【技术实现步骤摘要】
本公开涉及真空设备，特别涉及一种样品装载组件及真空系统。
技术介绍
1、真空镀膜设备是真空系统的一种，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外等多种。在进行真空镀膜的过程中，通常会向真空腔中传送样品(例如晶圆、玻璃、巴条等)，镀膜形成于所述样品中。
2、当前的真空镀膜设备中，每一次镀膜所放置的样品片数有限，从而影响了产能，不符合技术发展对工艺效率的要求。
技术实现思路
1、本公开提供了一种样品装载组件，包括：托盘，包括至少一个工艺面，所述工艺面开设有多个工位卡槽，所述工位卡槽用于容纳多片样品；多个弹性夹，位于托盘的工艺面上，与所述多个工位卡槽一一对应，所述弹性夹固定于对应的工位卡槽一侧，用于固定所述多片样品。
2、一些实施例中，所述托盘是可旋转托盘，包括中心区域和外围区域，所述多个工位卡槽间隔排布在所述外围区域；所述中心区域用于放置陪片。
3、一些实施例中，所述托盘具有圆形结构，所述多个工位卡槽沿圆周方向均匀排布；或者所述托盘用于被吊装支架吊装，吊装支架包括长边和短边；
4、托盘上与所述长边相对应区域的工位卡槽的数量大于所述短边相对应区域工位卡槽的数量。
5、一些实施例中，所述托盘上开设有吊装支架卡槽。
6、一些实施例中，所述托盘上还设置有多个解离部件，与所述多个工位卡5槽相一一对应；所述解离部件包括：巴条承载件，位于所述工位卡槽远离托
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8、一些实施例中，所述弹性夹为w型弹性夹，或，m型弹性夹。
9、一些实施例中，所述弹性夹通过螺钉安装在所述工艺面上。
10、本公开还提供了一种真空系统，包括：真空腔；以及本公开提供的样品0装载组件，设置在所述真空腔内。
11、一些实施例中，还包括:吊装支架，与所述托盘相连，用于带动所述托盘旋转。
12、一些实施例中，其特征在于，所述样品装载组件设置有陪片，所述真空系统还包括:在线监测装置，用于对所述陪片进行监测。
13、5根据本公开一些实施例的样品装载组件及真空系统能够带来有益的技术
14、效果。例如，本公开一些实施例样品装载组件中的托盘，在其工艺面上开设有多个工位卡槽，通过弹性夹将放置于工位卡槽中的样品进行固定，每一工位卡槽中可以放置多片样品，可以实现同时对多个工位卡槽中的多片样品执行同一工艺步骤，进而提高了工艺效率，增大了产能。
15、0根据本公开一些实施例的样品装载组件及真空系统能够带来有益的技术
16、效果。例如，托盘上与所述长边相对应区域的工位卡槽的数量大于所述短边相对应区域工位卡槽的数量，这样更匹配样片存储架的形状更为接近，通过传送臂可以更加方便地通过长边实现样品的取放。
17、根据本公开一些实施例的样品装载组件及真空系统能够带来有益的技术5效果。可以通过使可旋转托盘进行旋转(例如自驱动旋转或它驱动旋转)，
18、从而提高各工位框架中样品的工艺均匀性。
19、根据本公开一些实施例的样品装载组件及真空系统能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的样品装载组件中，托盘的中心区域还放置有陪片，在工艺过程中作为在线监测的对象，其在线监测结果可作为框架中样品工艺数据(例如镀膜厚度均一性)的参考，从而可以及时根据结果调整工艺参数进而优化工艺结果。
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1.一种样品装载组件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述托盘是可旋转托盘，包括中心区域和外围区域，所述多个工位卡槽间隔排布在所述外围区域；所述中心区域用于放置陪片。
3.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述托盘具有圆形结构，所述多个工位卡槽沿圆周方向均匀排布；或者，
4.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述托盘上开设有吊装支架卡槽。
5.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述托盘上还设置有多个解离部件，与所述多个工位卡槽相一一对应；所述解离部件包括：
6.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述弹性夹为W型弹性夹，或，M型弹性夹。
7.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述弹性夹通过螺钉安装在所述工艺面上。
8.一种真空系统，其特征在于，包括：
9.如权利要求8所述的真空系统，其特征在于，还包括:吊装支架，与所述托盘相连，用于带动所述托盘旋转。
10.如权利要求8所述的真空系统，其特征
...【技术特征摘要】
1.一种样品装载组件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述托盘是可旋转托盘，包括中心区域和外围区域，所述多个工位卡槽间隔排布在所述外围区域；所述中心区域用于放置陪片。
3.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述托盘具有圆形结构，所述多个工位卡槽沿圆周方向均匀排布；或者，
4.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述托盘上开设有吊装支架卡槽。
5.如权利要求1所述的样品装载组件，其特征在于，所述托盘上还设置有多个解离部件...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢斌平，王天邻，陈飞，杨贺鸣，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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