一种石英晶片表面除尘设备制造技术

一种石英晶片表面除尘设备，设有工作台、氮气吹扫机构、真空吸尘机构、载料盘组件、移动体和气缸；所述工作台的台面上固定安装气缸；所述气缸的活塞杆与移动体连接；所述移动体上设有若干组通气槽，并在移动体上放置载料盘组件；所述载料盘组件的载料盘本体上设有若干组与凹槽，在凹槽的底部设置上下贯通的圆孔，所述凹槽与移动体上的通气槽相对设置；所述氮气吹扫机构设有一排氮气吹嘴，所述氮气吹嘴位于移动体往复运动的区域中；所述真空吸尘机构设有真空吸嘴和负压罐，所述真空吸嘴位于移动体往复运动的区域中。本技术通过氮气吹扫和真空吸尘配合的方式将附着在其表面的粉尘去除，达到保证最终产品质量、提高工作效率的目的。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英晶体生产，具体为一种在石英晶体封装前针对石英晶片表面附着物进行吹扫清除的除尘设备。

技术介绍

1、石英晶体是一种重要的电子材料，沿一定方向切割的石英晶片，当受到机械应力作用时将产生与应力成正比的电场或电荷，这种现象称为正压电效应，反之，当石英晶片受到电场作用时将产生与电场成正比的应变，这种现象称为逆压电效应，正、逆两种效应合称为压电效应。利用石英晶体的压电效应制作的石英晶体谐振器、石英晶体振荡器和石英晶体滤波器，被广泛应用在通讯、家电、汽车及其它各类工业及消费类电子产品中。

2、在石英晶体制造过程中，石英晶片表面附着物会对最终产品的质量造成不良影响，为了保障石英晶片封装前不被污染，一般采用控制加工环境洁净度的方法，但由于石英晶片表面附着物属于微小颗粒物，人眼观察很难被发现并有效去除，因此需要优化设计一种专用除尘设备对石英晶片表面的附着物进行清除。

技术实现思路

1、本技术提供一种石英晶片表面除尘设备，旨在通过氮气吹扫和真空吸尘配合的方式，在石英晶体封装前将附着在其表面的粉尘去除，达到保证最终产品质量、提高工作效率的目的。

2、为达到上述目的，本技术采用如下技术方案：

3、一种石英晶片表面除尘设备，设有工作台、氮气吹扫机构、真空吸尘机构、载料盘组件、移动体和气缸；所述工作台置于水平地面上，在工作台的台面上固定安装气缸；所述气缸水平布置，气缸的活塞杆与移动体连接；所述移动体置于工作台的台面上，通过气缸驱动移动体往复运动，在移动体上设有若干组通气槽，并在移动体上放置载料盘组件；所述载料盘组件包括载料盘本体和掩膜片，在载料盘本体上设有若干组与工件尺寸相匹配的凹槽，在凹槽的底部设置上下贯通的圆孔，所述凹槽与移动体上的通气槽相对设置；所述氮气吹扫机构设有一排氮气吹嘴，所述氮气吹嘴安装在工作台的台面上，位于移动体往复运动的区域中，通过气路与氮气供给气源连接；所述真空吸尘机构设有真空吸嘴和负压罐，所述真空吸嘴安装在工作台的台面上，布置在氮气吹嘴的一侧，位于移动体往复运动的区域中，通过真空管路与负压罐连接。

4、上述石英晶片表面除尘设备，在载料盘本体的凹槽中放置工件后，在载料盘本体上粘附掩膜片，所述掩膜片上设有与凹槽对应的圆孔。

5、上述石英晶片表面除尘设备，在所述移动体上设有定位柱，在所述载料盘本体上设置与定位柱配合的定位孔。

6、上述石英晶片表面除尘设备，所述移动体底面四角位置处设置滚轮，移动体为由气缸驱动往复运动的移动小车。

7、上述石英晶片表面除尘设备，在所述气缸的缸体上设有用于记录移动小车往复运动次数的计数器。

8、上述石英晶片表面除尘设备，所述工作台的台面下方设有支撑板，所述负压罐置于支撑板上，通过垂直布置的真空管路与真空吸嘴连接，在负压罐内设置集尘器。

9、上述石英晶片表面除尘设备，还设有防尘罩，所述防尘罩置于工作台的台面上，扣合在气缸及移动体往复运动区域的上方。

10、本技术提供一种石英晶片表面除尘设备，它在工作台的台面上设置了气缸、移动体，可通过气缸驱动移动体往复运动；本技术还在移动体往复运行区域中布置了氮气吹嘴和真空吸嘴，当载有工件的移动体运动至氮气吹嘴位置时，可通过氮气吹嘴将置于载料盘凹糟中未封装的石英晶片上附着物吹起，使其脱离晶片表面，然后移动体运动至真空吸嘴位置处，再通过真空吸嘴将附着物吸入负压罐中设置的集尘器中。由此可见，本技术通过氮气吹扫和真空吸尘配合的方式，在石英晶体封装前将附着在其表面的粉尘去除，达到了保证最终产品质量、提高工作效率的目的。

