【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆夹持，尤其涉及夹持机构及晶圆甩干装置。
技术介绍
1、晶圆电路上的有效厚度较小，而晶圆本身的厚度较大，在电路层制作完毕后，需要对晶圆进行背部减薄，并进行清洗。晶圆在清洗后，通常会在晶圆表面残留液体或杂质，因而需要对晶圆进行甩干操作。在进行晶圆甩干操作时，通常采用真空吸盘将晶圆吸附于晶圆载台，并通过旋转晶圆载台带动晶圆旋转，使晶圆表面的液态水在离心力的作用下甩出。但是其存在的问题是，一方面，真空吸附需要使吸附面保持清洁，以保证平整度，否则在高速旋转时，存在晶圆脱落风险；另一方面，真空吸盘需要保证供气稳定且充足，导致真空吸附方案结构复杂。
技术实现思路
1、根据本技术的一个方面，本技术提供夹持机构，以解决现有技术中，真空吸附需要使吸附面保持清洁且真空吸盘需要保证供气稳定且充足，导致真空吸附方案结构复杂的问题。
2、为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
3、夹持机构，用于夹持晶圆，所述晶圆放置于晶圆甩干装置的晶圆载台，且所述晶圆平行于水平面放置，所述晶圆载台能够沿自身中心线旋转，以带动所述晶圆转动，并甩出所述晶圆上的液态水；
4、所述夹持机构包括：
5、活动夹持件，通过旋转轴转动设置于所述晶圆载台，所述活动夹持件具有夹持部，所述夹持部能够抵接于所述晶圆，沿竖直方向，所述活动夹持件的重心与所述夹持部分别位于所述旋转轴的上下两侧，以使所述活动夹持件能够随着所述晶圆载台的旋转而绕所述旋转轴转动，所述活动夹持件设置有多个，多个所述活
6、作为夹持机构的优选方案，所述活动夹持件具有抵接位置，当所述活动夹持件位于抵接位置时，所述夹持部抵接于所述晶圆，沿竖直方向，所述活动夹持件的重心位于所述旋转轴的下方，所述夹持部位于所述旋转轴的上方。
7、作为夹持机构的优选方案，当所述活动夹持件位于抵接位置时，沿水平方向，所述活动夹持件的重心位于所述旋转轴靠近所述晶圆的一侧。
8、作为夹持机构的优选方案，所述夹持部的表面齐平。
9、作为夹持机构的优选方案，所述活动夹持件远离所述晶圆的一侧凸设有凸块。
10、根据本技术的另一个方面，提供晶圆甩干装置，包括上述夹持机构，所述夹持机构用于夹持晶圆；所述晶圆甩干装置还包括：
11、晶圆载台，用于放置晶圆，且所述晶圆平行于水平面放置，所述晶圆载台能够沿自身中心线旋转，以带动所述晶圆转动，并甩出所述晶圆上的液态水。
12、作为晶圆甩干装置的优选方案，所述晶圆载台的外壁固定设置有多个连接件，所述连接件沿所述晶圆载台的径向向外延伸，所述旋转轴设置于所述连接件，多个所述活动夹持件与多个所述连接件一一对应连接。
13、作为晶圆甩干装置的优选方案，多个所述连接件上均设置有限位柱，多个所述限位柱同时与所述晶圆的外壁抵接。
14、作为晶圆甩干装置的优选方案，多个所述连接件上均设置有晶圆放置柱，所述晶圆放置柱的上表面齐平，并用于支撑所述晶圆，沿所述晶圆载台的径向，所述限位柱位于所述晶圆放置柱的外侧。
15、作为晶圆甩干装置的优选方案，所述晶圆载台呈圆形，多个所述活动夹持件沿所述晶圆载台的圆周方向间隔设置，且任意相邻的两个所述活动夹持件之间的距离相同。
16、本技术的有益效果是：
17、本技术提供夹持机构，夹持机构用于夹持晶圆，晶圆放置于晶圆甩干装置的晶圆载台，并在晶圆载台的带动下旋转，以完成甩干。夹持机构包括活动夹持件，活动夹持件通过旋转轴转动设置于晶圆载台，活动夹持件具有夹持部，夹持部能够抵接于晶圆，活动夹持件设置有多个，多个活动夹持件的夹持部能够同时与晶圆抵接，并用于夹持放置于晶圆载台的晶圆，以避免晶圆甩干的过程中晶圆掉落。沿竖直方向，活动夹持件的重心与夹持部分别位于旋转轴的上下两侧，以使活动夹持件能够随着晶圆载台的旋转而绕旋转轴转动，从而当晶圆载台转动时，活动夹持件在离心力的作用下，重心所在位置的一侧朝向晶圆载台的外侧转动，并带动夹持部的一侧朝向晶圆载台的内侧转动，以使夹持部抵接于晶圆，且多个活动夹持件的夹持部夹紧晶圆，以完成晶圆的夹持，且随着晶圆载台的转速增加，夹持部对晶圆的夹持力增大。
18、本技术还提供晶圆甩干装置，包括上述夹持机构，还包括晶圆载台，晶圆载台用于放置晶圆，且晶圆平行于水平面放置，晶圆载台能够沿自身中心线旋转，以带动晶圆转动，并甩出晶圆上的液态水，完成晶圆的甩干。同时，夹持机构能够在晶圆载台转动时，多个活动夹持件的夹持部能够相互配合以夹紧晶圆，且随着晶圆载台的转速增加，夹持部对晶圆的夹持力增大。
