【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶体生长设备
，具体涉及一种单晶炉炉室旋转装置。
技术介绍
晶体生长设备是一种真空高温熔炼设备。随着对节能、降低成本的要求，设备所生 长的单晶的直径、长度不断增加，直径为12英寸、长度达2.3M、晶体重量达240Kg。根据晶 体生长的方法，当晶体生长结束后，首先将晶体提拉到辅炉室，再将辅炉室提升、旋转到取 晶位置进行取出成品单晶。对于小直径、低重量(小于90Kg)的晶体，通常采用手动将辅炉 室旋转到取晶位置，将单晶取出。而对于大直径、重量大的晶体，采用手动旋转辅炉室到取 晶位置，存在着安全隐患，因为晶体用软轴(钢丝绳)吊在辅炉室内，在旋转移动过程中，如 不能平稳运动，易造成软轴(钢丝绳)摆动，使晶体掉下，造成晶体破坏、设备损坏、操作人员 人身伤害等安全隐患。因此现有技术对于大直径、重量大的晶体，在旋转辅炉室时，运动平 稳性能不够，急需要进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种单晶炉炉室旋转装置，解决了现有技术对于大直 径、重量大的晶体，在旋转辅炉室时，运动平稳性能不能满足技术要求的问题。本技术所采用的技术方案是，一种单晶炉炉室旋转装置，其特征在于，在立柱 (12)上固定有两个支座(13)，两个支座(13)之中安装有提升旋转轴(6)，提升旋转轴(6)通 过传动装置与伺服电机(10 )连接，提升旋转轴(6 )上固定有联接板(5 )，联接板(5 )与辅炉 室(2)固定连接。本技术的单晶炉炉室旋转装置，其特征还在于，所述传动装置包括依次连接 的从动旋转带轮、齿形带、主动旋转带轮、减速器。本技术的有益效果是，在旋转辅炉室时，移动平稳，安全可靠...
【技术保护点】
一种单晶炉炉室旋转装置，其特征在于，在立柱（１２）上固定有两个支座（１３），两个支座（１３）之中安装有提升旋转轴（６），提升旋转轴（６）通过传动装置与伺服电机（１０）连接，提升旋转轴（６）上固定有联接板（５），联接板（５）与辅炉室（２）固定连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨润，蒋剑，吴世海，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：实用新型
国别省市：87[中国|西安]
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