【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
现有腐蚀液温度较低，导致圆片腐蚀效率比较低，若提高温度，则产生过腐蚀，合 格率又降低。
技术实现思路
本专利技术目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种。本专利技术为实现上述目的，采用如下技术方案本专利技术，其特征在于所述方法如下通过加热丝将腐蚀液温度控制在50 54°C，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6 10分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HN03/H3P04/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅 片。优选地，所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。本专利技术减少了腐蚀时间，提高了生产效率，并且减少了腐蚀线条的毛刺，提高了化 学试剂的活性。具体实施例方式实施例1 ，其特征在于所述方法如下通过加热丝将腐蚀液温度控制在50°C，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀10分钟，最 后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HN03/H3P04/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。实施例2:通过加热丝将腐蚀液温度控制在54°C，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6分钟，最 后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HN03/H3P04/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。权利要求一种，其特征在于所述方法如下通过加热丝将腐蚀液温度控制在50～54℃，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6～10分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。2.根据权利要求1所述的，其特征在于所述承载腐蚀液的腐蚀机为 旋转式铝腐蚀机。全文摘要本专利技术公布了一种，通过加热丝将腐蚀液温度控制在50～54℃，然后将圆...
【技术保护点】
一种圆片的铝腐蚀方法，其特征在于所述方法如下： 通过加热丝将腐蚀液温度控制在５０～５４℃，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀６～１０分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为ＨＮＯ↓［３］／Ｈ↓［３］ＰＯ↓［４］／ＨＡＣ，所述圆片为Ａｌ蒸发后的硅片。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张春华，张馨月，
申请(专利权)人：无锡春辉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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