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1.夹持机构，用于夹持晶圆(100)，所述晶圆(100)放置于晶圆甩干装置的晶圆载台(1)，且所述晶圆(100)平行于水平面放置，所述晶圆载台(1)能够沿自身中心线旋转，以带动所述晶圆(100)转动，并甩出所述晶圆(100)上的液态水；
2.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述活动夹持件(2)具有抵接位置，当所述活动夹持件(2)位于抵接位置时，所述夹持部(21)抵接于所述晶圆(100)，沿竖直方向，所述活动夹持件(2)的重心位于所述旋转轴(3)的下方，所述夹持部(21)位于所述旋转轴(3)的上方。
3.根据权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，当所述活动夹持件(2)位于抵接位置时，沿水平方向，所述活动夹持件(2)的重心位于所述旋转轴(3)靠近所述晶圆(100)的一侧。
4.根据权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述夹持部(21)的表面齐平。
5.根据权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述活动夹持件(2)远离所述晶圆(100)的一侧凸设有凸块(22)。
6.晶圆甩干装置，其特征在于，包
7.根据权利要求6所述的晶圆甩干装置，其特征在于，所述晶圆载台(1)的外壁固定设置有多个连接件(4)，所述连接件(4)沿所述晶圆载台(1)的径向向外延伸，所述旋转轴(3)设置于所述连接件(4)，多个所述活动夹持件(2)与多个所述连接件(4)一一对应连接。
8.根据权利要求7所述的晶圆甩干装置，其特征在于，多个所述连接件(4)上均设置有限位柱(5)，多个所述限位柱(5)同时与所述晶圆(100)的外壁抵接。
9.根据权利要求8所述的晶圆甩干装置，其特征在于，多个所述连接件(4)上均设置有晶圆放置柱(6)，所述晶圆放置柱(6)的上表面齐平，并用于支撑所述晶圆(100)，沿所述晶圆载台(1)的径向，所述限位柱(5)位于所述晶圆放置柱(6)的外侧。
10.根据权利要求6所述的晶圆甩干装置，其特征在于，所述晶圆载台(1)呈圆形，多个所述活动夹持件(2)沿所述晶圆载台(1)的圆周方向间隔设置，且任意相邻的两个所述活动夹持件(2)之间的距离相同。
...【技术特征摘要】
1.夹持机构，用于夹持晶圆(100)，所述晶圆(100)放置于晶圆甩干装置的晶圆载台(1)，且所述晶圆(100)平行于水平面放置，所述晶圆载台(1)能够沿自身中心线旋转，以带动所述晶圆(100)转动，并甩出所述晶圆(100)上的液态水；
2.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述活动夹持件(2)具有抵接位置，当所述活动夹持件(2)位于抵接位置时，所述夹持部(21)抵接于所述晶圆(100)，沿竖直方向，所述活动夹持件(2)的重心位于所述旋转轴(3)的下方，所述夹持部(21)位于所述旋转轴(3)的上方。
3.根据权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，当所述活动夹持件(2)位于抵接位置时，沿水平方向，所述活动夹持件(2)的重心位于所述旋转轴(3)靠近所述晶圆(100)的一侧。
4.根据权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述夹持部(21)的表面齐平。
5.根据权利要求1-3任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述活动夹持件(2)远离所述晶圆(100)的一侧凸设有凸块(22)。
6.晶圆甩干装置，其特征在于，包...
【专利技术属性】
技术研发人员：万先进，王冬冬，梁志远，尤国振，朱松，张怀东，边逸军，
申请(专利权)人：宁波芯丰精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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