【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硝酸提纯设备，尤其涉及一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法。
技术介绍
1、随着我国电子工业快速发展，芯片制造水平迅猛提升，国际半导体设备材料产业协会制定更苛刻的semi c12标准，作为芯片制造的关键性技术材料——超纯高净电子化学品的技术要求逐步提升，电子化学品的纯净度直接影响芯片的电性能、成品率和可靠性，硝酸作为一种具有氧化性的强酸，可以去除大部分金属、金属氧化物以及有机物，被大量用于芯片的清洗和蚀刻；
2、现有技术中，生产超高纯的硝酸的工艺中有一步骤为将硝酸原料输入蒸发器中，并利用热量将硝酸原料蒸发为硝酸蒸汽，并输送至精馏塔中，但专利技术人发现，蒸发器内因热源的持续输入使得其内气压升高，压力增大，在此基础上硝酸原料通过管道输入时，会受气压带来的压力，则一定程度地阻碍硝酸原料从管道输入蒸发器，造成的后果是减慢硝酸原料进入蒸发器的速度。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提出一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，消除因蒸发器内因热源造成气压升高而阻碍硝酸原料从管道输入蒸发器。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，包括以下步骤：
4、68％工业级硝酸原料通过输送泵打到高位槽；
5、利用高位槽的高位差将硝酸原料经热交换器预热后送入蒸发器加热蒸发；
6、蒸出来的硝酸蒸汽经过塔釜进入精馏塔进行精馏提纯；
7、提纯后的硝
8、经成品冷凝器冷凝后进入成品接收罐，所得产品用泵送至成品储槽；
9、其中，加热蒸发的蒸发器包括两个固定设置的支撑块，两个支撑块之间设置加热室，加热室内具有来回弯曲排布的加热管，热源可通过加热管向加热室内输送热量，加热室上方设置进料室，进料室分隔为多个相同的独立小隔间，小隔间之间互不连通且整体以圆周形式排布，进料室连通有用于输入硝酸原料的进料管，进料管与加热室之间至少间隔一个小隔间，使得进料管不与加热室直接连通，随着多个小隔间的旋转，使得从进料管进入小隔间的硝酸原料与加热室连通。
10、优选地，蒸发器包括固定在两个支撑块之间的加热块，加热室开设在加热块内部，加热块上固定连接第一圆盘，进料室开设在第一圆盘内部，加热块与第一圆盘之间开设第一连通孔，第一连通孔的两端分别与加热室和进料室相连通，进料管与第一圆盘固定连接，且进料管的一端与进料室连通。
11、优选地，在进料室内转动连接第一转轴，第一转轴外壁固定连接圆环，圆环的外壁固定连接多个分隔板，多个分隔板圆周等距排布在圆环的外缘，分隔板的一侧与第一圆盘内壁相接触，从而形成多个独立小隔间。
12、优选地，在加热室内固定安装u型管，u型管的一端与第一连通孔相对应，另一端与加热室连通，u型管与加热室连通的一端低于与第一连通孔连通的一端。
13、优选地，在加热块上固定连接第二圆盘，第二圆盘内开设圆槽，第二圆盘转动连接第二转轴，第二转轴外壁固定连接多个挡板，第二圆盘还开设第二连通孔和排出孔，第二连通孔一端与加热室连通，另一端与圆槽连通，第二连通孔与圆槽连通的方位偏离圆槽的中心，排出孔的一端与圆槽连通，另一端延伸向第二圆盘外部，第二转轴和第一转轴相向延伸并相互同轴心固定连接。
14、优选地，在第一圆盘内开设第一矩形槽和第二矩形槽，第二矩形槽的宽度大于第一矩形槽，第一矩形槽内滑动连接矩形块，第二矩形槽内设置弹簧，弹簧的两端分别与矩形块和第一圆盘连接，在弹簧的作用下，矩形块部分伸出第一矩形槽，伸出部分的边长圆角设置，矩形块还开设第一气孔，第一圆盘开设第二气孔。
15、优选地，矩形块开设限位槽，第一圆槽固定连接限位块，限位块位于限位槽内部，通过限位块阻挡矩形块从而控制矩形块伸出部分为标准长度，在小隔间内设置挡块，挡块与相应的分隔板固定连接，挡块的一侧与进料室内壁接触，使得挡块的旋转时，能够接触并抵触矩形块伸出部分。
