一种单晶硅片表面平整度检测装置制造方法及图纸

技术编号:40728918 阅读:11 留言:0更新日期:2024-03-22 13:08
本技术公开了硅片表面缺陷技术领域的一种单晶硅片表面平整度检测装置,包括装置组件,其包括装置主体,所述装置主体的中心设置有传输带,所述传输带的两侧连接有传动轴,所述传动轴的一侧套有连接皮带,所述连接皮带的另一侧套有连接杆;夹持组件,其包括驱动电机,所述驱动电机的内侧连接有驱动丝杆,所述驱动丝杆的外侧连接有螺纹块,通过延长传输带两侧的传动轴,同时利用连接皮带将传动轴与连接杆带动呈一体化转动,后连接杆通过驱动丝杆带动夹持块进行夹持,使得装置一体化运行,减少能源消耗,并且可以在传输带工作过程中在相机的下方进行自动夹持,使得相机拍照过程中单晶硅片处于竖直状态,保证检测工作进行。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片表面缺陷检测,尤其是涉及一种单晶硅片表面平整度检测装置


技术介绍

1、当下新能源产业趋势明显,光伏产业发展迅速,硅片作为太阳能电池片的主要原料,使得硅片的需求日益增大,而且硅片表面的平整度直接影响着太阳能电池片的质量,使用不合格的硅片制作太阳能电池片,可能会使太阳能电池片直接报废,比较浪费成本和资源,现有的硅片表面的缺陷检测多是通过相机检测单面的平整度,不能够保证边缘的形状尺寸要求,缺少对硅片边缘的高精度检测功能,

2、如专利公开号为cn202320331370.8,公开的一种单晶硅片表面缺陷检测设备,其通过采集的数据对要求数据进行对比,够保证边缘的形状尺寸要求,对硅片的边缘进行高精度检测,但是该技术方案仍存在不足,具体如下:

3、该设备在单晶硅片进入时会设置有限位机构,使得单晶硅片进入时处于一个平稳的状态,但是仅仅是设立在入口的位置,无法保证拍照时位置准确,同时需要工作人员进行手动调节,增加了工作人员的工作量。为此,我们提出一种单晶硅片表面平整度检测装置来解决上述提到的问题。


技术实现思路

1、本部分的目的在于概述本技术的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本技术的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊,而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。

2、因此,本技术目的是提供一种单晶硅片表面平整度检测装置,能够解决现有的设备在拍照时无法保证位置准确,同时需要工作人员手动调节限位结构的问题。

3、为解决上述技术问题,本技术提供一种单晶硅片表面平整度检测装置,采用如下的技术方案:包括,

4、装置组件,其包括装置主体,所述装置主体的中心设置有传输带,所述传输带的两侧连接有传动轴,所述传动轴的一侧套有连接皮带,所述连接皮带的另一侧套有连接杆;

5、夹持组件,其包括驱动电机,所述驱动电机的内侧连接有驱动丝杆,所述驱动丝杆的外侧连接有螺纹块,所述螺纹块的内侧连接有第一支撑板,所述第一支撑板的一侧连接有第二丝杆,所述第二丝杆的另一侧连接有第一夹持块;

6、调节组件,其包括第二支撑板,所述第二支撑板的两侧连接有复位弹簧,所述第二支撑板的中心连接有滑动块,所述复位弹簧另一侧连接有第二夹持块。

7、通过采用上述技术方案,本方案通过设置有调节组件使得自动对不同大小的单晶硅片进行夹持,同时通过设置有由传动轴带动驱动丝杆来使得夹持块进行自动夹持,保证在拍照时位置对位准确。

