【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体搬运设备领域，具体涉及一种晶圆盒夹爪装置及空中运输车。
技术介绍
1、loadport(装载机台)是设置在例如光刻机等处理设备前端的装载机台，用于临时存放晶圆盒。oht(overhead hoist transfer，空中运输车)通过其上的夹爪装置将装载有待处理晶圆的晶圆盒放置在loadport上，或者将装载有已经完成处理的晶圆的晶圆盒从loadport上取出并运输至存储设备或者下一个工作站点。
2、现有的空中运输车的夹爪装置在对晶圆盒进行夹持时，当晶圆盒摆放异常或者晶圆盒上有异物时，夹爪装置在抓取晶圆盒时，容易出现夹爪装置与晶圆盒之间夹持不稳定的情况，导致引起晶圆盒掉落等事故。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供一种能够可靠夹持和安全运输的晶圆盒夹爪装置及空中运输车。
2、本技术提供以下技术方案：一种晶圆盒夹爪装置，包括基板和两组夹爪机构，两组所述夹爪机构可相对于所述基板移动，所述基板上安装有驱动组件，所述驱动组件带动两组所述夹爪机构相互靠近或者远离，以使得两组所述夹爪机构之间的距离增大或减小，所述基板顶部沿着远离所述基板方向设置有第一传感器和第二传感器，所述基板下方设有安装板，所述安装板与所述基板之间通过一个或者多个活动联接组件联接，所述基板与所述安装板之间设置有弹性件，所述安装板底部安装有定位块，所述安装板顶部设置有检测杆，所述检测杆穿过所述基板；
3、其中：
4、所述第一传感器与所述基板之间的距离小于所述第
5、当所述夹爪装置对所述晶圆盒进行夹持时，所述基板向靠近所述晶圆盒的方向移动，所述定位块与晶圆盒顶部相接触后向靠近所述基板的方向运动，所述定位块通过安装板带动所述检测杆向靠近第一传感器和第二传感器的方向运动，使得所述检测杆触发第一传感器和/或第二传感器；
6、所述第一传感器被触发时产生指示晶圆盒被正常夹持的信号；
7、所述第二传感器被触发时，或者，所述第一传感器和所述第二传感器同时被触发时，产生指示晶圆盒未被正常夹持的信号。
8、优选的，所述驱动组件包括电机、双向丝杆和两组滑块连接板，所述电机通过支架安装于所述基板上，所述电机输出端与双向丝杆相联接以驱动该双向丝杆转动，两组所述滑块连接板分别与所述双向丝杆的两侧螺纹联接，两组所述滑块连接板分别与两组所述夹爪机构之间相连接。
9、优选的，所述驱动组件还包括滑轨和滚珠螺母座，所述滑块连接板通过所述滚珠螺母座与所述双向丝杆之间螺纹联接，所述滑轨安装于所述基板上，所述滑块连接板与所述滑轨之间滑动连接。其中，所述双向丝杆转动时驱动两所述滑块连接板相互靠近或者相互远离。
10、优选的，所述夹爪装置还包括第三传感器、第四传感器和检测片，其中，所述第三传感器和所述第四传感器均安装于所述基板上，至少一所述滑块连接板上设有所述检测片；当所述夹爪装置处于初始状态时，所述检测片触发所述第四传感器，当所述夹爪装置夹持住所述晶圆盒时，所述检测片触发所述第三传感器。
11、优选的，所述夹爪机构包括立板、连板和托板，所述连板与所述驱动组件相连接，所述连板和托板均安装于所述立板靠近所述晶圆盒的一侧，所述立板包括夹持段和与夹持段相连接的连接段，沿着远离所述连接段的方向，所述夹持段的宽度逐渐减小，当所述夹爪机构夹持所述晶圆盒时，所述托板与所述晶圆盒的第二夹持部的底部相接触。
12、优选的，各所述夹爪机构均设有第一定位块和第二定位块，其中：
13、所述第一定位块具有两第一引导面，两所述第一引导面之间的夹角为α1；所述第二定位块具有两第二引导面，两所述第二引导面之间的夹角为α2；其中，0°＜α1＜180°，0°＜α2＜180°；
14、所述晶圆盒相对的两侧外壁上均设有第一夹持部及第二夹持部，其中，所述第一夹持部具有两第一被引导面，所述第二夹持部具有两第二被引导面；
15、其中：
