之间的相对距离，并将各所述相对距离两两相减后的最大差值，作为所述加热基座的水平度偏移量，当所述水平度偏移量满足阈值时，判断所述加热基座的水平度偏移量超标；或者，所述测量子模块设有两个测距单元，用于测出各自与所述基准面之间的一个第一距离，并通过移动测出与所述加热基座表面上各自对应的两个所述被测点之间的两个第二距离，所述计算分析子模块用于将每个所述测距单元测出的两个所述第二距离分别与对应的一个所述第一距离相减，得到四个所述被测点与所述基准面之间的相对距离，并将各所述相对距离两两相减后的最大差值，作为所述加热基座的水平度偏移量，当所述水平度偏移量满足阈值时，判断所述加热基
3.根据权利要求2所述的加热基座的水平度监控系统，其特征在于，所述计算分析子模块还在判断所述加热基座的水平度偏移量超标时，制定出对所述加热基座进行减小所述水平度偏移量的水平度自动达标调整的方案。
4.根据权利要求3所述的加热基座的水平度监控系统，其特征在于，还包括：控制模块，用于在所述水平度偏移量超标时，根据所述方案，控制所述水平调整模块对所述加热基座进行水平度的自动达标调整。
5.根据权利要求4所述的加热基座的水平度监控系统，其特征在于，所述水平调整模块包括支撑所述加热基座的连线不在同一直线上的至少三个位置调整单元，所述控制模块根据所述方案，通过调整所述位置调整单元与所述基准面之间的相对距离，使所述加热基座的水平度偏移量减小至低于所述阈值的达标状态。
6.根据权利要求5所述的加热基座的水平度监控系统，其特征在于，所述测距单元包括设于传送机械手的夹持端上，并面向所述加热基座设置的距离传感器，所述基准面包括设有所述加热基座的工艺腔体的底面，所述位置调整单元包括升降支柱，所述计算分析子模块和所述控制模块设于上位机上，在所述传送机械手传片过程中，通过所述距离传感器测出与所述工艺腔体底面之间的第一距离，并在所述传送机械手移动至所述加热基座上方停止前的过程中，对所述加热基座表面进行第二距离的扫描测距，所述上位机根据扫描测距结果，形成当前所述加热基座的水平度偏移量的实时三维影像，制定出与所述方案对应的所述升降支柱的升降变动量，并控制所述升降支柱的对应自动升降。
7.一种工艺设备，其特征在于，包括工艺腔体，设于所述工艺腔体中的加热基座，以及根据权利要求1-6任意一项所述的加热基座的水平度监控系统，以通过所述加热基座的水平度监控系统，对所述加热基座的水平度进行实时监控和在线自动校准。
8.一种加热基座的水平度监控方法，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的加热基座的水平度监控方法，其特征在于，所述获取加热基座表面上的至少三个被测点与基准面之间的相对距离，具体包括：
10.根据权利要求9所述的加热基座的水平度监控方法，其特征在于，在传送机械手的夹持端上设置作为所述测距单元的距离传感器，并使所述距离传感器面向所述加热基座设置，以设有所述加热基座的工艺腔体的底面作为所述基准面，在所述加热基座的底部上设置作为所述位置调整单元的四个升降支柱；
...【技术特征摘要】
1.一种加热基座的水平度监控系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加热基座的水平度监控系统，其特征在于，所述测量分析模块包括测量子模块和计算分析子模块；所述测量子模块设有一个测距单元，用于测出与所述基准面之间的第一距离，并通过移动测出与所述加热基座表面上连线不在同一直线上的至少三个所述被测点之间的第二距离，所述计算分析子模块用于将各所述第二距离分别与所述第一距离相减，得到各所述被测点与所述基准面之间的相对距离，并将各所述相对距离两两相减后的最大差值，作为所述加热基座的水平度偏移量，当所述水平度偏移量满足阈值时，判断所述加热基座的水平度偏移量超标；或者，所述测量子模块设有两个测距单元，用于测出各自与所述基准面之间的一个第一距离，并通过移动测出与所述加热基座表面上各自对应的两个所述被测点之间的两个第二距离，所述计算分析子模块用于将每个所述测距单元测出的两个所述第二距离分别与对应的一个所述第一距离相减，得到四个所述被测点与所述基准面之间的相对距离，并将各所述相对距离两两相减后的最大差值，作为所述加热基座的水平度偏移量，当所述水平度偏移量满足阈值时，判断所述加热基座的水平度偏移量超标。
3.根据权利要求2所述的加热基座的水平度监控系统，其特征在于，所述计算分析子模块还在判断所述加热基座的水平度偏移量超标时，制定出对所述加热基座进行减小所述水平度偏移量的水平度自动达标调整的方案。
4.根据权利要求3所述的加热基座的水平度监控系统，其特征在于，还包括：控制模块，用于在所述水平度偏移量超标时，根据所述方案，控制所述水平调整模块对所述加热基座进行水平度的自动达标调整。
5.根据权利要求4所述的加热基座的水平度监控系统，其特征在于，所述水平调整模块包括支撑所述加热基座的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李奥，周琦，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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