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【技术保护点】

1.一种石英晶片表面除尘设备，其特征在于：它设有工作台（1）、氮气吹扫机构、真空吸尘机构、载料盘组件（4）、移动体（5）和气缸（6）；所述工作台（1）置于水平地面上，在工作台（1）的台面上固定安装气缸（6）；所述气缸（6）水平布置，气缸（6）的活塞杆与移动体（5）连接；所述移动体（5）置于工作台（1）的台面上，通过气缸驱动移动体（5）往复运动，在移动体（5）上设有若干组通气槽（5-3），并在移动体（5）上放置载料盘组件（4）；所述载料盘组件（4）包括载料盘本体（4-2）和掩膜片（4-1），在载料盘本体（4-2）上设有若干组与工件尺寸相匹配的凹槽（4-3），在凹槽（4-3）的底部设置上下贯通的圆孔，所述凹槽（4-3）与移动体（5）上的通气槽（5-3）相对设置；所述氮气吹扫机构设有一排氮气吹嘴（2），所述氮气吹嘴（2）安装在工作台（1）的台面上，位于移动体往复运动的区域中，通过气路与氮气供给气源连接；所述真空吸尘机构设有真空吸嘴（3）和负压罐（7），所述真空吸嘴（3）安装在工作台（1）的台面上，布置在氮气吹嘴（2）的一侧，位于移动体往复运动的区域中，通过真空管路与负压罐（7）连接。</p>

2.根据权利要求1所述的石英晶片表面除尘设备，其特征在于：在所述载料盘本体（4-2）的凹槽（4-3）中放置工件后，在载料盘本体（4-2）上粘附掩膜片（4-1），所述掩膜片（4-1）上设有与凹槽（4-3）对应的圆孔（4-4）。

3.根据权利要求2所述的石英晶片表面除尘设备，其特征在于：在所述移动体（5）上设有定位柱（5-2），在所述载料盘本体（4-2）上设置与定位柱（5-2）配合的定位孔（4-5）。

4.根据权利要求3所述的石英晶片表面除尘设备，其特征在于：所述移动体（5）底面四角位置处设置滚轮（5-1），移动体（5）为由气缸（6）驱动往复运动的移动小车。

5.根据权利要求4所述的石英晶片表面除尘设备，其特征在于：在所述气缸（6）的缸体上设有用于记录移动小车往复运动次数的计数器。

6.根据权利要求4所述的石英晶片表面除尘设备，其特征在于：所述工作台（1）的台面下方设有支撑板（1-1），所述负压罐（7）置于支撑板（1-1）上，通过垂直布置的真空管路与真空吸嘴（3）连接，在负压罐（7）内设置集尘器。

7.根据权利要求4所述的石英晶片表面除尘设备，其特征在于：它还设有防尘罩（8），所述防尘罩（8）置于工作台（1）的台面上，扣合在气缸（6）及移动体往复运动区域的上方。

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【技术特征摘要】

1.一种石英晶片表面除尘设备，其特征在于：它设有工作台（1）、氮气吹扫机构、真空吸尘机构、载料盘组件（4）、移动体（5）和气缸（6）；所述工作台（1）置于水平地面上，在工作台（1）的台面上固定安装气缸（6）；所述气缸（6）水平布置，气缸（6）的活塞杆与移动体（5）连接；所述移动体（5）置于工作台（1）的台面上，通过气缸驱动移动体（5）往复运动，在移动体（5）上设有若干组通气槽（5-3），并在移动体（5）上放置载料盘组件（4）；所述载料盘组件（4）包括载料盘本体（4-2）和掩膜片（4-1），在载料盘本体（4-2）上设有若干组与工件尺寸相匹配的凹槽（4-3），在凹槽（4-3）的底部设置上下贯通的圆孔，所述凹槽（4-3）与移动体（5）上的通气槽（5-3）相对设置；所述氮气吹扫机构设有一排氮气吹嘴（2），所述氮气吹嘴（2）安装在工作台（1）的台面上，位于移动体往复运动的区域中，通过气路与氮气供给气源连接；所述真空吸尘机构设有真空吸嘴（3）和负压罐（7），所述真空吸嘴（3）安装在工作台（1）的台面上，布置在氮气吹嘴（2）的一侧，位于移动体往复运动的区域中，通过真空管路与负压罐（7）连接。

2.根据权利要求1所述的石英晶片表面除尘设备，其特征在于：在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴东，王华恩，陈建松，王亮，李慷，
申请(专利权)人：唐山国芯晶源电子有限公司，
类型：新型
国别省市：