【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光束测量，尤其涉及一种平行光束质量检测装置及其检测方法。
技术介绍
1、平行光束的质量好坏直接决定了其应用价值。可见光波段的平行光束质量可以通过剪切干涉仪形成的干涉条纹，人眼观察判断，对于超高精度的平行光束，人为判断存在出错风险。红外波段的平行光束质量则需要借助相机成像进行光束质量检测。
2、目前，一种红外激光光束质量测量方法，将红外激光直接或聚焦打到红外上转换厚膜材料上，将cmos/ccd相机无法探测的红外激光的光斑转换成cmos/ccd相机可以探测的光斑，利用cmos/ccd相机采集红外上转换厚膜材料上的光斑，定量分析光斑的各项参数，实现对红外激光光束质量的定量化测量和评价。其具体形状结构参考图4。
3、现有的红外激光光束质量检测装置复杂，需要特殊定制的转换膜材料，转换膜材料厚度小于0.01mm，加工研制复杂，且成本高，针对不同的短波红外、中波红外、长波红外，还需要研制不同的转换膜材料。此外，每次测量不同波段的红外激光，需要更换转换膜材料，系统调试复杂，调试误差会影响激光光束质量测量结果，可靠性欠佳，通用性不足。
4、因此需要设计出一种平行光束质量检测装置及其检测方法解决以上问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是，提供一种平行光束质量检测装置及其检测方法，以克服目前现有技术存在的上述不足。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其包括缩束透镜
4、具体的检测方法包括以下步骤：
5、待测的平行光束沿着光束进口进入，经缩束透镜缩束为小口径的平行光束，并传播至剪切干涉仪进行分光；
6、剪切干涉仪将光束一部分进行反射，另一部分进行透射；
7、剪切干涉仪将透射的光束直接传播至哈特曼-夏克波前传感器，由哈特曼-夏克波前传感器完成对待测平行光束的波前质量测量；
8、剪切干涉仪经前后表面的反射光束，产生横向剪切干涉，经透镜聚焦到相机上，通过相机实现对待测平行光束的干涉图像成像，获取待测平行光束的干涉条纹图像和干涉信息；
9、最后光束质量分析测试仪接收到相关信息后，利用剪切干涉条纹变形指标进行平行光束质量分析。
10、优选的，所述光束质量分析测试仪能够接收到哈特曼-夏克波前传感器和所述相机检测到结果，并自主进行判断、分析。
11、优选的，所述缩束透镜组为开普勒扩束系统，所述缩束透镜组包括调节柱支架、可移动安装在所述调节柱支架上的若干透镜安装架、以及配合透镜安装架设置的第一透镜和第二透镜，所述第一透镜的直径大于所述第二透镜，且所述第二透镜靠近所述剪切干涉仪设置。
12、优选的，在所述剪切干涉仪对应一面设置有传感器安装座，所述传感器安装座通过销轴与剪切干涉仪外壳进行连接，在所述传感器安装座上开设有孔槽。
13、优选的，在所述剪切干涉仪对应一面设置有安装座，所述安装座上设置有配合透镜安装的透镜安装孔槽，所述安装座通过固定件配合所述剪切干涉仪的外壳进行连接固定。
14、优选的，还包括设置在外侧的壳体，在所述壳体上开设有光束进口，在所述壳体上还设置有配合相机和哈特曼-夏克波前传感器设置的开口。
15、本专利技术的有益效果是：本技术方案可以对可见光波段、红外波段的平行光束直接测量光束质量，无需添加辅助器械，可以直接记录平行光束的干涉条纹，通过干涉条纹变形指标可以同时获取光束质量的干涉信息，避免肉眼观察错误，通过图像对平行光束质量进行精确判断；还可以同时获取平行光束的波前质量信息，增加平行光束质量的判断信息。
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1.一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其特征在于：其包括缩束透镜组、设置在所述缩束透镜组旁侧的剪切干涉仪、设置在所述剪切干涉仪一面的哈特曼-夏克波前传感器、设置在所述剪切干涉仪另一面的相机、以及用来聚焦且置于所述相机和所述剪切干涉仪之间的透镜以及用来接收并分析结果的光束质量分析测试仪；
2.根据权利要求1所述的一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其特征在于：所述光束质量分析测试仪能够接收到哈特曼-夏克波前传感器和所述相机检测到结果，并自主进行判断、分析。
3.根据权利要求1所述的一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其特征在于：所述缩束透镜组为开普勒扩束系统，所述缩束透镜组包括调节柱支架、可移动安装在所述调节柱支架上的若干透镜安装架、以及配合透镜安装架设置的第一透镜和第二透镜，所述第一透镜的直径大于所述第二透镜，且所述第二透镜靠近所述剪切干涉仪设置。
4.根据权利要求1所述的一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其特征在于：在所述剪切干涉仪对应一面设置有传感器安装座，所述传感器安装座通过销轴与剪切干涉仪外壳进行连接，在所述传感器安装座上开
5.根据权利要求1所述的一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其特征在于：在所述剪切干涉仪对应一面设置有安装座，所述安装座上设置有配合透镜安装的透镜安装孔槽，所述安装座通过固定件配合所述剪切干涉仪的外壳进行连接固定。
6.根据权利要求1所述的一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其特征在于：还包括设置在外侧的壳体，在所述壳体上开设有光束进口，在所述壳体上还设置有配合相机和哈特曼-夏克波前传感器设置的开口。
...【技术特征摘要】
1.一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其特征在于：其包括缩束透镜组、设置在所述缩束透镜组旁侧的剪切干涉仪、设置在所述剪切干涉仪一面的哈特曼-夏克波前传感器、设置在所述剪切干涉仪另一面的相机、以及用来聚焦且置于所述相机和所述剪切干涉仪之间的透镜以及用来接收并分析结果的光束质量分析测试仪；
2.根据权利要求1所述的一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其特征在于：所述光束质量分析测试仪能够接收到哈特曼-夏克波前传感器和所述相机检测到结果，并自主进行判断、分析。
3.根据权利要求1所述的一种平行光束质量检测装置及其检测方法，其特征在于：所述缩束透镜组为开普勒扩束系统，所述缩束透镜组包括调节柱支架、可移动安装在所述调节柱支架上的若干透镜安装架、以及配合透镜安装架设置的第一透镜和第二透镜，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：董大伟，赵济宇，
申请(专利权)人：苏州励索精密装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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