16、优选地，第一圆盘还转动连接第三转轴，第三转轴和第一转轴均固定套接传送轮，两个传送轮之间设置传送带，第三转轴外壁还固定连接多个扇叶，则第一转轴转动时会带动第三转轴同步旋转，从而使得扇叶旋转生成风流，吹向第二气孔。
17、蒸发器的加热蒸发方法，包括以下步骤：
18、热源持续向加热管输送，为加热室提供热量；
19、硝酸原料从进料管输入进料室内，并直接进入与进料管对应的小隔间内；
20、装有硝酸原料的小隔间在硝酸原料重力的作用下顺势下落并带动各分隔板旋转；
21、下落后的小隔间与第一连通孔对应使得硝酸原料进入加热室内蒸发加热，形成硝酸蒸汽；
22、硝酸蒸汽从第二连通孔流出，进入圆槽后从排出孔流出，流向塔釜。
23、相比现有技术，本专利技术的有益效果为：
24、1、本专利技术中蒸发器内部设置多个互不连通的小隔间，使得进料室与加热室不直接连通，则加热室内的气压不影响与进料管连通的小隔间，随着多个小隔间的旋转，使得从进料管进入小隔间的硝酸原料与加热室连通，消除因蒸发器内因热源造成气压升高而阻碍硝酸原料从管道输入蒸发器。
25、2、本专利技术在加热室内设置两端不平齐的u型管，u型管与加热室连通的一端低于与第一连通孔连通的一端，使得小隔间内硝酸原料先一步进过u型管后进入加热室，则当小隔间内硝酸原料完全排出后，u型管内依然具有部分硝酸原料，使得加热室内的硝酸蒸汽无法通过u行管回流至小隔间内，避免硝酸蒸汽的回流造成小隔间内气压的升高，进一步地避免因气压升高而阻碍硝酸原料从管道输入蒸发器。
26、3、本专利技术在第一圆盘设置可滑动的矩形块，随着分隔板的旋转，使得各个挡块不断地接触并抵触矩形块，使得第一气孔与第二气孔间歇性连通，当连通时，则小隔间内与外界连通，热量得到散发，气压可恢复为常压，进一步地避免因气压升高而阻碍硝酸原料从管道输入蒸发器。
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1.一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，所述蒸发器包括固定在两个支撑块(1)之间的加热块(6)，所述加热室(2)开设在加热块(6)内部，所述加热块(6)上固定连接第一圆盘(7)，所述进料室(4)开设在第一圆盘(7)内部，所述加热块(6)与第一圆盘(7)之间开设第一连通孔(8)，所述第一连通孔(8)的两端分别与加热室(2)和进料室(4)相连通，所述进料管(5)与第一圆盘(7)固定连接，且进料管(5)的一端与进料室(4)连通。
3.根据权利要求2所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，在所述进料室(4)内转动连接第一转轴(9)，所述第一转轴(9)外壁固定连接圆环(10)，所述圆环(10)的外壁固定连接多个分隔板(11)，多个所述分隔板(11)圆周等距排布在圆环(10)的外缘，所述分隔板(11)的一侧与第一圆盘(7)内壁相接触，从而形成多个独立小隔间。
4.根据权利要求3所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其
5.根据权利要求4所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，在所述加热块(6)上固定连接第二圆盘(13)，所述第二圆盘(13)内开设圆槽(14)，所述第二圆盘(13)转动连接第二转轴(15)，所述第二转轴(15)外壁固定连接多个挡板(16)，所述第二圆盘(13)还开设第二连通孔(17)和排出孔(18)，所述第二连通孔(17)一端与加热室(2)连通，另一端与圆槽(14)连通，所述第二连通孔(17)与圆槽(14)连通的方位偏离圆槽(14)的中心，所述排出孔(18)的一端与圆槽(14)连通，另一端延伸向第二圆盘(13)外部，所述第二转轴(15)和第一转轴(9)相向延伸并相互同轴心固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，在所述第一圆盘(7)内开设第一矩形槽(19)和第二矩形槽(20)，所述第二矩形槽(20)的宽度大于第一矩形槽(19)，所述第一矩形槽(19)内滑动连接矩形块(21)，所述第二矩形槽(20)内设置弹簧(22)，所述弹簧(22)的两端分别与矩形块(21)和第一圆盘(7)连接，在弹簧(22)的作用下，矩形块(21)部分伸出第一矩形槽(19)，伸出部分的边长圆角设置，所述矩形块(21)还开设第一气孔(23)，所述第一圆盘(7)开设第二气孔(24)。
