【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械加工，尤其涉及一种提高钽锭批量锯切精度的夹具。
技术介绍
1、随着电子技术的高速发展，钽溅射靶材在集成电路中的应用越来越广泛。溅射过程，主要通过物理汽化喷镀工艺(物理气相沉积pvd)即用高压加速气态离子轰击，使靶材的原子被溅射出来并以薄膜的形式沉积在硅片或其他基板上，再配合光刻等工艺，最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。物理气相沉积是半导体芯片生产过程中最关键的工艺之一，是通过溅射机台来完成的，靶材就是用于上述工艺中的一种关键耗材。
2、钽靶的生产一般是以钽锭为原料，将圆柱形钽锭锯切成一定尺寸的钽块后，通过压力加工改变其厚度，得到近似圆形的锭材料，再通过压延的方式将圆形锭材加工到所需的厚度及外径，从而获得钽靶坯的坯料。在钽圆锭的锯切工序中，常用的切割方式主要包括两种：(1)第一种方式是将钽锭材放置在锯床的工作台上，由前后两个钳口分别夹持锭材的头部与尾部对锭材进行有序锯切，每锯切一块锭材就需要将产品下机后再进行送料锯切。上述操作步骤繁琐，并且加工效率较低，为了避免尺寸误差一般需要增加足够厚度的加工余量，由于钽的造价昂贵，必然导致原料成本增加。若切割得到的锭材尺寸不合格，产品随时存在报废的风险。(2)第二种方式是将锭材放在送料架上，每一块坯料锯前都需要人工对需要锯切的产品进行测量，以满足钽锭的尺寸要求和锯切面的垂直度要求，但是加工效率很低，不能满足正常生产的需求。
3、因此，提供一种提高钽锭批量锯切精度的夹具具有重要意义。
技术实现思路
1、针对现
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、本技术提供一种提高钽锭批量锯切精度的夹具，所述夹具包括托料架、压板和定向轴；
4、沿所述钽锭锯切时的移动方向，所述托料架依次包括第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架；
5、所述第二锯前托料架和锯后托料架之间设置有锯切位点；
6、所述定向轴依次贯穿第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架；
7、所述托料架内设置有放置圆柱形钽锭的凹槽；
8、所述第二锯前托料架的上方设置有压板。
9、本技术提供的夹具通过设置定向轴能够控制第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架的相对位置，然后将圆柱形钽锭放置在托料架的凹槽内，通过压板对钽锭进行紧固，从而能够准确定位钽锭的位置，避免了现有方法中钽锭位置滑动导致精度下降的问题。
10、优选地，所述第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架内凹槽的形状相同。
11、优选地，所述第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架内凹槽的底端齐平。
12、本技术中，通过定向轴贯穿第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架，并且控制托料架的凹槽底端齐平，能够进一步防止钽锭发生位置的滑移，限制多个自由度，使钽锭更加稳固，从而提高锯切精度。
13、优选地，所述凹槽沿竖直方向的截面为v形。
14、优选地，所述v形的夹角为60-120°，例如可以是60°、65°、70°、75°、80°、85°、90°、95°、100°、105°、110°、115°或120°，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
15、本技术中，优选控制v形的夹角在特定范围，能够进一步固定圆柱形钽锭。
16、优选地，所述压板的底面为锯齿面。
17、优选地，所述定向轴的数量至少为2根，例如可以是2根或3根，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
18、优选地，所述定向轴的轴向互相平行。
19、优选地，所述定向轴的直径为40-60mm，例如可以是40mm、42mm、45mm、48mm、50mm、52mm、55mm、58mm、60mm、62mm、65mm或68mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
20、优选地，所述定向轴的长度为1000-1400mm，例如可以是1000mm、1100mm、1200mm、1300mm或1400mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
21、本技术提供的夹具用于钽锭批量锯切的操作过程如下：
22、将压板抬起，然后将圆柱形钽锭放置于凹槽内，钽锭的前端位于锯后托料架，钽锭的后端位于第一锯前托料架，将钽锭移动至所需锯切尺寸后，下降压板将钽锭固定在托料架上，然后在锯切位点进行锯切，锯切完成后，切下的钽锭下机，然后抬起压板，将钽锭的前端继续向锯后托料架的方向移动至所需尺寸，再次锯切，重复上述操作，从而实现钽锭的批量锯切。
23、与现有技术相比，本技术的有益效果为：
24、本技术提供的夹具能够在锯切时准确定位钽锭，提高锯切精度和加工效率，锯切得到的钽锭中厚度偏差控制在±0.2mm以内，避免采用较大的加工余量，节约锭材，降低加工成本，减轻锯条磨损，使锯条的使用寿命提高10％。
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1.一种提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述夹具包括托料架、压板和定向轴；
2.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架内凹槽的形状相同。
3.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架内凹槽的底端齐平。
4.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述凹槽沿竖直方向的截面为V形。
5.根据权利要求4所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述V形的夹角为60-120°。
6.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述压板的底面为锯齿面。
7.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述定向轴的数量至少为2根。
8.根据权利要求7所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述定向轴的轴向互相平行。
9.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述定向轴的直径为
10.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述定向轴的长度为1000-1400mm。
...【技术特征摘要】
1.一种提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述夹具包括托料架、压板和定向轴；
2.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架内凹槽的形状相同。
3.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述第一锯前托料架、第二锯前托料架和锯后托料架内凹槽的底端齐平。
4.根据权利要求1所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述凹槽沿竖直方向的截面为v形。
5.根据权利要求4所述的提高钽锭批量锯切精度的夹具，其特征在于，所述v形的夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，李桂鹏，徐立红，
申请(专利权)人：同创丽水特种材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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