【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及图像处理，尤其涉及一种图像检测方法、装置、设备及介质。
技术介绍
1、随着集成化技术的发展，一个产品中往往会存在大量的重复单元，而在产品出厂前需要对产品中全部重复单元进行检测，其难点就在于如何在最短的时间内完成这些检测，以提升检测效率。
2、例如，半导体常规产品中有400-900个重复单元，高密产品重复单元可达3000以上。半导体晶圆在生产过程中容易造成破损、隐裂、划伤等各种缺陷，为准确检测这些缺陷开发了aoi(automatic optical inspection,自动光学检测)晶圆缺陷自动检测设备。随着晶圆制备工艺的发展，晶圆尺寸不断变大，重复单元数量随之增多，目前基于晶圆缺陷检测设备对这些重复单元做全检，还未找到更好的方法缩短检测时间。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种图像检测方法、装置、设备及介质，以解决目前对存在大量重复单元的产品进行缺陷检测速率不佳的问题。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种图像检测方法，包括：
3、获取待检测产品的原始待识别图像；
4、基于目标图像压缩比，对原始待识别图像进行压缩，得到目标压缩图像；
5、根据目标压缩图像，确定分割模板图像，并根据分割模板图像分割目标压缩图像，得到重复单元分割区域；
6、根据目标图像压缩比、重复单元分割区域以及缺陷检测参数，确定待检测产品的检测结果数据。
7、根据本专利技术的另一方面，提供了一种图像检测装置，包括
8、原始待识别图像获取模块，用于获取待检测产品的原始待识别图像；
9、目标压缩图像获取模块，用于基于目标图像压缩比，对原始待识别图像进行压缩，得到目标压缩图像；
10、重复单元分割区域确定模块，用于根据目标压缩图像，确定分割模板图像，并根据分割模板图像分割目标压缩图像，得到重复单元分割区域；
11、检测结果数据确定模块，用于根据目标图像压缩比、重复单元分割区域以及缺陷检测参数，确定待检测产品的检测结果数据。
12、根据本专利技术的另一方面，提供了一种电子设备，所述电子设备包括：
13、至少一个处理器；以及
14、与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
15、所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本专利技术任一实施例所述的图像检测方法。
16、根据本专利技术的另一方面，提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现本专利技术任一实施例所述的图像检测方法。
17、本专利技术实施例的技术方案，通过获取待检测产品的原始待识别图像，从而基于目标图像压缩比，对原始待识别图像进行压缩，得到目标压缩图像，进而根据目标压缩图像，确定分割模板图像，并根据分割模板图像分割目标压缩图像，得到重复单元分割区域，并根据目标图像压缩比、重复单元分割区域以及缺陷检测参数，确定待检测产品的检测结果数据。在本方案中，对原始待识别图像进行压缩，可以使目标压缩图像的图像像素尺寸小于原始待识别图像，相较于在大尺寸图像进行图像分割，在小尺寸的图像进行图像分割识别速度更快，从而可以降低待检测产品的缺陷检测的整体时间，解决了目前对存在大量重复单元的产品进行缺陷检测速率不佳的问题，能够提升具有大量重复单元的产品的缺陷检测速率。
18、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本专利技术的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本专利技术的范围。本专利技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
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1.一种图像检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基于目标图像压缩比，对所述原始待识别图像进行压缩之前，还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标压缩图像，确定分割模板图像，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标图像压缩比、所述重复单元分割区域以及缺陷检测参数，确定所述待检测产品的检测结果数据，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标图像压缩比以及所述重复单元分割区域，确定待检测重复单元图像，包括：
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述基于所述缺陷检测参数，对所述待检测重复单元图像进行检测，得到所述待检测产品的检测结果数据之后，还包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述根据所述检测结果数据，创建缺陷识别结果数据表，包括：
8.一种图像检测装置，其特征在于，包括：
9.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：
10.一种计算机可
...【技术特征摘要】
1.一种图像检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基于目标图像压缩比，对所述原始待识别图像进行压缩之前，还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标压缩图像，确定分割模板图像，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标图像压缩比、所述重复单元分割区域以及缺陷检测参数，确定所述待检测产品的检测结果数据，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标图像压缩比以及所述重复单元分割区域，确定待检测重复单元图像，包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：王敕，王孟涛，闫冠宇，
申请(专利权)人：苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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