8、可选的,所述传动轴对称分布在传输带的两侧,所述传动轴通过连接皮带与连接杆构成一体化转动结构。

9、通过采用上述技术方案,本方案通过传动轴带动连接杆转动,使得设备一体化运行,减少能源消耗。

10、可选的,所述连接杆与装置主体的连接方式为转动连接,所述连接杆与驱动丝杆的连接方式为热熔连接,所述连接杆对称分布在装置主体的横向中心线两侧。

11、通过采用上述技术方案,本方案通过连接杆带动驱动丝杆转动,取代驱动电机,提高能源利用效率。

12、可选的,所述驱动电机与驱动丝杆的连接方式为键连接,所述驱动丝杆与螺纹块的连接方式为螺纹连接,所述螺纹块为中空长条形结构。

13、通过采用上述技术方案,本方案通过驱动丝杆带动螺纹块移动,便于后续的第一夹持块移动。

14、可选的,所述螺纹块的一侧连接有延伸块,所述螺纹块与延伸块呈一体化安装,所述延伸块的内侧连接有限位杆,所述延伸块与限位杆的连接方式为滑动连接。

15、通过采用上述技术方案,本方案通过限位杆对螺纹块进行限位,使得其可以平稳移动,保证顺利运行。

16、可选的,所述第一支撑板的中心点与螺纹块的中心点重合,所述第一支撑板与第二丝杆的连接方式为螺纹连接,所述第二丝杆与第一夹持块呈一体化安装。

17、通过采用上述技术方案,本方案通过第一支撑板与第一夹持块配合,完成对单晶硅片的夹持工作,保证拍照时单晶硅片处于竖直状态。

18、可选的,所述第二支撑板的两侧对称分布有复位弹簧,所述复位弹簧与减震器的连接方式为并联连接,所述第二支撑板通过复位弹簧与第二夹持块构成弹簧复位结构。

19、通过采用上述技术方案,本方案通过复位弹簧与减震器配合,使得第二夹持块可以适配不同大小的单晶硅片,无需工作人员手动调节。

20、可选的,所述第二支撑板的中心点与滑动块的中心点重合,所述第二支撑板与滑动块呈一体化安装,所述滑动块与收纳块的连接方式为滑动连接,所述收纳块与第二夹持块呈一体化安装。

21、通过采用上述技术方案,本方案通过收纳块与滑动块配合,使得第二夹持块在伸缩过程中稳定移动,不会出现抖动情况。

22、综上所述,本技术包括以下至少一种有益效果:

23、通过延长传输带两侧的传动轴,同时利用连接皮带将传动轴与连接杆带动呈一体化转动,后连接杆通过驱动丝杆带动夹持块进行夹持,使得装置一体化运行,减少能源消耗,并且可以在传输带工作过程中在相机的下方进行自动夹持,使得相机拍照过程中单晶硅片处于竖直状态,保证检测工作进行;

24、通过设置有复位弹簧与减震器配合,使得第二夹持块可以根据单晶硅片自动调节自己与第二支撑板之间的间距,从而自动适配不同大小的单晶硅片,同时在第二夹持块的中心设置有收纳块,利用收纳块与滑动块配合,保证第二夹持块运行稳定。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:包括,

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述传动轴(103)对称分布在传输带(102)的两侧,所述传动轴(103)通过连接皮带(104)与连接杆(105)构成一体化转动结构。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述连接杆(105)与装置主体(101)的连接方式为转动连接,所述连接杆(105)与驱动丝杆(202)的连接方式为热熔连接,所述连接杆(105)对称分布在装置主体(101)的横向中心线两侧。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述驱动电机(201)与驱动丝杆(202)的连接方式为键连接,所述驱动丝杆(202)与螺纹块(203)的连接方式为螺纹连接,所述螺纹块(203)为中空长条形结构。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述螺纹块(203)的一侧连接有延伸块(204),所述螺纹块(203)与延伸块(204)呈一体化安装,所述延伸块(204)的内侧连接有限位杆(205),所述延伸块(204)与限位杆(205)的连接方式为滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述第一支撑板(206)的中心点与螺纹块(203)的中心点重合,所述第一支撑板(206)与第二丝杆(208)的连接方式为螺纹连接,所述第二丝杆(208)与第一夹持块(207)呈一体化安装。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述第二支撑板(301)的两侧对称分布有复位弹簧(303),所述复位弹簧(303)与减震器(305)的连接方式为并联连接,所述第二支撑板(301)通过复位弹簧(303)与第二夹持块(302)构成弹簧复位结构。

8.根据权利要求7所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述第二支撑板(301)的中心点与滑动块(304)的中心点重合,所述第二支撑板(301)与滑动块(304)呈一体化安装,所述滑动块(304)与收纳块(306)的连接方式为滑动连接,所述收纳块(306)与第二夹持块(302)呈一体化安装。

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【技术特征摘要】

1.一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:包括,

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述传动轴(103)对称分布在传输带(102)的两侧,所述传动轴(103)通过连接皮带(104)与连接杆(105)构成一体化转动结构。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述连接杆(105)与装置主体(101)的连接方式为转动连接,所述连接杆(105)与驱动丝杆(202)的连接方式为热熔连接,所述连接杆(105)对称分布在装置主体(101)的横向中心线两侧。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述驱动电机(201)与驱动丝杆(202)的连接方式为键连接,所述驱动丝杆(202)与螺纹块(203)的连接方式为螺纹连接,所述螺纹块(203)为中空长条形结构。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片表面平整度检测装置,其特征在于:所述螺纹块(203)的一侧连接有延伸块(204),所述螺纹块(203)与延伸块(204)呈一体化安装,所述延伸块...

【专利技术属性】
技术研发人员:邹福洲刘顺华
申请(专利权)人:扬州六如新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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