【技术实现步骤摘要】
本申请涉及化学机械抛光，尤其涉及一种晶圆翻转装置及化学机械抛光设备。
技术介绍
1、化学机械抛光设备是对晶圆进行抛光处理的常用设备。在一些化学机械抛光设备中，常需要对晶圆进行翻转操作，例如，在一些对晶圆进行传递的场景下，需要采用翻转90°的方式接力传递晶圆。相关技术中一种常用的对晶圆进行翻转的方式，是采用电机驱动皮带传动的方式实现对晶圆的翻转。然而采用电机驱动皮带传动进行晶圆翻转时，传递效率低，不能保证准确传动比，长时间会出现掉速磨损情况。因此需要一种优化的技术方案来至少部分地提高对晶圆进行翻转的效果。
技术实现思路
1、本申请提供了一种晶圆翻转装置及化学机械抛光设备，以至少部分地改善上述问题。
2、根据本申请的一方面，提供了一种晶圆翻转装置，包括：
3、驱动单元，其包括伸缩件，伸缩件沿直线方向伸缩以输出第一驱动力；
4、传动单元，其与伸缩件连接，并将伸缩件输出的第一驱动力转换成能够使传动单元的第一转轴绕自身轴线转动的第二驱动力；
5、执行单元，其与第一转轴连接，并随第一转轴同步转动，以翻转执行单元承载的晶圆。
6、根据本申请的另一方面，提供了一种化学机械抛光设备，包括：至少一个如前述的晶圆翻转装置。
7、本申请中的晶圆翻转装置至少可取得如下有益效果：
8、1、本申请将直线驱动转换为转动驱动，以实现晶圆的高效翻转；
9、2、由于摒弃了使用皮带传动的方式，而是采用将直线驱动转换为转动驱动的
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1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其中，所述传动单元包括第一传动组件和第二传动组件；
3.根据权利要求2所述的晶圆翻转装置，其中，所述传动组件还包括导轨组件，其与所述第一传动组件连接，并与所述滚轮形成配合；
4.根据权利要求3所述的晶圆翻转装置，其中，所述导轨组件包括固定板和滑台，所述滑台安装于所述固定板；
5.根据权利要求4所述的晶圆翻转装置，其中，所述固定板设置有滚动轨道，所述滚轮位于所述滚动轨道内；
6.根据权利要求5所述的晶圆翻转装置，其中，所述滚动轨道包括所述固定板上开设的滚动槽。
7.根据权利要求5所述的晶圆翻转装置，其中，还包括第一位置传感器和第二位置传感器，两者分别设置于所述固定板的不同位置；
8.根据权利要求7所述的晶圆翻转装置，其中，所述伸缩件上设置有触发机构；
9.根据权利要求8中所述的晶圆翻转装置，其中，所述晶圆翻转装置还包括运动缓冲机构；
10.根据权利要求7所述的晶圆翻转装置，其中，
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12.根据权利要求11所述的晶圆翻转装置，其中，所述吸附组件包括第一板体和吸附区，所述第一板体连接在所述翻转单元主体上，所述吸附区设置于所述第一板体并自第一板体所在平面局部朝上向外延伸，所述吸附组件通过所述吸附区对所述晶圆进行真空吸附。
13.根据权利要求11所述的晶圆翻转装置，其中，所述执行单元还包括支撑组件，所述支撑组件连接在所述吸附组件上；
14.根据权利要求12所述的晶圆翻转装置，其中，所述支撑组件包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和第二支撑板均连接在所述吸附组件上，且所述第一支撑板的第一末端和所述第二支撑板的第二末端分别位于所述吸附组件的两侧；
15.根据权利要求14所述的晶圆翻转装置，其中，还包括处理单元；
16.根据权利要求15所述的晶圆翻转装置，其中，还包括光电传感器，所述光电传感器与所述处理单元电连接；
17.一种化学机械抛光设备，包括：至少一个如权利要求1-16中任一项所述的晶圆翻转装置。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其中，所述传动单元包括第一传动组件和第二传动组件；
3.根据权利要求2所述的晶圆翻转装置，其中，所述传动组件还包括导轨组件，其与所述第一传动组件连接，并与所述滚轮形成配合；
4.根据权利要求3所述的晶圆翻转装置，其中，所述导轨组件包括固定板和滑台，所述滑台安装于所述固定板；
5.根据权利要求4所述的晶圆翻转装置，其中，所述固定板设置有滚动轨道，所述滚轮位于所述滚动轨道内；
6.根据权利要求5所述的晶圆翻转装置，其中，所述滚动轨道包括所述固定板上开设的滚动槽。
7.根据权利要求5所述的晶圆翻转装置，其中，还包括第一位置传感器和第二位置传感器，两者分别设置于所述固定板的不同位置；
8.根据权利要求7所述的晶圆翻转装置，其中，所述伸缩件上设置有触发机构；
9.根据权利要求8中所述的晶圆翻转装置，其中，所述晶圆翻转装置还包括运动缓冲机构；
10.根据权利要求7所述的晶圆翻转装置，其中，
11.根据权利要求1-10中任一项所述的晶圆翻转装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：周斌，
申请(专利权)人：华海清科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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