【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及固晶，尤其涉及一种转塔式多工位晶圆贴装机。
技术介绍
1、晶圆贴装设备主要采用旋转往复及直线往复的方式，通过摆臂从取晶位上将芯片取下然后放置于引线框架上，如图1所示，取晶位取芯片，固晶位贴装，然后空跑至取晶位。
2、无论是直线往复还是旋转往复的固晶方式，都会存在空跑行程的情况，影响了效率。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种转塔式多工位晶圆贴装机，包括晶圆贴装机构、转盘、以及驱动所述转盘转动的转盘驱动机构，所述晶圆贴装机构为多个，多个所述晶圆贴装机构安装在所述转盘上。
2、作为本专利技术的进一步改进，所述转盘驱动机构为电机。
3、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构包括纵向驱动机构、第一马达、吸嘴，所述纵向驱动机构与所述第一马达相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第一马达进行纵向移动，所述第一马达的输出轴与所述吸嘴相连，通过所述第一马达的输出轴的旋转带动所述吸嘴旋转。
4、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括用于压力控制的第二马达，所述纵向驱动机构与所述第二马达相连，所述第二马达的输出轴与所述第一马达相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第二马达和所述第一马达进行纵向移动，通过所述第二马达的输出轴的前进或后退带动所述第一马达进行纵向移动。
5、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括与所述转盘相连的安装件，所述纵向驱动机构包括第三马达、第一导向模块，所述第三马达和所述第一导向模块
6、作为本专利技术的进一步改进，所述第一导向模块包括第一导轨、以及在所述第一导轨上滑动的第一滑块，所述第三马达和所述第一导轨安装在所述安装件上，所述第三马达的输出轴与所述第一滑块相连，通过所述第三马达的输出轴的前进或后退带动所述第一滑块移动，所述第二马达与所述第一滑块和/或所述第三马达的输出轴相连。
7、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括第二导向模块，所述第二导向模块包括第二导轨、以及在所述第二导轨上滑动的第二滑块，所述第二导轨安装在所述第一滑块上，所述第二马达安装在所述第二导轨上，所述第二马达的输出轴与所述第二滑块相连。
8、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括编码器，所述编码器包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在安装件和第一滑块上。
9、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括调节所述第一马达安装角度的调节机构。
10、作为本专利技术的进一步改进，所述调节机构包括左右倾角调整件和俯仰倾角调整件，所述第二滑块设有多个第一安装孔，所述左右倾角调整件通过左右水平调整螺丝安装在所述第一安装孔位置处，所述左右倾角调整件设有第二安装孔，所述俯仰倾角调整件通过俯仰水平调整螺丝安装在所述第二安装孔位置处，所述第一马达与所述俯仰倾角调整件安装在一起。
11、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构包括模块安装件、r轴旋转马达、z轴马达、吸嘴安装件、吸嘴、传动机构，所述r轴旋转马达和所述z轴马达安装在所述模块安装件上，所述z轴马达用于驱动所述吸嘴安装件进行纵向移动，所述吸嘴与所述吸嘴安装件相连，所述r轴旋转马达通过所述传动机构带动所述吸嘴旋转。
12、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括z轴马达安装件，所述z轴马达安装件安装在所述模块安装件上，所述z轴马达安装在所述z轴马达安装件上。
13、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括z向直线导向系统，所述z向直线导向系统包括导轨、以及在所述导轨上滑动的滑块，所述导轨安装在所述z轴马达安装件上，所述z轴马达的输出轴与所述滑块相连，通过所述z轴马达的输出轴的前进或后退带动所述滑块移动，所述吸嘴安装件安装在所述滑块上。
14、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括编码模块，所述编码模块包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在z轴马达安装件和滑块上。
15、作为本专利技术的进一步改进，所述传动机构包括吸嘴旋转出力件、缓冲滑动棒，所述缓冲滑动棒顶部伸入所述吸嘴旋转出力件内，所述缓冲滑动棒与所述吸嘴相连，所述r轴旋转马达用于驱动所述吸嘴旋转出力件旋转，所述吸嘴旋转出力件通过旋转限位机构与所述缓冲滑动棒进行配合，所述旋转限位机构用于实现所述吸嘴旋转出力件同步带动所述缓冲滑动棒进行旋转，且缓冲滑动棒能在吸嘴旋转出力件中上下滑动。
16、作为本专利技术的进一步改进，所述旋转限位机构包括安装在缓冲滑动棒上的销、以及开设于吸嘴旋转出力件内部的槽，所述销位于所述槽内，当所述吸嘴旋转出力件转动时，所述销顶住所述槽边缘，使所述缓冲滑动棒跟随所述吸嘴旋转出力件进行转动；所述销能够在所述槽的纵向上滑动。
17、作为本专利技术的进一步改进，所述吸嘴安装件通过移动限位机构与所述缓冲滑动棒进行配合，所述移动限位机构用于实现所述吸嘴安装件带动所述缓冲滑动棒进行上下移动，且缓冲滑动棒能够旋转。
18、作为本专利技术的进一步改进，所述移动限位机构包括上挡片和下挡片，所述吸嘴安装件设有过孔，所述缓冲滑动棒穿过所述吸嘴安装件的过孔，所述缓冲滑动棒与所述过孔为间隙配合，所述上挡片和所述下挡片安装在所述缓冲滑动棒上，所述上挡片位于所述吸嘴安装件顶端上，所述下挡片位于所述吸嘴安装件底端。
19、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括滑动棒导向套、滚珠套、取晶压力调整件，所述滚珠套安装于所述滑动棒导向套内，所述缓冲滑动棒安装于所述滚珠套内，所述滑动棒导向套安装在所述吸嘴安装件上，所述缓冲滑动棒底部穿过所述滑动棒导向套，所述缓冲滑动棒与所述取晶压力调整件相连，所述吸嘴与所述取晶压力调整件相连。
