【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氧化钇喷嘴，具体涉及一种氧化钇喷嘴的制作工艺、干压成型模具、干压成型设备。
技术介绍
1、芯片和显示面板制作的干刻工序需要在含有f、cl、o等元素的等离子体中进行，而等离子体对金属具有较强的侵蚀性，因此需要用陶瓷涂层来保护设备腔体和其中的部件，或者直接用陶瓷制作设备部件。氧化钇由于有很强的耐等离子体刻蚀的性能，常被用于制作干刻设备中的喷嘴，作为向腔体引入刻蚀气体的部件。
2、现有的氧化钇喷嘴的制作工艺通常如下：将氧化钇粉末与粘合剂、溶剂等有机溶剂混合后，制作成造粒粉；通过干压或等静压成型，将氧化钇造粒粉制作成生坯；对生坯进行粗加工，将其加工成接近喷嘴的形状和尺寸，包括用于气体通过的孔；将成型体在炉中进行脱脂和烧结，形成硬质的烧结体；在烧结体上通过机加工，将喷嘴外形、尺寸，以及其中的孔径加工至成品尺寸。
3、上述工艺中，氧化钇在烧结后再进行精加工，由于烧结体硬度高，需要的加工时间长，对刀具的损耗也大，因此成本比较高。但是，若在生坯阶段对生坯进行加工，由于成型的生坯强度低，容易造成生坯出现裂纹、缺损等问题，这些裂纹和缺损在烧结体经过精加工后并不必然会消失，在后续的喷嘴的使用过程中，这些裂纹和缺损的地方，容易产生颗粒，因而影响制作的芯片的良率。
4、鉴于此，本专利技术提供一种氧化钇喷嘴的制作工艺、干压成型模具、干压成型设备以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术旨在解决上述技术问题，即生坯阶段的氧化钇喷嘴进行加工时，由于生坯强度
2、在第一方面，本专利技术提供了一种氧化钇喷嘴的制作工艺，包括以下步骤：
3、s101：利用喷雾造粒制作氧化钇粉末，所述氧化钇粉末平均粒径为20-100μm；
4、s102：将所述氧化钇粉末加入模具中干压成型形成生坯，干压压强为30-80mpa；
5、s103：将所述生坯进行脱脂及预烧结，得到烧结体；脱脂与预烧结在大气环境中进行，其中，所述脱脂温度为200-800℃，保温时间为1-8h，预烧结温度为1100-1300℃，保温时间为2-3h；
6、s104：对所述烧结体进行粗加工，保留烧结体最终烧结后的加工余量；
7、s105：对粗加工后的烧结体进行最终烧结；最终烧结温度为1500-1750℃，保温时间为1-8h；
8、s106：对所述喷嘴进行精加工。
9、在第二方面，本专利技术还提供了一种干压成型模具，用于成型上述所述的喷嘴，包括：
10、上模座，被配置在固定座底面，所述上模座形成有上模腔；
11、下模座，其内形成有与所述上模腔相匹配的下模腔；
12、压板，被配置在所述上模腔的竖直部分和水平部分，用以压实所述上模腔及所述下模腔水平部分内的氧化钇粉末；
13、模压组件，设于所述上模座和所述下模座，用以压实所述上模腔和所述下模腔竖直部分内的氧化钇粉末；
14、其中，所述下模座顶端开设有至少一个楔形槽，所述上模座底端形成有与所述楔形块相匹配的楔形块；
15、其中，所述固定座底面安装有卷簧，所述卷簧具有相对的第一端和第二端，所述第一端固定在所述固定座上，所述第二端固定在所述上模座外表面；下移所述固定座以使楔形块进入所述楔形槽，使得所述上模座发生转动，所述卷簧存储用以驱动所述上模座反转的弹性势能。
16、在上述干压成型模具的优选技术方案中，所述模压组件包括：
17、顶升件，设于所述下模腔的竖直部分内，所述顶升件被配置成沿竖直方向移动；
18、挡杆，安装在所述顶升件顶面，所述挡杆与所述下模座共轴；
19、下压件，设于所述上模腔的竖直部分内，所述挡杆穿过下压件，所述下压件被配置成沿竖直方向移动以压实所述上模腔和所述下模腔内的氧化钇粉末。
20、在上述干压成型模具的优选技术方案中，所述压板上安装有压杆，所述压杆被所述驱动气缸所驱动以竖直上移或竖直下移。
21、在上述干压成型模具的优选技术方案中，所述上模腔和所述下模腔内表面喷涂有聚四氟乙烯涂层。
22、在上述干压成型模具的优选技术方案中，所述上模座通过滚珠与所述固定座滚动摩擦。
23、在上述干压成型模具的优选技术方案中，所述上模座的水平部分贯穿开设有气孔。
24、在第三方面，本专利技术还提供了一种干压成型设备，所述干压成型设备包括上述的干压成型模具。
25、本专利技术的有益效果是：本专利技术将生胚进行脱脂和预烧结，从而得到烧结体，然后在对烧结体进行粗加工，通过该种方式，可避免生胚在进行机加工时易出现裂纹、缺损的问题，保障氧化钇喷嘴的生产质量。
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1.一种氧化钇喷嘴的制作工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.一种干压成型模具，用于成型权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，包括：
3.根据权利要求2所述的干压成型模具，其特征在于：所述模压组件包括：
4.根据权利要求2所述的干压成型模具，其特征在于：所述压板上安装有压杆，所述压杆被所述驱动气缸所驱动以竖直上移或竖直下移。
5.根据权利要求2所述的干压成型模具，其特征在于：所述上模腔和所述下模腔内表面喷涂有聚四氟乙烯涂层。
6.根据权利要求2所述的干压成型模具，其特征在于：所述上模座通过滚珠与所述固定座滚动摩擦。
7.根据权利要求2所述的干压成型模具，其特征在于：所述上模座的水平部分贯穿开设有气孔。
8.一种干压成型设备，其特征在于：包括权利要求2至7中任一项所述的干压成型模具。
【技术特征摘要】
1.一种氧化钇喷嘴的制作工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.一种干压成型模具，用于成型权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，包括：
3.根据权利要求2所述的干压成型模具，其特征在于：所述模压组件包括：
4.根据权利要求2所述的干压成型模具，其特征在于：所述压板上安装有压杆，所述压杆被所述驱动气缸所驱动以竖直上移或竖直下移。
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：张立祥，赵凯，陈赟，王洋，
申请(专利权)人：苏州众芯联电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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