【技术实现步骤摘要】
本技术属于工作台，具体涉及一种气浮工作台微调装置。
技术介绍
1、气浮工作台是由空气轴承结合电控元件构成的精密位移平台，基于空气轴承的原理，让负载板浮在气浮导轨或气浮轴承上，实现无摩擦、无振动的平滑运动，其定位精度直接影响到整个仪器的检测精度。气浮平台在激光测长、线纹尺校准、光刻机、航空航天、3d加工、精密车辆和生物医学等众多领域中具有十分广泛的应用。
2、目前，国内线纹尺校准系统的大行程气浮测量平台驱动主要有直线电机或摩擦轮两种方式，在平台上搭载ccd元器件，通过图像处理软件对线纹尺的距离进行检测。能否精确找正每条线纹在视场中心的位置，特别是某些线纹有缺陷，将直接影响设备测量精度，而图像处理软件往往很难实现。通过外部介入的方法微调气浮工作台的位置，实现线纹成像于视场中心，满足参考基准的要求，是一个重要的选项，亟待解决。在现有技术中，还未见有关气浮工作台微调装置的研究报道。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种气浮工作台微调装置，提高气浮工作台在有限范围内的定位精度，为其搭载的仪器设备提供参考基准。
2、本技术提供了如下的技术方案：
3、一种气浮工作台微调装置包括安装板、射流装置、导轨固定板、气浮轴承和调节机构；
4、调节机构包括丝杆以及套设于丝杆上的丝杆支座；
5、安装板安装于气浮工作台上，丝杆安装于安装板的底部；
6、射流装置连接气浮轴承；气浮轴承通过定位销与导轨固定板活动连接；
7、进一步的，调节机构还包括减速器和手柄，减速器固定在安装板的底部，减速器的输入端连接手柄，减速器的输出端连接丝杆。
8、进一步的，导轨固定板的顶部安装有导轨，导轨上设置有滑块；安装板的底部设有连接圆柱，连接圆柱与滑块固定连接。
9、进一步的，每个导轨上设置有两个滑块，滑块分布在导轨的两端。
10、进一步的，导轨的数量为两个，导轨沿丝杆运动方向平行设于丝杆支座的两侧。
11、进一步的，射流装置通过第一气管连接气浮轴承，射流装置通过第二气管连接有消声器。
12、进一步的，安装板的顶部设有射流开关，射流开关与射流装置连接。
13、进一步的，丝杆螺距为1mm，减速器的减速比为1：20。
14、进一步的，定位销为光面圆锥结构，气浮轴承在不同气压作用下，能够沿定位销轴向移动。
15、进一步的，气浮轴承为方形气浮轴承。
16、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
17、本技术提供了一种气浮工作台微调装置，通过安装板将本装置与气浮工作台固定在一起，通过射流装置使气浮轴承沿定位销轴向移动，实现本装置的位置调节与固定，然后通过丝杆及丝杆支座产生的相对位移对气浮工作台进行微调，结构简单，操作方便，噪声小，能够提高气浮工作台在有限范围内的定位精度，为其搭载的仪器设备提供参考基准。
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1.一种气浮工作台微调装置，其特征在于，包括安装板(12)、射流装置(1)、导轨固定板(4)、气浮轴承(7)和调节机构；
2.根据权利要求1所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述调节机构还包括减速器(14)和手柄(15)，所述减速器(14)固定在所述安装板(12)的底部，所述减速器(14)的输入端连接手柄(15)，所述减速器(14)的输出端连接丝杆(13)。
3.根据权利要求1所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述导轨固定板(4)的顶部安装有导轨(6)，所述导轨(6)上设置有滑块(2)；所述安装板(12)的底部设有连接圆柱(11)，所述连接圆柱(11)与滑块(2)固定连接。
4.根据权利要求3所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，每个所述导轨(6)上设置有两个滑块(2)，所述滑块(2)分布在导轨(6)的两端。
5.根据权利要求3所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述导轨(6)的数量为两个，所述导轨(6)沿丝杆(13)运动方向平行设于所述丝杆支座(5)的两侧。
6.根据权利要求1所述的气浮工作台微调装置，其特征
7.根据权利要求1所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述安装板(12)的顶部设有射流开关(10)，所述射流开关(10)与所述射流装置(1)连接。
8.根据权利要求2所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述丝杆(13)螺距为1mm，所述减速器(14)的减速比为1：20。
9.根据权利要求1所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述定位销(3)为光面圆锥结构，所述气浮轴承(7)在不同气压作用下，能够沿所述定位销(3)轴向移动。
10.根据权利要求1所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述气浮轴承(7)为方形气浮轴承。
...【技术特征摘要】
1.一种气浮工作台微调装置，其特征在于，包括安装板(12)、射流装置(1)、导轨固定板(4)、气浮轴承(7)和调节机构；
2.根据权利要求1所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述调节机构还包括减速器(14)和手柄(15)，所述减速器(14)固定在所述安装板(12)的底部，所述减速器(14)的输入端连接手柄(15)，所述减速器(14)的输出端连接丝杆(13)。
3.根据权利要求1所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述导轨固定板(4)的顶部安装有导轨(6)，所述导轨(6)上设置有滑块(2)；所述安装板(12)的底部设有连接圆柱(11)，所述连接圆柱(11)与滑块(2)固定连接。
4.根据权利要求3所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，每个所述导轨(6)上设置有两个滑块(2)，所述滑块(2)分布在导轨(6)的两端。
5.根据权利要求3所述的气浮工作台微调装置，其特征在于，所述导...
【专利技术属性】
技术研发人员：谈冬兴，唐小聪，王军，黄雪莲，
申请(专利权)人：南京市计量监督检测院，
类型：新型
国别省市：
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