甩干式恒温烘箱制造技术

本实用新型专利技术涉及一种甩干式恒温烘箱，其烘箱箱体内设置有规格不同的甩干转盘，甩干转盘与电机主轴相连接，电机主轴与电机连接，电机与电机调速器连接；甩干转盘表面上设有真空抽气孔，真空抽气孔沿着转盘呈同心环状排列，所有的真空抽气孔均通过电机主轴与抽气管连通；烘箱箱体内设置了由石英加热管、热电偶及温控仪经线路连接组成的温控系统；可将清洗后的基板利用真空吸附的方法置于烘箱内的甩干转盘表面，通过带真空吸附转盘高速旋转的离心力将基板上的残留水滴甩干，再对烘箱的温度进行设定，将基板上吸附的水分子利用高温烘干；具有甩干效率高，吸附基板效果好，易于操作，性能稳定可靠，适用范围广的特点。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种恒温烘箱装置，特别涉及一种利用先甩干加后烘干的方法， 用于烘干各种形状大小不同基板的甩干式恒温烘箱。
技术介绍
现有技术中，在物理和化学方法的镀膜过程中，均需用平整洁净的玻璃、硅片和 PVC等作为基板；通常情况下，经清洗后的基板表面会附有残留水滴，主要是利用高温及其 鼓风技术经高温蒸发直接烘干残留水滴及附着的水分。但是，传统的烘箱在烘干对洁净度 要求很高的基板时，通过高温条件下水分蒸发后，水滴处会留有水渍，水渍中残留有污染 物，这是传统的烘箱存在的主要缺陷；不仅使薄膜的纯度下降，而且致使后续镀膜的均勻 性、附着力、平整度等较差，严重影响了镀膜的质量和使用寿命。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的不足，经设计改进提供一种将清洗后的 基板利用真空吸附的方法置于烘箱内的甩干转盘表面，通过带真空吸附转盘高速旋转的离 心力将基板上的残留水滴甩干，再对烘箱的温度进行设定，利用高温烘干基板上所吸附水 分子的甩干式恒温烘箱。该装置可有效避免基板因残留水滴而直接高温烘干致使基板表面 出现水渍的缺陷；具有吸附基板效果好，甩干效率高，易于操作，性能稳定可靠，扩展了使用 范围的特点。为实现所述目的，本技术采用了如下的技术方案一种甩干式恒温烘箱，包括 烘箱箱体，石棉，基板，电机主轴，电机，电机调速器，鼓风机，万向轮，通气孔，烘干架，散热 窗，石英加热管，热电偶，温控仪，抽气管，机械泵，真空抽气孔，环形平板圈，甩干转盘；所述 在烘箱箱体内设置有规格不同的甩干转盘，甩干转盘与电机主轴相连接，在甩干转盘的表 面上设有数个真空抽气孔，其真空抽气孔沿着转盘呈同心环状排列，并通过电机主轴与抽 气管连通；电机主轴与电机连接，电机与电机调速器连接；抽气管与机械泵相连接；在烘箱 箱体内设置了由石英加热管、热电偶以及温控仪经线路连接组成的温控系统。所述电机主轴为空心轴。所述在甩干转盘上面设有若干个环形平板圈。所述在烘箱箱体的上端设有通气孔。所述在烘箱箱体内设有烘干架及其散热窗。本技术与现有技术相比其优点是1、采用改进后的烘箱装置，可用于烘干各种规格或形状大小不同的基板，应用领 域广泛；2、经改进后的烘箱装置，可使基板表面干净无水渍，可有效保证基板的洁净度，为 后续高质量镀膜工艺奠定了良好的基础；3、该装置采用真空抽气孔的排列形成可根据带烘干的基板形状进行定制，以满足不同形状的基板吸附和甩干，扩展了使用范围；4、该装置采用带真空吸附转盘，且甩干转盘转速可调的技术，具有吸附基板效果 好，甩干效率高，易于操作，性能稳定可靠的特点。附图说明图1是本技术的结构连接示意图图2是图1中甩干转盘A的俯视图图中，1-烘箱箱体、2-石棉、3-基板、4-电机主轴、5-电机、6-电机调速器、7_鼓风 机、8-万向轮、9-通气孔、10-烘干架、11-散热窗、12-石英加热管、13-热电偶、14-温控仪、 15-抽气管、16-机械泵、17-真空抽气孔、18-环形平板圈、19-转盘中心，A和Al、A2-甩干转盘；具体实施方式以下结合附图及实施例对本技术作进一步说明参见图1，一种甩干式恒温烘箱，由烘箱箱体1、石棉2、基板3、电机主轴4、电机5、 电机调速器6、鼓风机7、万向轮8、通气孔9、烘干架10、散热窗11、石英加热管12、热电偶 13、温控仪14、抽气管15、机械泵16、真空抽气孔17、环形平板圈18、转盘中心19及其甩干 转盘A和A1、A2所构成；所述烘箱箱体1内设置有规格不同的甩干转盘A和A1、A2，亦可根 据需要，在同一烘箱中设置多组甩干单元，其甩干转盘A和Al、A2与电机主轴4相连接，电 机主轴4为空心轴，电机主轴4与电机5连接，电机5与电机调速器6连接；其电机主轴4 可以同时带动2 3个不同规格的转盘，电机转速可以在500 2000RPM范围内连续可调； 甩干转盘A由电机5带动做高速圆周运动，转盘高速旋转的离心力去除基板上残留水滴；甩 干转盘A和Al、A2表面上设有数个真空抽气孔17，真空抽气孔17沿着转盘呈同心环状排 列，所有的真空抽气孔17均通过电机主轴4与抽气管15连通；真空抽气孔17也可以以适 当方式排列，用于吸附各种规格的基板，无需机械夹持，不会对样品造成机械损伤；真空抽 气孔17的排列形成可根据带烘干的基板3形状进行定制，以满足不同形状的基板吸附和甩 干；同一块转盘可以吸附形状相似，大小不同的系列基板，从而扩展了甩干式恒温烘箱的使 用范围。