【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体检测线，特别涉及一种上下料装置及其使用方法。
技术介绍
1、半导体检测线一般由一排或两排检测设备外加一套自动上下料机构组成。自动上下料机构通常采用多轴机械手，由多轴机械手移载待检测料片或已检料片。多轴机械手的手臂末端或手腕中心所能到达的所有点的集合即为工作区域，多轴机械手存在着工作范围受限的缺点，使得一个多轴机械手只能兼顾周围的一台或两台检测设备的上下料作业，对于半导体检测线中成排的检测设备，需要安装多个多轴机械手与之配套，才能满足上下料要求。在对半导体检测线扩产或缩减时，不仅需要增加或减少检测设备的数量，为检测设备上下料的多轴机械手的数量也需要随之增加或减少，即需要进行多轴机械手的安装或拆除工作，工作量大且影响生产，造成半导体检测线的扩产或缩减不便。
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请的主要目的是提出一种上下料装置及其使用方法，旨在解决自动上下料机构给半导体检测线的扩产或缩减带来不便的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请提出一种上下料装置，应用于半导体检测线，所述半导体检测线包括一排或两排沿x方向间隔排列的检测设备，所述上下料装置位于一排所述检测设备在y方向的一侧，或位于两排所述检测设备之间，y方向垂直于x方向，所述上下料装置包括：
3、移动车，所述移动车设置有车体、载料台和龙门架，所述车体用于在两排所述检测设备之间沿x方向移动，所述载料台和所述龙门架均位于所述车体，所述龙门架的横梁位于所述载料
4、存料机构和取放料机构，所述存料机构和所述取放料机构均安装于所述移动车，所述取放料机构用于在所述存料机构与所述载料台之间移载料片；
5、直角坐标式上下料机构，所述直角坐标式上下料机构安装于所述横梁，所述直角坐标式上下料机构用于在所述载料台与外部的检测设备之间移载料片；
6、其中，z方向垂直于x方向以及y方向。
7、可选地，所述移动车还设置有龙门架，所述龙门架的横梁位于所述载料台在z方向背离所述车体的一侧；
8、所述直角坐标式上下料机构包括：
9、第一机械手，所述第一机械手安装于所述横梁，所述第一机械手用于移载料片沿y方向以及z方向移动。
10、可选地，所述直角坐标式上下料机构还包括：
11、第一定位驱动件，所述第一机械手通过所述第一定位驱动件安装于所述横梁，所述第一机械手在所述第一定位驱动件的驱动下沿x方向移动。
12、可选地，所述直角坐标式上下料机构还包括：
13、第二机械手，所述第二机械手安装于所述横梁，所述第二机械手用于移载料片沿y方向以及z方向移动。
14、可选地，所述取放料机构包括：
15、取放料x向移动件，所述取放料x向移动件安装于所述移动车；
16、取放料z向移动件，所述取放料z向移动件安装于所述取放料x向移动件，并在所述取放料x向移动件的驱动下沿x方向移动；
17、取放料移载件，所述取放料移载件安装于所述取放料z向移动件，并在所述取放料z向移动件的驱动下沿z方向移动。
18、可选地，所述存料机构包括：
19、存料z向移动件，所述存料z向移动件安装于所述移动车；
20、存料组件，所述存料组件设置有多个用于存放料片的存料位，多个所述存料位沿z方向分布；所述存料组件安装于所述存料z向移动件，并在所述存料z向移动件的驱动下沿z方向移动。
21、可选地，所述存料组件包括：
22、存放架，所述存放架安装于所述存料z向移动件，并在所述存料z向移动件的驱动下沿z方向移动；
23、存放箱，所述存放箱活动安装于所述存放架，多个所述存料位位于所述存放箱。
24、可选地，所述上下料装置还包括：
25、推箱机构，所述推箱机构安装于所述移动车，所述推箱机构用于将所述存放箱移出所述存放架。
26、可选地，所述上下料装置还包括：
27、预对准机构，所述预对准机构安装于所述移动车，所述预对准机构用于旋转调整料片的角度。
28、本申请提出的又一技术方案如下：一种如上所述的上下料装置的使用方法，包括步骤：
29、将待检测料片放置于存料机构；
30、车体移动至外部的检测设备的待上下料位置；
31、取放料机构移载所述存料机构上放置的所述待检测料片至载料台；
32、直角坐标式上下料机构将所述载料台上放置的所述待检测料片移载至所述外部的检测设备；
33、所述直角坐标式上下料机构将所述外部的检测设备上的已检料片移载至所述载料台；
34、所述取放料机构移载所述载料台上放置的所述已检料片至所述存料机构。
35、与现有技术相比，本申请提供了上下料装置及其使用方法，在上下料装置中，由移动车承载存料机构、取放料机构和直角坐标式上下料机构移动调整位置，使得上下料装置可以移动至待上下料的外部的检测设备，并为该设备上下料；在半导体检测线扩产或缩减时，仅需上下料装置移动至扩产或缩减后的半导体检测线，为检测设备上下料作业；上下料装置使用时无须在使用场所安装、拆除，可根据半导体检测线扩产或缩减灵活调整移动距离，极大的提高了半导体检测线扩产或缩减的便利性。
36、现有进行上下料作业的多轴机械手还需要搭配着上料传输线和下料传输线使用，由上料传输线和下料传输线分别输送待检测料片或已检料片，所需安装空间较大，在进行半导体检测线扩产或缩减时，为检测设备上下料的多轴机械手、上料传输线和下料传输线也需要随之调整，所需要的安装和拆卸工作量大，而本申请提供的上下料装置包括移动车、存料机构、取放料机构和直角坐标式上下料机构，上下料装置具有可移动、存料以及上下料功能，所需安装空间更少，进一步提升半导体检测线扩产或缩减的便利性。
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1.一种上下料装置，应用于半导体检测线，所述半导体检测线包括一排或两排沿X方向间隔排列的检测设备，所述上下料装置位于一排所述检测设备在Y方向的一侧，或位于两排所述检测设备之间，Y方向垂直于X方向，其特征在于，所述上下料装置包括：
2.如权利要求1所述的上下料装置，其特征在于，所述直角坐标式上下料机构包括：
3.如权利要求2所述的上下料装置，其特征在于，所述直角坐标式上下料机构还包括：
4.如权利要求2所述的上下料装置，其特征在于，所述直角坐标式上下料机构还包括：
5.如权利要求1所述的上下料装置，其特征在于，所述取放料机构包括：
6.如权利要求1所述的上下料装置，其特征在于，所述存料机构包括：
7.如权利要求6所述的上下料装置，其特征在于，所述存料组件包括：
8.如权利要求7所述的上下料装置，其特征在于，所述上下料装置还包括：
9.如权利要求1所述的上下料装置，其特征在于，所述上下料装置还包括：
10.一种如权利要求1-9任一项所述的上下料装置的使用方法，其特征在于，包括步
...【技术特征摘要】
1.一种上下料装置，应用于半导体检测线，所述半导体检测线包括一排或两排沿x方向间隔排列的检测设备，所述上下料装置位于一排所述检测设备在y方向的一侧，或位于两排所述检测设备之间，y方向垂直于x方向，其特征在于，所述上下料装置包括：
2.如权利要求1所述的上下料装置，其特征在于，所述直角坐标式上下料机构包括：
3.如权利要求2所述的上下料装置，其特征在于，所述直角坐标式上下料机构还包括：
4.如权利要求2所述的上下料装置，其特征在于，所述直角坐标式上下料机构还包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨应俊，王伟谦，沈杰，吴贵阳，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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