【技术实现步骤摘要】
本技术涉及废气处理装置，尤其涉及一种洗涤塔。
技术介绍
1、半导体行业属于高新技术产业，制造过程工艺复杂，在清洗、光刻、去胶、烘干等工艺中需使用大量的酸、碱及有机溶剂和多种特殊气体，整个生产过程三废产量大、种类多。其中酸性废气来源于清洗、溅射、湿法刻蚀、湿法去胶、cmp(chemical mechanicalpolishing,化学机械抛光)工艺等工艺废气。酸性气体的主要组成为hf、hcl、cl2、h2so4、so2等。酸性废气通常采用喷淋洗涤工艺，利用酸碱中和反应原理进行去除。例如，用naoh为洗涤液，将气态污染物转化为盐类，中和达标后气体排出。
2、洗涤塔装置运行一段时间后，在塔内经常出现严重的结晶结垢现象，即酸碱中和后生成的盐类已达到溶解饱和，析出结为晶体。例如，hf气体是半导体行业酸性废气中常见气体，酸碱中和后生成的naf盐类溶解度比较低，水温在20摄氏度时，溶解度为4.17g/100g，排水不及时容易出现盐类结晶。结垢会堵塞填料及阀门，增加系统压差、降低去除率，影响系统长周期平稳运行，并且增加了运行和维护成本。
3、相关技术中，通过增加排水量或补水量来降低离子浓度，但这样只是降低了水箱中溶液的总离子浓度，并不能解决难溶盐结垢的问题。而且，排水量或补水量的增加，会导致水资源的浪费、增加废水系统的处理量。
技术实现思路
1、本技术提供洗涤塔，用以解决现有技术中洗涤塔中难溶盐离子浓度高、易结晶结垢导致洗涤塔内部堵塞的缺陷，实现减少难溶盐结垢现象的发生、避
2、本技术提供一种洗涤塔，包括：
3、主塔体，所述主塔体设有进气口、反应腔室和排气口，所述进气口和所述排气口均与所述反应腔室连接且连通；
4、水箱，所述水箱与所述主塔体连接，且与所述反应腔室连通，以回收所述反应腔室内产生的溶液；
5、离子交换层，所述离子交换层用于吸收所述溶液中的离子，所述离子交换层设于所述水箱内，且位于所述反应腔室与所述水箱连通的位置处。
6、根据本技术提供的一种洗涤塔，所述离子交换层包括：
7、填料层；
8、进液分布器，所述进液分布器设于所述填料层朝向所述反应腔室的一侧，以使所述溶液均匀流向所述填料层；
9、出液层，所述出液层设于所述填料层朝向所述水箱的一侧。
10、根据本技术提供的一种洗涤塔，所述水箱具有相互连通的前腔室和后腔室，所述后腔室与所述反应腔室连通，且所述前腔室与所述后腔室之间设有隔板，所述离子交换层位于所述后腔室，所述离子交换层与所述后腔室的内侧壁和所述隔板中的至少一个连接。
11、根据本技术提供的一种洗涤塔，所述离子交换层倾斜设置于所述后腔室内。
12、根据本技术提供的一种洗涤塔，所述前腔室的侧壁设有进水口和排水口，所述前腔室的顶壁设有仪表接口。
13、根据本技术提供的一种洗涤塔，还包括：
14、控制器；
15、补水系统，所述补水系统包括液位计和进水阀，所述液位计和所述进水阀均与所述控制器通信连接，所述控制器用于控制所述进水阀的开度，所述液位计设于所述水箱内，所述液位计用于测量所述水箱的水位，所述进水阀设于所述进水口；
16、排水系统，所述排水系统包括电导仪和排水阀，所述电导仪和所述排水阀均与所述控制器通信连接，所述控制器用于控制所述排水阀的开度，所述电导仪设于所述水箱内且与所述水箱内的溶液接触，所述电导仪用于测量所述水箱内的溶液的电导率，所述排水阀设于所述排水口。
17、根据本技术提供的一种洗涤塔，所述进气口设于所述主塔体的一端，所述排气口设于所述主塔体的另一端，所述反应腔室位于所述进气口和所述排气口之间，所述反应腔室自所述进气口到所述排气口的方向上依次设有喷淋区和缓冲区。
18、根据本技术提供的一种洗涤塔，还包括喷淋系统，所述喷淋系统包括供液装置和多个喷头，所述喷头与所述供液装置连接且连通，所述喷头设于所述反应腔室的顶壁且位于所述喷淋区。
19、根据本技术提供的一种洗涤塔，还包括多个观察窗，所述观察窗设于所述主塔体的壳体上。
20、根据本技术提供的一种洗涤塔，所述观察窗为多个，其中至少一个所述观察窗朝向所述离子交换层处，用于观察所述离子交换层。
21、本技术提供的一种洗涤塔，通过在反应腔室和水箱连通的位置处设置离子交换层，离子交换层用于吸收溶液中的离子以降低水箱内溶液的离子浓度，从而减少盐类晶体的产生，避免洗涤塔内部堵塞。
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1.一种洗涤塔，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述离子交换层包括：
3.根据权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述水箱具有相互连通的前腔室和后腔室，所述后腔室与所述反应腔室连通，且所述前腔室与所述后腔室之间设有隔板，所述离子交换层位于所述后腔室，所述离子交换层与所述后腔室的内侧壁和所述隔板中的至少一个连接。
4.根据权利要求3所述的洗涤塔，其特征在于，所述离子交换层倾斜设置于所述后腔室内。
5.根据权利要求3所述的洗涤塔，其特征在于，所述前腔室的侧壁设有进水口和排水口，所述前腔室的顶壁设有仪表接口。
6.根据权利要求5所述的洗涤塔，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述进气口设于所述主塔体的一端，所述排气口设于所述主塔体的另一端，所述反应腔室位于所述进气口和所述排气口之间，所述反应腔室自所述进气口到所述排气口的方向上依次设有喷淋区和缓冲区。
8.根据权利要求7所述的洗涤塔，其特征在于，还包括喷淋系统，所述喷淋系统包括供液装置和多个
9.根据权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，还包括多个观察窗，所述观察窗设于所述主塔体的壳体上。
10.根据权利要求9所述的洗涤塔，其特征在于，所述观察窗为多个，其中至少一个所述观察窗朝向所述离子交换层处，用于观察所述离子交换层。
...【技术特征摘要】
1.一种洗涤塔，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述离子交换层包括：
3.根据权利要求1所述的洗涤塔，其特征在于，所述水箱具有相互连通的前腔室和后腔室，所述后腔室与所述反应腔室连通，且所述前腔室与所述后腔室之间设有隔板，所述离子交换层位于所述后腔室，所述离子交换层与所述后腔室的内侧壁和所述隔板中的至少一个连接。
4.根据权利要求3所述的洗涤塔，其特征在于，所述离子交换层倾斜设置于所述后腔室内。
5.根据权利要求3所述的洗涤塔，其特征在于，所述前腔室的侧壁设有进水口和排水口，所述前腔室的顶壁设有仪表接口。
6.根据权利要求5所述的洗涤塔，其特征在于，还包括：
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【专利技术属性】
技术研发人员：戴恩平，乔南利，喻正保，范伟伟，张学良，王嘉兴，
申请(专利权)人：格林斯达北京环保科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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