所述在烘箱箱体1上端设有通气孔9，由鼓风机7通过通气孔9对烘箱内鼓风，加 快空气流动，以烘干基板表面吸附的水分子。所述在烘箱箱体1内设有烘干架10及其散热 窗11，烘干架10用于放置无需甩干的物品并对其烘干；散热窗11用于热交换。抽气管15 与机械泵16相连接，机械泵16可以通过抽气管15及电机主轴4对真空抽气孔17抽气；一 台机械泵可以同时对几台甩干式恒温烘干机抽真空。所述在烘箱箱体1内设置了由石英加 热管12、热电偶13及温控仪14经线路连接组成的温控系统；利用温度控制仪14可预设定 烘箱要达到的目标温度，通过石英加热管12进行加热，由热电偶13对烘箱内温度进行实时 监测，并可通过温度控制仪14进行闭环控制，使烘箱保持预定的温度，还可以通过温控系 统进行温度定时调节；烘箱外壳夹层中的石棉2主要用于保温，利用高温对基板进一步加 热。参见图2，在甩干转盘A上面设有若干个环形平板圈18，用于堵塞基板未覆盖的真 空抽气孔17 ；在甩干转盘A的中心位置设为转盘中心19。 工作时，以转盘中心19为中心放置基板3，利用甩干转盘A上所设的环形平板圈 18堵塞基板3上未覆盖的真空抽气孔17 ；打开机械泵16可以通过抽气管15及电机主轴4 对真空抽气孔17抽气，此时基板3的上下表面已形成压差，基板被吸附在甩干转盘A表面； 打开电机，利用电机调速器6设定合适转速，甩干转盘A带动基板3高速旋转，在一定时间 内，利用离心力就可将基板表面残留水滴甩干；再对烘箱的温度进行设定，进一步利用高温 烘干基板上吸附的水分子。权利要求一种甩干式恒温烘箱，包括烘箱箱体(1)，石棉(2)，基板(3)，电机主轴(4)，电机(5)，电机调速器(6)，鼓风机(7)，万向轮(8)，通气孔(9)，烘干架(10)，散热窗(11)，石英加热管(12)，热电偶(13)，温控仪(14)，抽气管(15)，机械泵(16)，真空抽气孔(17)，环形平板圈(18)，转盘中心(19)，甩干转盘(A)；其特征在于在烘箱箱体(1)内设置有规格不同的甩干转盘(A)，甩干转盘(A)与电机主轴(4)相连接，在甩干转盘(A)的表面上设有数个真空抽气孔(17)，其真空抽气孔(17)沿着转盘呈同心环状排列，并通过电机主轴(4)与抽气管(15)连通；电机主轴(4)与电机(5)连接，电机(5)与电机调速器(6)连接，抽气管(15)与机械泵(16)相连接；在烘箱箱体(1)内设置了由石英加热管(12)、热电偶(13)及温控仪(14)经线路连接组成的温控系统。2.根据权利要求1所述的甩干式恒温烘箱，其特征在于所述电机主轴(4)为空心轴。3.根据权利要求1所述的甩干式恒温烘箱，其特征在于所述在甩干转盘(A)上面设 有若干个环形平板圈(18)。4.根本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种甩干式恒温烘箱，包括烘箱箱体（１），石棉（２），基板（３），电机主轴（４），电机（５），电机调速器（６），鼓风机（７），万向轮（８），通气孔（９），烘干架（１０），散热窗（１１），石英加热管（１２），热电偶（１３），温控仪（１４），抽气管（１５），机械泵（１６），真空抽气孔（１７），环形平板圈（１８），转盘中心（１９），甩干转盘（Ａ）；其特征在于：在烘箱箱体（１）内设置有规格不同的甩干转盘（Ａ），甩干转盘（Ａ）与电机主轴（４）相连接，在甩干转盘（Ａ）的表面上设有数个真空抽气孔（１７），其真空抽气孔（１７）沿着转盘呈同心环状排列，并通过电机主轴（４）与抽气管（１５）连通；电机主轴（４）与电机（５）连接，电机（５）与电机调速器（６）连接，抽气管（１５）与机械泵（１６）相连接；在烘箱箱体（１）内设置了由石英加热管（１２）、热电偶（１３）及温控仪（１４）经线路连接组成的温控系统。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张国宾，
申请(专利权)人：张国宾，
类型：实用新型
国别省市：62[中国|甘肃]