【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材，具体涉及一种碲化锌旋转靶材及其制备方法。
技术介绍
1、znte是一种ⅱ-ⅵ族化合物，p型宽禁带半导体，室温下禁带宽度为2.26ev，77k下禁带宽度为2.38ev，主要用于半导体和红外材料，可用作荧光材料和磷光材料，还也可制作发光二极管、红外探测、辐射探测材料。znte掺杂zn，可以改善其光电转换效率，可以以较高的效率吸收光子并产生电子空穴对，因而这种太阳电池的光电转换效率远高于传统太阳电池。相对于常用薄膜吸收层，可以得到了更高的光电转换效率。
2、本申请人在先提出了一项专利技术专利申请cn114560700b《一种非掺杂导电碲化锌靶材及其制备方法》掺杂物是zn、te，预烧结温度为300～350℃，升温速率：10～15℃/min，热压温度：500～550℃，升温速率：5～10℃/min。
3、该案是制作平面靶材的工艺；在实际生产过程中，当我们将该工艺应用到旋转靶材上时，发现存在一定的缺陷。
4、平面靶材是一种平板状靶材；旋转靶材是一种空心靶材。
5、平面靶材的由于形状规则，因此加工工艺难度并不是太大，其利于压合。
6、采用该工艺制备旋转靶材时，存在相对密度较低、电阻率较高的缺陷。
7、所以，本案解决的技术问题是：如何得到相对密度较高、电阻率较低的碲化锌旋转靶材。
技术实现思路
1、本专利技术的目的之一在于，提供一种碲化锌旋转靶材的制备方法，该方法有2个控制要点：1.研磨前要一烧，提高粉末结
2、同时，本专利技术还提供了该碲化锌旋转靶材。
3、在本专利技术未做特殊说明的情况下，m为mol/l，％为质量百分比。
4、为实现上述目的，本专利技术提供了一种碲化锌旋转靶材的制备方法，包括如下步骤：
5、步骤1：te粉末、zn粉末和znte粉末混合均匀，得到混合料；
6、步骤2：将混合料进行一烧得到一烧产物，一烧温度为380-420℃，一烧时间10-20min；
7、步骤3：将一烧产物球磨、均质得到均质料；
8、步骤4：均质料装入双向压石墨旋转靶模具，进行热压烧结，降温出炉，即得高密度掺锌碲化锌旋转靶材；
9、热压烧结的工艺参数为：先将环境压力抽真空至绝对真空度低于5pa，然后升温到300～400℃，保温40～60min，继续升温到550～600℃，保温30～50min，然后开始加压，压力达到28mpa～30mpa后，继续保温50～60min。
10、在上述的碲化锌旋转靶材的制备方法中，所述te粉末、zn粉末和znte粉末的重量比为9.4～10.7:9.3～10.6:80。
11、在上述的碲化锌旋转靶材的制备方法中，所述一烧工艺为：
12、在氮气氛围下，3-6℃/min升温速率升温至140-160℃保温15-25min，再升温到380-420℃，保温10-20min。
13、在上述的碲化锌旋转靶材的制备方法中，所述球磨的工艺参数为：混合料与球的重量比例2:1，球磨时间：10min，球磨转速为55±5min；球的直径为30mm。
14、在上述的碲化锌旋转靶材的制备方法中，所述均质的工艺参数为：均质转速25r/min，均质时间15min。
15、在上述的碲化锌旋转靶材的制备方法中，所述步骤4中升温至300～400℃的升温速率为4～6℃/min，升温至550～600℃的升温速率为5～10℃/min，加压至28mpa～30mpa的时间为30～50min。
16、同时，本专利技术还公开了一种碲化锌旋转靶材，采用如上任一所述方法制备得到。
17、有益效果
18、与现有技术相比，本专利技术具有以下优势：
19、本专利技术充分分析了平面靶材和旋转靶材的结构特点，结合te、zn的熔点低的特性，发现要保证旋转靶材的高相对密度、低电阻率，需要做到既要保证物质分布均匀，又要保证热压温度不能过高(温度过高，单质容易挥发，进而导致物质不均匀；传统热压方式又必须要高温才能高相对密度)；
20、为此，本案在研磨前一烧，在烧结时采用双向热压的方式，既保证了物质分布均匀，又保证了在低温下依然可以热压成功得到高相对密度的靶材。
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1.一种碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述Te粉末、Zn粉末和ZnTe粉末的重量比为9.4～10.7:9.3～10.6:80。
3.根据权利要求1所述的碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述一烧工艺为：
4.根据权利要求1所述的碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述球磨的工艺参数为：混合料与球的重量比例2:1，球磨时间：10min，球磨转速为55±5r/min；球的直径为30mm。
5.根据权利要求1所述的碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述均质的工艺参数为：均质转速25r/min，均质时间15min。
6.根据权利要求1所述的碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤4中升温至300～400℃的升温速率为4～6℃/min，升温至550～600℃的升温速率为5～10℃/min，加压至28MPa～30MPa的时间为30～50min。
7.一种碲化锌旋转靶材，其特征在于，采用如权利要求1-6任一所述方法制备得到
...【技术特征摘要】
1.一种碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述te粉末、zn粉末和znte粉末的重量比为9.4～10.7:9.3～10.6:80。
3.根据权利要求1所述的碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述一烧工艺为：
4.根据权利要求1所述的碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述球磨的工艺参数为：混合料与球的重量比例2:1，球磨时间：10min，球磨转速为55±5r/min；球的...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗海奇，文崇斌，植锐俊，胡智向，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：
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