20、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括压力控制系统，所述压力控制系统安装在所述吸嘴安装件上，所述压力控制系统用于控制所述缓冲滑动棒上下滑动。
21、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括弹簧，所述弹簧安装于所述吸嘴安装件与所述取晶压力调整件之间。
22、作为本专利技术的进一步改进，所述传动机构还包括r轴出力轮、传动带，所述r轴旋转马达的输出轴安装所述r轴出力轮，所述传动带套装于所述吸嘴旋转出力件外表面及所述r轴出力轮外表面，通过所述传动带将所述r轴旋转马达的旋转力传递至所述吸嘴旋转出力件。
23、作为本专利技术的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括气接头，所述气接头安装在所述吸嘴旋转出力件上，所述缓冲滑动棒内部设有孔，所述孔一端与气接头对接，所述孔另一端与吸嘴对接，通过缓冲滑动棒的孔使气接头和吸嘴的气路相通。
24、作为本专利技术的进一步改进，所述压力控制系统包括马达，所述马达的输出轴与所述缓冲滑动棒相连，通过所述马达的输出轴的前进或后退带动所述缓冲滑动棒上下滑动。
25、本专利技术的有益效果是：本专利技术的转盘为单向本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：包括晶圆贴装机构(100)、转盘(101)、以及驱动所述转盘(101)转动的转盘驱动机构，所述晶圆贴装机构(100)为多个，多个所述晶圆贴装机构(100)安装在所述转盘(101)上。
2.根据权利要求1所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述转盘驱动机构为电机(102)。
3.根据权利要求1所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)包括纵向驱动机构、第一马达(7)、吸嘴(10)，所述纵向驱动机构与所述第一马达(7)相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第一马达(7)进行纵向移动，所述第一马达(7)的输出轴与所述吸嘴(10)相连，通过所述第一马达(7)的输出轴的旋转带动所述吸嘴(10)旋转。
4.根据权利要求3所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括用于压力控制的第二马达(6)，所述纵向驱动机构与所述第二马达(6)相连，所述第二马达(6)的输出轴与所述第一马达(7)相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第二马达(6)和所述第一马达(7)进行纵向移
5.根据权利要求4所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括与所述转盘(101)相连的安装件(1)，所述纵向驱动机构包括第三马达(2)、第一导向模块(3)，所述第三马达(2)和所述第一导向模块(3)安装在所述安装件(1)上，所述第三马达(2)通过所述第一导向模块(3)带动所述第二马达(6)进行纵向移动。
6.根据权利要求5所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述第一导向模块(3)包括第一导轨、以及在所述第一导轨上滑动的第一滑块，所述第三马达(2)和所述第一导轨安装在所述安装件(1)上，所述第三马达(2)的输出轴与所述第一滑块相连，通过所述第三马达(2)的输出轴的前进或后退带动所述第一滑块移动，所述第二马达(6)与所述第一滑块和/或所述第三马达(2)的输出轴相连。
7.根据权利要求6所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括第二导向模块(5)，所述第二导向模块(5)包括第二导轨、以及在所述第二导轨上滑动的第二滑块，所述第二导轨安装在所述第一滑块上，所述第二马达(6)安装在所述第二导轨上，所述第二马达(6)的输出轴与所述第二滑块相连。
8.根据权利要求6所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括编码器(4)，所述编码器(4)包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在安装件(1)和第一滑块上。
9.根据权利要求7所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括调节所述第一马达(7)安装角度的调节机构。
10.根据权利要求9所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述调节机构包括左右倾角调整件(8)和俯仰倾角调整件(9)，所述第二滑块设有多个第一安装孔，所述左右倾角调整件(8)通过左右水平调整螺丝(11)安装在所述第一安装孔位置处，所述左右倾角调整件(8)设有第二安装孔，所述俯仰倾角调整件(9)通过俯仰水平调整螺丝(12)安装在所述第二安装孔位置处，所述第一马达(7)与所述俯仰倾角调整件(9)安装在一起。
11.根据权利要求1所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)包括模块安装件(201)、R轴旋转马达(210)、Z轴马达(203)、吸嘴安装件(207)、吸嘴(10)、传动机构，所述R轴旋转马达(210)和所述Z轴马达(203)安装在所述模块安装件(201)上，所述Z轴马达(203)用于驱动所述吸嘴安装件(207)进行纵向移动，所述吸嘴(10)与所述吸嘴安装件(207)相连，所述R轴旋转马达(210)通过所述传动机构带动所述吸嘴(10)旋转。
12.根据权利要求11所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括Z轴马达安装件(202)，所述Z轴马达安装件(202)安装在所述模块安装件(201)上，所述Z轴马达(203)安装在所述Z轴马达安装件(202)上。
13.根据权利要求12所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括Z向直线导向系统(204)，所述Z向直线导向系统(204)包括导轨、以及在所述导轨上滑动的滑块，所述导轨安装在所述Z轴马达安装件(202)上，所述Z轴马达(203)的输出轴与所述滑块相连，通过所述Z轴马达(203)的输出轴的前进或...