16、第一夹持部的第一被引导面可沿第一定位块的第一引导面滑动，第二夹持部的第二被引导面可沿第二定位块的第二引导面滑动；
17、所述第一定位块及所述第二定位块被配置为：当各所述夹爪机构靠近晶圆盒运动时，一所述第一引导面与一所述第一被引导面之间，至少部分地接触并且相对滑动以实现第一精度的定位导向；随后至少一所述第二引导面与至少一所述第二被引导面之间，至少部分地接触并且相对滑动以实现第二精度的定位导向，以允许两所述第二引导面与两所述第二被引导面一对一地抵接。
18、优选的，所述第一定位块和第二定位块均安装于各所述夹爪机构靠近所述晶圆盒的一侧，所述第一定位块设于所述第二定位块的上方或者下方；
19、所述第一定位块设有u形槽，所述u形槽的相对的两侧壁一对一地构成两所述第一引导面，其中，沿所述u形槽的槽底至该u形槽的槽口的方向上，两所述第一引导面之间的间距逐渐增大；
20、所述第二定位块为v形凸块，该第二定位块的相对的两侧外壁一对一地构成两所述第二引导面，其中，沿所述第二定位块与夹爪机构连接的一端至该第二定位块凸出的一端的方向上，两所述第二引导面之间的间距逐渐减小；
21、其中：
22、两所述第一引导面之间最窄处的间隔大于两所述第二引导面之间最窄处的间隔；
23、第二定位块的两所述第二引导面与第二夹持部的两所述第二被引导面一对一地抵接时，第一夹持部的至少一所述第一引导面与第一定位块的一所述第一被引导面之间具有间隙。
24、优选的，所述夹爪机构还包括第五传感器，所述第五传感器安装于所述立板靠近所述晶圆盒的一侧，当所述夹爪机构夹持所述晶圆盒时，所述晶圆盒的外部凸出部分触发所述第五传感器。
25、优选的，所述基板底部还设置有至少两个导向块，至少两个所述导向块分布在所述晶圆盒的相邻或者相对的外侧面上，所述导向块靠近晶圆盒的一侧设置有斜面。
26、优选的，所述活动联接组件包括定位导向套和定位导向杆，所述弹性件为弹簧，其中：
27、所述定位导向套和所述定位导向杆中的一者与所述基板固定在一起，所述定位导向套和所述定位导向杆中的另一者与所述安装板固定在一起；所述定位导向套可活动的套接于所述定位导向杆的外侧，所述定位导向套和所述定位导向杆之间设有防止定位导向杆从定位导向套中脱离的止脱结构；
28、所述活动联接组件还包括固定板，所述固定板安装于所述定位导向套上，所述固定板与所述基板之间相连接；
29、所述弹簧套设于所述定位导向杆外部，其中，所述安装板受力进而向所述基板靠近时，所述弹簧受力并且弹性形变。
30、一种空中运输车，包括车体，联接于车体顶部的行进装置，连接于所述车体上的横向移载装置，连接于所述横向移载装置上的升降装置，所述空中运输车还设有如上述任一项所述的晶圆盒夹爪装置，所述晶圆盒夹爪装置安装于所述升降装置上，并且所述晶圆盒夹爪本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆盒夹爪装置，其特征在于，包括基板和两组夹爪机构，两组所述夹爪机构可相对于所述基板移动，所述基板上安装有驱动组件，所述驱动组件带动两组所述夹爪机构相互靠近或者远离，所述基板顶部沿着远离所述基板的方向设置有第一传感器和第二传感器，所述基板下方设有安装板，所述安装板与所述基板之间通过一个或者多个活动联接组件联接，所述基板与所述安装板之间设置有弹性件，所述安装板底部安装有定位块，所述安装板顶部设置有检测杆，所述检测杆穿过所述基板；
2.根据权利要求1所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述驱动组件包括电机、双向丝杆和两组滑块连接板，所述电机安装于所述基板上，所述电机的输出端与双向丝杆相联接以驱动该双向丝杆转动，两组所述滑块连接板分别与所述双向丝杆的两侧螺纹联接，两组所述滑块连接板分别与两组所述夹爪机构连接；
3.根据权利要求2所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述夹爪装置还包括第三传感器、第四传感器和检测片，其中：