7.根据权利要求6所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，所述矩形块(21)开设限位槽(25)，所述第一圆槽(14)固定连接限位块(26)，所述限位块(26)位于限位槽(25)内部，通过所述限位块(26)阻挡矩形块(21)从而控制矩形块(21)伸出部分为标准长度，在所述小隔间内设置挡块(27)，所述挡块(27)与相应的分隔板(11)固定连接，所述挡块(27)的一侧与进料室(4)内壁接触，使得挡块(27)的旋转时，能够接触并抵触矩形块(21)伸出部分。
8.根据权利要求7所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，所述第一圆盘(7)还转动连接第三转轴(28)，所述第三转轴(28)和第一转轴(9)均固定套接传送轮(29)，两个所述传送轮(29)之间设置传送带(30)，所述第三转轴(28)外壁还固定连接多个扇叶(31)，则第一转轴(9)转动时会带动第三转轴(28)同步旋转，从而使得扇叶(31)旋转生成风流，吹向第二气孔(24)。
9.根据权利要求8所述的蒸发器的加热蒸发方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，所述蒸发器包括固定在两个支撑块(1)之间的加热块(6)，所述加热室(2)开设在加热块(6)内部，所述加热块(6)上固定连接第一圆盘(7)，所述进料室(4)开设在第一圆盘(7)内部，所述加热块(6)与第一圆盘(7)之间开设第一连通孔(8)，所述第一连通孔(8)的两端分别与加热室(2)和进料室(4)相连通，所述进料管(5)与第一圆盘(7)固定连接，且进料管(5)的一端与进料室(4)连通。
3.根据权利要求2所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，在所述进料室(4)内转动连接第一转轴(9)，所述第一转轴(9)外壁固定连接圆环(10)，所述圆环(10)的外壁固定连接多个分隔板(11)，多个所述分隔板(11)圆周等距排布在圆环(10)的外缘，所述分隔板(11)的一侧与第一圆盘(7)内壁相接触，从而形成多个独立小隔间。
4.根据权利要求3所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，在所述加热室(2)内固定安装u型管(12)，所述u型管(12)的一端与第一连通孔(8)相对应，另一端与加热室(2)连通，所述u型管(12)与加热室(2)连通的一端低于与第一连通孔(8)连通的一端。
5.根据权利要求4所述的一种纯化吸收制备超高纯硝酸的连续生产方法，其特征在于，在所述加热块(6)上固定连接第二圆盘(13)，所述第二圆盘(13)内开设圆槽(14)，所述第二圆盘(13)转动连接第二转轴(15)，所述第二转轴(15)外壁固定连接多个挡板(16)，所述第二圆盘(13)还开设第二连通孔(17)和排出孔(18)，所述第二连通孔(17)一端与加热室(2)连通，另一端与圆槽(14)连通，所述第二连通孔(17)与圆槽(14)连通的方位偏离圆槽(14)...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐刚，焦鹏，叶春盛，
申请(专利权)人：江苏捷创新材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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