【技术特征摘要】
1.一种转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：包括晶圆贴装机构(100)、转盘(101)、以及驱动所述转盘(101)转动的转盘驱动机构，所述晶圆贴装机构(100)为多个，多个所述晶圆贴装机构(100)安装在所述转盘(101)上。
2.根据权利要求1所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述转盘驱动机构为电机(102)。
3.根据权利要求1所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)包括纵向驱动机构、第一马达(7)、吸嘴(10)，所述纵向驱动机构与所述第一马达(7)相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第一马达(7)进行纵向移动，所述第一马达(7)的输出轴与所述吸嘴(10)相连，通过所述第一马达(7)的输出轴的旋转带动所述吸嘴(10)旋转。
4.根据权利要求3所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括用于压力控制的第二马达(6)，所述纵向驱动机构与所述第二马达(6)相连，所述第二马达(6)的输出轴与所述第一马达(7)相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第二马达(6)和所述第一马达(7)进行纵向移动，通过所述第二马达(6)的输出轴的前进或后退带动所述第一马达(7)进行纵向移动。
5.根据权利要求4所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括与所述转盘(101)相连的安装件(1)，所述纵向驱动机构包括第三马达(2)、第一导向模块(3)，所述第三马达(2)和所述第一导向模块(3)安装在所述安装件(1)上，所述第三马达(2)通过所述第一导向模块(3)带动所述第二马达(6)进行纵向移动。
6.根据权利要求5所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述第一导向模块(3)包括第一导轨、以及在所述第一导轨上滑动的第一滑块，所述第三马达(2)和所述第一导轨安装在所述安装件(1)上，所述第三马达(2)的输出轴与所述第一滑块相连，通过所述第三马达(2)的输出轴的前进或后退带动所述第一滑块移动，所述第二马达(6)与所述第一滑块和/或所述第三马达(2)的输出轴相连。
7.根据权利要求6所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括第二导向模块(5)，所述第二导向模块(5)包括第二导轨、以及在所述第二导轨上滑动的第二滑块，所述第二导轨安装在所述第一滑块上，所述第二马达(6)安装在所述第二导轨上，所述第二马达(6)的输出轴与所述第二滑块相连。
8.根据权利要求6所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括编码器(4)，所述编码器(4)包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在安装件(1)和第一滑块上。
9.根据权利要求7所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括调节所述第一马达(7)安装角度的调节机构。
10.根据权利要求9所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述调节机构包括左右倾角调整件(8)和俯仰倾角调整件(9)，所述第二滑块设有多个第一安装孔，所述左右倾角调整件(8)通过左右水平调整螺丝(11)安装在所述第一安装孔位置处，所述左右倾角调整件(8)设有第二安装孔，所述俯仰倾角调整件(9)通过俯仰水平调整螺丝(12)安装在所述第二安装孔位置处，所述第一马达(7)与所述俯仰倾角调整件(9)安装在一起。
11.根据权利要求1所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)包括模块安装件(201)、r轴旋转马达(210)、z轴马达(203)、吸嘴安装件(207)、吸嘴(10)、传动机构，所述r轴旋转马达(210)和所述z轴马达(203)安装在所述模块安装件(201)上，所述z轴马达(203)用于驱动所述吸嘴安装件(207)进行纵向移动，所述吸嘴(10)与所述吸嘴安装件(207)相连，所述r轴旋转马达(210)通过所述传动机构带动所述吸嘴(10)旋转。
12.根据权利要求11所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括z轴马达安装件(202)，所述z轴马达安装件(202)安装在所述模块安装件(201)上，所述z轴马达(203)安装在所述z轴马达安装件(202)上。
13.根据权利要求12所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括z向直线导向系统(204)，所述z向直线导向系统(204)包括导轨、以及在所述导轨上滑动的滑块，所述导轨安装在所述z轴马达安装件(202)上，所述z轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈官海，谢伟锋，
申请(专利权)人：深圳市卓兴先进封装技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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