【技术实现步骤摘要】
本说明书中公开的主题涉及激光打标机。
技术介绍
1、作为激光标记的一个方法，已知对不锈钢、钛金属使用脉冲激光的彩色的激光标记。该激光标记是使用纳秒脉冲激光来控制激光照射能量的量，由此改变氧化膜的膜厚，使任意的干涉色显色的技术。另外，还已知通过使用飞秒激光照射铜、钛之类的金属，不仅形成氧化膜，而且形成微米级的构造、纳米级的微粒子或微细结构，从而实现着色的技术。这是因为微细结构引起依赖于光的波长的散射或吸收，由此金属表面的反射率发生变化，由此能够看到规定的颜色。
2、这样的激光标记技术例如记载于专利文献1。在专利文献1中，通过用点状(spotshape)方式照射物品的金属表面的单光束进行扫描，在物品的金属表面形成标记。
3、专利文献1：日本特表2019-521855号公报
技术实现思路
1、然而，现有技术那样的单光束的扫描存在如下问题：在描绘大范围的情况下会花费时间，生产率低。另外，单光束一般使用中央的能量高、随着靠向周边而能量变弱的高斯光束，但若利用这样的高斯光束对金属进行加工，则在光束的中心和周边会在加工的程度上产生差异，因此难以进行均匀的加工。为了均匀加工，也考虑以使单光束的周边部分重叠的方式进行扫描，但在该情况下，由于需要进行重叠描绘的量，扫描效率降低可能会。
2、本专利技术的目的在于提供一种能够高效且均匀地进行激光标记的技术。
3、为了解决上述课题，第一方式是一种激光打标机，对具有金属表面的对象物照射激光而形成标记，其中，具有：
4、第二方式是第一方式的激光打标机，所述空间光调制器具有plv(planar lightvalve，平面光阀)。
5、第三方式是第一方式或第二方式的激光打标机，所述多个调制要素分别能够进行多值的光量控制。
6、第四方式是第三方式的激光打标机，所述扫描部在对与先前被扫描的第一区域邻接的第二区域进行扫描时，使所述调制光束的端部与所述第一区域的端部重叠地进行扫描。
7、第五方式是第四方式的激光打标机，利用所述第一区域的扫描和所述第二区域的扫描而照射到所述第一区域的端部的激光的总能量与照射到第一区域的与端部邻接的区域的光的总能量一致。
8、第六方式是第五方式的激光打标机，所述第一区域的端部的宽度是与所述多个调制要素中的至少一个调制要素对应的宽度。
9、第七方式是第一方式至第六方式中的任意一个激光打标机，所述投影光学系统是缩小所述调制光束的缩小光学系统。
10、根据第一方式至第六方式的激光打标机，由于利用线状的调制光束扫描对象物，因此与利用点状的单光束进行扫描的情况相比，能够高效地进行描绘。另外，由于利用线状的调制光束扫描对象物的表面，因此能够通过一次扫描来描绘恒定宽度的区域。因此，能够在该区域内进行均匀的加工。
11、根据第二方式的激光打标机，通过采用plv，能够提高空间光调制器的耐功率性。
12、根据第三方式的激光打标机，能够在调制光束内多级地改变光量。由此，能够在调制光束内进行多色的标记。
13、根据第四方式的激光打标机，能够对第一区域的端部照射表面加工所需的能量的光。
14、根据第五方式的激光打标机，照射到第一区域的端部的光的总能量与照射到邻接的区域的光的总能量一致，因此能够在第一区域的端部减少加工不均的产生。
15、根据第六方式的激光打标机，通过将第一区域的端部的宽度设为与调制要素的至少一个对应的宽度，能够通过调制要素的光量控制来适当地调整相对于第一区域的端部的光量。
16、根据第七方式的激光打标机，能够使照射到空间光调制器的激光的能量密度小于照射到对象物时的激光的能量密度。由此，能够抑制空间光调制器的表面被加工。
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1.一种激光打标机，对具有金属表面的对象物照射激光而形成标记，其中，
2.根据权利要求1所述的激光打标机，其中，
3.根据权利要求1或2所述的激光打标机，其中，
4.根据权利要求3所述的激光打标机，其中，
5.根据权利要求4所述的激光打标机，其中，
6.根据权利要求5所述的激光打标机，其中，
7.根据权利要求1或2所述的激光打标机，其中，
【技术特征摘要】
1.一种激光打标机，对具有金属表面的对象物照射激光而形成标记，其中，
2.根据权利要求1所述的激光打标机，其中，
3.根据权利要求1或2所述的激光打标机，其中，
4.根据...
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