【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石英砂加工设备,特别涉及一种石英样块固定夹具。
技术介绍
1、在半导体行业,石英坩埚是晶片制作过程中必不可少的一环,石英坩埚的材质通常为石英砂,石英砂的质量直接关系到晶片的质量,因此对石英砂进行粘度测试显得尤为必要。粘度测试时,需利用固定夹具的固定住石英样块。然而,现有固定夹具通常直接利用锁紧螺钉压紧石英样块,导致石英样块很容易断裂。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种石英样块固定夹具,柔性压板替代锁紧螺钉压紧石英样块,解决了石英样块很容易断裂的技术问题。
2、为实现上述目的,本技术提供一种石英样块固定夹具,包括两组分别用于设于石英样块两端的紧固组件,每组紧固组件包括:
3、用于套设于石英样块端部的固定框;
4、可滑动穿设于固定框的滑动架;
5、位于固定框内并与滑动架相固连、用于将石英样块压于固定框的柔性压板;
6、用于限定柔性压板的位置的锁紧件。
7、优选地,锁紧件具体为穿设于固定框的锁紧螺钉,锁紧螺钉用于在柔性压板压住石英样块后顶住柔性压板。
8、优选地,滑动架包括两根分别可滑动穿设于固定框的连接螺栓,两根连接螺栓均与柔性压板相固连。
9、优选地,锁紧件具体为套设于滑动架的锁紧螺母,滑动架的两根立柱均设有与锁紧螺母相配合的锁紧螺纹,锁紧螺母用于在柔性压板压住石英样块后固定住滑动架。
10、优选地,每组紧固组件还包括两根分别固设于固定框的两相对侧的侧边螺钉,
11、优选地,侧边螺钉固设有用于与石英样块的侧边相抵的柔性压块。
12、优选地,每组紧固组件还包括固设于固定框并用于与石英样块的端部相抵的止挡件。
13、优选地,止挡件具体为穿设于固定框的止挡螺钉。
14、优选地,固定框具有用于供石英样块穿过的安装型腔,安装型腔的底侧面固设有用于支撑石英样块的柔性垫。
15、优选地,柔性垫具体为粘固于安装型腔的橡胶垫。
16、相对于
技术介绍
,本技术所提供的石英样块固定夹具,包括两组紧固组件,每组紧固组件包括固定框、滑动架、柔性压板和锁紧件。固定石英样块时,先将固定框套设在石英样块的端部,再调节滑动架,滑动架带动柔性压板相对于固定框同步滑动,直至柔性压板将石英样块压于固定框上,再调节锁紧件,限定柔性压板的位置,使柔性压板始终保持压紧石英样块。本技术新增设了滑动架和柔性压板,柔性压板替代现有铁质的锁紧螺钉压紧石英样块,柔性压板的质地较柔软,能有效降低石英样块被压断的风险。
【技术保护点】
1.一种石英样块固定夹具,其特征在于,包括两组分别用于设于石英样块(1)两端的紧固组件(2),每组所述紧固组件(2)包括:
2.根据权利要求1所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述锁紧件(24)具体为穿设于所述固定框(21)的锁紧螺钉,所述锁紧螺钉用于在所述柔性压板(23)压住石英样块(1)后顶住所述柔性压板(23)。
3.根据权利要求2所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述滑动架(22)包括两根分别可滑动穿设于所述固定框(21)的连接螺栓,两根所述连接螺栓均与所述柔性压板(23)相固连。
4.根据权利要求1所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述锁紧件(24)具体为套设于所述滑动架(22)的锁紧螺母,所述滑动架(22)的两根立柱均设有与所述锁紧螺母相配合的锁紧螺纹,所述锁紧螺母用于在所述柔性压板(23)压住石英样块(1)后固定住所述滑动架(22)。
5.根据权利要求1至4任一项所述的石英样块固定夹具,其特征在于,每组所述紧固组件(2)还包括两根分别固设于所述固定框(21)的两相对侧的侧边螺钉(25),两根所述侧边螺钉(25)用
6.根据权利要求5所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述侧边螺钉(25)固设有用于与石英样块(1)的侧边相抵的柔性压块。
7.根据权利要求1至4任一项所述的石英样块固定夹具,其特征在于,每组所述紧固组件(2)还包括固设于所述固定框(21)并用于与石英样块(1)的端部相抵的止挡件(26)。
8.根据权利要求7所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述止挡件(26)具体为穿设于所述固定框(21)的止挡螺钉。
9.根据权利要求1至4任一项所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述固定框(21)具有用于供石英样块(1)穿过的安装型腔,所述安装型腔的底侧面固设有用于支撑石英样块(1)的柔性垫。
10.根据权利要求9所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述柔性垫具体为粘固于所述安装型腔的橡胶垫。
...【技术特征摘要】
1.一种石英样块固定夹具,其特征在于,包括两组分别用于设于石英样块(1)两端的紧固组件(2),每组所述紧固组件(2)包括:
2.根据权利要求1所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述锁紧件(24)具体为穿设于所述固定框(21)的锁紧螺钉,所述锁紧螺钉用于在所述柔性压板(23)压住石英样块(1)后顶住所述柔性压板(23)。
3.根据权利要求2所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述滑动架(22)包括两根分别可滑动穿设于所述固定框(21)的连接螺栓,两根所述连接螺栓均与所述柔性压板(23)相固连。
4.根据权利要求1所述的石英样块固定夹具,其特征在于,所述锁紧件(24)具体为套设于所述滑动架(22)的锁紧螺母,所述滑动架(22)的两根立柱均设有与所述锁紧螺母相配合的锁紧螺纹,所述锁紧螺母用于在所述柔性压板(23)压住石英样块(1)后固定住所述滑动架(22)。
5.根据权利要求1至4任一项所述的石英样块固定夹具,其特征在于,每组所述紧固组...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴伟华,周勇,方志远,尹亮,
申请(专利权)人:宁夏鑫晶新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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