【技术实现步骤摘要】
本技术涉及静电卡盘检测设备领域，尤其涉及一种静电卡盘电性能检测系统。
技术介绍
1、目前，静电卡盘的电性能检测主要包括电极层到介电层的电容值、电极层到各层的漏电值以及电极层到各层的电阻值。然而，目前还没有专门用于静电卡盘电性能检测的设备。因此，我们需要使用电容检测仪来测量其电容值、使用电阻检测仪来测量其电阻值、使用漏电检测仪来检测其漏电情况。检测过程中，工作人员需要不断地搬运静电卡盘，并进行不同的检测动作，此过程非常繁琐，同时也浪费了大量的人力物力，导致检测成本较高。
2、因此，急需一种检测系统，能够检测静电卡盘的电容值、电阻值和漏电值。
3、cn104296786b公开了一种数字电桥电容测量模块，包括：激励源单元、电容平衡桥臂电路、电容测量桥臂电路、bit检测桥臂电路、求和电路、同步放大电路、零位平衡单元和cpu控制运算单元，电容平衡桥臂电路和电容测量桥臂电路中的平衡桥臂与测量桥臂交流信号相位差180°组成数字平衡机构；激励源单元产生供零位平衡单元使用的0°相位驱动信号、ac参考信号和ac激励信号，0°相位驱动信号驱动同步放大电路实现测量信号的正交滤波，把实现的正交滤波测量信号送入零位平衡单元产生再平衡监控信号；ac参考信号驱动电容平衡桥臂电路，ac激励信号分时驱动bit检测桥臂电路，把平衡桥臂与测量桥臂两个相位差180°的交流信号通过求和电路求和，经带通滤波电路滤波为0°、90°相位驱动信号，cpu控制运算单元根据接收到的再平衡监控信号，对零位平衡单元中的d/a转换器进行平衡控制，用d/a转换器的数据
4、本技术需要解决的技术问题是：如何由原来三项电性检测，变成集成一站式完成检测系统，降低搬运成本优化检测流程提高检测效率。
技术实现思路
1、本技术的主要目的是提供一种静电卡盘电性能检测系统，本检测系统的转换单元把电容检测单元、电阻检测单元和漏电检测单元连接起来，当需要检测其中一个电性能时，通过控制运算单元控制转换单元，使对应的检测单元通电进行检测，从而实现一个检测系统检测电容值、电阻值和漏电值。
2、为实现上述目的，本申请所采用的技术方案：
3、一种静电卡盘电性能检测系统，包括控制运算单元、接触单元、转换单元、电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元；所述接触单元一端与外设的静电卡盘电连接，另一端与转换单元电连接；所述转换单元以可切换连接的方式连接电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元中任一者，用以实现电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元中任一者从接触单元获得信号；所述控制运算单元与电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元通信连接。
4、优选地，所述接触单元包括第一信号线和第二信号线；所述第一信号线的一端与外设的静电卡盘的上表面电连接，另一端与转换单元电连接；所述第二信号线一端与外设的静电卡盘下表面电连接，另一端与转换单元电连接。
5、优选地，所述第一信号线的自由端设有与静电卡盘接触的金属盘；所述金属盘用于增大第一信号线与静电卡盘的接触面积。
6、优选地，所述转换单元包括用于保持或断开静电卡盘与电容检测单元间的连接关系的第一开关模块、用于保持或断开静电卡盘与电阻检测单元间的连接关系的第二开关模块、用于保持或断开静电卡盘与漏电检测单元间的连接关系的第三开关模块。
7、优选地，所述第一开关模块、第二开关模块、第三开关模块均为继电器。
8、优选地，所述漏电检测单元包括用于检测外设的静电卡盘漏电值的电流检测模块、用于向电流检测模块提供高压直流电的直流电源和ad转换模块；所述电流检测模块一端与转换单元电连接，另一端与ad转换模块通信连接；所述控制运算单元与ad转换模块通信连接。
9、优选地，还包括显示单元；所述显示单元与控制运算单元通信连接；所述显示单元用于显示检测结果数据。
10、优选地，还包括输入单元；所述输入单元与控制运算单元通信连接；所述输入单元用于把数据输入进控制运算。
11、与现有技术相比，本方案具有以下有益效果：
12、1.本案的静电卡盘电性能检测系统当需要检测不同的项目时，可以通过控制运算单元控制转换单元，接通不同的检测单元，从而实现检测系统检测电容值、电阻值和漏电值。
13、2.本案的静电卡盘电性能检测系统使用金属盘与静电卡盘的表面接触，增大第一信号线的接触面积，提高测量精度。
14、3.本案的静电卡盘电性能检测系统设有输入单元，可以输入设定值和规格信息，使控制运算单元对测量值和设定值进行判断，降低工作人员的劳动强度。
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1.一种静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，包括控制运算单元、接触单元、转换单元、电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元；所述接触单元一端与外设的静电卡盘电连接，另一端与转换单元电连接；所述转换单元以可切换连接的方式连接电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元中任一者，用以实现电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元中任一者从接触单元获得信号；所述控制运算单元与电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元通信连接。
2.根据权利要求1所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述接触单元包括第一信号线和第二信号线；所述第一信号线的一端与外设的静电卡盘的上表面电连接，另一端与转换单元电连接；所述第二信号线一端与外设的静电卡盘下表面电连接，另一端与转换单元电连接。
3.根据权利要求2所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述第一信号线的自由端设有与静电卡盘接触的金属盘；所述金属盘用于增大第一信号线与静电卡盘的接触面积。
4.根据权利要求1所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述转换单元包括用于保持或断开静电卡盘与电容检测单元间的连接关系的第
5.根据权利要求4所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述第一开关模块、第二开关模块、第三开关模块均为继电器。
6.根据权利要求1所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述漏电检测单元包括用于检测外设的静电卡盘漏电值的电流检测模块、用于向电流检测模块提供高压直流电的直流电源和AD转换模块；所述电流检测模块一端与转换单元电连接，另一端与AD转换模块通信连接；所述控制运算单元与AD转换模块通信连接。
7.根据权利要求1-6任一所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括显示单元；所述显示单元与控制运算单元通信连接；所述显示单元用于显示检测结果数据。
8.根据权利要求7所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括输入单元；所述输入单元与控制运算单元通信连接；所述输入单元用于把数据输入进控制运算单元。
...【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，包括控制运算单元、接触单元、转换单元、电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元；所述接触单元一端与外设的静电卡盘电连接，另一端与转换单元电连接；所述转换单元以可切换连接的方式连接电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元中任一者，用以实现电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元中任一者从接触单元获得信号；所述控制运算单元与电阻检测单元、电容检测单元、漏电检测单元通信连接。
2.根据权利要求1所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述接触单元包括第一信号线和第二信号线；所述第一信号线的一端与外设的静电卡盘的上表面电连接，另一端与转换单元电连接；所述第二信号线一端与外设的静电卡盘下表面电连接，另一端与转换单元电连接。
3.根据权利要求2所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述第一信号线的自由端设有与静电卡盘接触的金属盘；所述金属盘用于增大第一信号线与静电卡盘的接触面积。
4.根据权利要求1所述的静电卡盘电性能检测系统，其特征在于，所述转换单元包括用于保持或断开静电卡盘...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘志双，曾广锋，高涛，陈玉成，
申请(专利权)人：东莞先导先进科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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