【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏半导体制造设备中的发热丝的，具体是一种加热丝过桥处的保护结构。
技术介绍
1、扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。
2、其中扩散炉中布置有多段加热丝进行炉体加热，相邻的两段加热丝之间通过过桥结构连接，一般的过桥结构为一条连接在两端加热丝之间的电阻丝，在炉体发热过程中，由单一电阻丝形成的过桥结构电阻较大，使其发热量很大，容易使过桥结构出现过温烧断的风险。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术目的是为了提供一种加热丝过桥处的保护结构。
2、为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种加热丝过桥处的保护结构，包括多段用于发热的加热丝和连接在相邻所述加热丝端部之间的过桥结构，在所述过桥结构上套装有保护结构，所述保护结构由导电金属材料制成，所述保护结构通过缠绕的方式紧贴在所述过桥结构外，以增大所述过桥结构的过流横截面积。
3、优选地，所述保护结构的两端成型有密绕部，所述密绕部与过桥结构缠绕的螺距紧密。
4、进一步地，所述保护结构的中部成型有弹性部，所述弹性部与过桥结构缠绕的螺距疏松。
5、优选地，所述保护结构的轴向长度与所述过桥结构的长度相同。
6、优选地，所述保护结构由纯镍、或镍铬、
7、本技术技术效果主要体现在以下方面：通过在过桥结构上连接有可增加过流横截面积的保护结构，达到降低过桥结构的电阻，降低发热量，降低过桥结构出现过温烧断的风险的效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种加热丝过桥处的保护结构，包括多段用于发热的加热丝和连接在相邻所述加热丝端部之间的过桥结构，其特征在于：在所述过桥结构上套装有保护结构，所述保护结构由导电金属材料制成，所述保护结构通过缠绕的方式紧贴在所述过桥结构外，以增大所述过桥结构的过流横截面积。
2.根据权利要求1所述的一种加热丝过桥处的保护结构，其特征在于：所述保护结构的两端成型有密绕部，所述密绕部与过桥结构缠绕的螺距紧密。
3.根据权利要求2所述的一种加热丝过桥处的保护结构，其特征在于：所述保护结构的中部成型有弹性部，所述弹性部与过桥结构缠绕的螺距疏松。
4.根据权利要求1所述的一种加热丝过桥处的保护结构，其特征在于：所述保护结构的轴向长度与所述过桥结构的长度相同。
5.根据权利要求1-4任一项所述的加热丝过桥处的保护结构，其特征在于：所述保护结构由纯镍、或镍铬、或铁铬铝制成。
【技术特征摘要】
1.一种加热丝过桥处的保护结构，包括多段用于发热的加热丝和连接在相邻所述加热丝端部之间的过桥结构，其特征在于：在所述过桥结构上套装有保护结构，所述保护结构由导电金属材料制成，所述保护结构通过缠绕的方式紧贴在所述过桥结构外，以增大所述过桥结构的过流横截面积。
2.根据权利要求1所述的一种加热丝过桥处的保护结构，其特征在于：所述保护结构的两端成型有密绕部，所述密绕部与过桥结构缠绕的螺距紧密...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗炜登，
申请(专利权)人：佛山市沙森堡新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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