4.根据权利要求1所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述夹爪机构包括立板、连板和托板，所述连板与所述驱动组件相连接，所述连板和托
5.根据权利要求4所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，各所述夹爪机构均设有第一定位块和第二定位块，其中：
6.根据权利要求5所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述第一定位块和第二定位块均安装于各所述夹爪机构靠近所述晶圆盒的一侧，所述第一定位块设于所述第二定位块的上方或者下方；
7.根据权利要求5所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述夹爪机构还包括第五传感器，所述第五传感器安装于所述立板靠近所述晶圆盒的一侧，当所述夹爪机构夹持所述晶圆盒时，所述晶圆盒的外部凸出部分触发所述第五传感器。
8.根据权利要求1所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述基板底部还设置有至少两个导向块，至少两个所述导向块分布在所述晶圆盒的相邻或者相对的外侧面上，所述导向块靠近晶圆盒的一侧设置有斜面。
9.根据权利要求1所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述活动联接组件包括定位导向套和定位导向杆，所述弹性件为弹簧，其中：
10.一种空中运输车，包括车体，联接于车体顶部的行进装置，连接于所述车体上的横向移载装置，连接于所述横向移载装置上的升降装置，其特征在于，所述空中运输车还设有权利要求1-9任一项所述的晶圆盒夹爪装置，所述晶圆盒夹爪装置安装于所述升降装置上，并且所述晶圆盒夹爪装置可相对于所述车体升降。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒夹爪装置，其特征在于，包括基板和两组夹爪机构，两组所述夹爪机构可相对于所述基板移动，所述基板上安装有驱动组件，所述驱动组件带动两组所述夹爪机构相互靠近或者远离，所述基板顶部沿着远离所述基板的方向设置有第一传感器和第二传感器，所述基板下方设有安装板，所述安装板与所述基板之间通过一个或者多个活动联接组件联接，所述基板与所述安装板之间设置有弹性件，所述安装板底部安装有定位块，所述安装板顶部设置有检测杆，所述检测杆穿过所述基板；
2.根据权利要求1所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述驱动组件包括电机、双向丝杆和两组滑块连接板，所述电机安装于所述基板上，所述电机的输出端与双向丝杆相联接以驱动该双向丝杆转动，两组所述滑块连接板分别与所述双向丝杆的两侧螺纹联接，两组所述滑块连接板分别与两组所述夹爪机构连接；
3.根据权利要求2所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述夹爪装置还包括第三传感器、第四传感器和检测片，其中：
4.根据权利要求1所述的晶圆盒夹爪装置，其特征在于，所述夹爪机构包括立板、连板和托板，所述连板与所述驱动组件相连接，所述连板和托板均安装于所述立板靠近所述晶圆盒的一侧，所述立板包括夹持段和与夹持段连接的连接段，沿着远离所述连接段的方向，所述夹持段的宽度逐渐减小，当所述夹爪机构夹持所述晶圆盒时，所述托板与所述晶圆盒...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝宝，谭璜，缪峰，
申请(专利权)人：弥费科技上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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