【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏电池片制备，具体涉及一种气氛炉体。
技术介绍
1、硅片在高温反应炉体内经过扩散反应后可在硅片表面生成pn结，使硅片制成光伏电池元件，硼扩是一种扩散反应，即以带有硼元素的化学粉末介质为反应原料，如氯化硼。在反应时，硅片被放在气氛炉体内，向炉体内通入氯化硼，经过预设时间的高温硼扩后获得表面生成pn结的硅片。
2、现有的扩散设备包括立式和卧式两种结构，其中立式的扩散设备中炉体在竖直空间内分布，而卧式扩散设备中炉体在水平面内分布。立式扩散设备以其特有的占地面积小，产量大而深受大家青睐。但是，当立式炉体的直径过大时，炉体内温度分区程度严重，温度控制难度大，使不同区域的温度差距较大，严重影响了硅片扩散的质量。
技术实现思路
1、本技术实施例提供了一种气氛炉体，以解决现有技术中立式炉体内因炉体内温度不均，控制难度高而导致硅片扩散质量较低的问题。
2、本技术提供的一种气氛炉体，包括加热管、多个设在所述加热管内的反应管及炉门，所述反应管内被用于放置多个承载了待反应硅片的载舟；多个所述反应管外设有独立的第一加热体，所述加热管的内壁设有第二加热体；多个所述反应管上设有反应气体输入管，所述反应管的顶壁包含在所述加热管的顶壁内侧，所述炉门用于对接所述加热管的管口及密封所述反应管形成封闭的腔体。
3、可选的，所述加热管内在所述反应管之间设有辅热棒。
4、可选的，所述炉门用于与所述的气氛炉体对接并密封，所述炉门包括第一炉门和门托，所述第一炉门设有多个
5、可选的，所述反应管的顶端设有封头，所述封头与所述反应管的管体密封设置，所述反应气体输入管设置于所述封头。
6、可选的，所述加热管的外壁还设有壳体，所述壳体包括保温材料，所述保温材料贴近所述加热管的外壁。
7、可选的，所述反应管还包括抽气管口，所述抽气管口设置于靠近所述反应管底部管口，或设置于所述第一炉门。
8、可选的，多个所述载舟沿着所述反应管长度方向叠放，多个所述反应管在所述加热管的周向等间距分布。
9、可选的，所述门托通过法兰与所述加热管的管口连接。
10、可选的，还包括托盘，所述托盘可拆卸的设置于相邻两个所述载舟之间，以固定相邻所述载舟的相对位置。
11、可选的，所述反应管内还包括第一热偶组件，所述加热管与所述反应管之间还包括第二热偶组件；所述第一热偶组件被用于检测所述反应管内腔的温度，所述第二热偶组件被用于检测所述反应管与所述加热管之间区域内的温度。
12、因为立式炉体的直径增大，使得炉体在竖直方向上温度分区明显，而且在同一高度，不同直径范围内的温度也有较大的差别，因此，本技术提供一种双炉管套设的炉体结构，通过在外部的加热管内套设用于提供反应环境的多个反应管，每个反应管外设独立的第一加热体，使得反应管内腔被两层炉管加热，封锁反应管内的热量，有效减小了反应管内热量的散失，即而降低了反应管内温度控制的难度，确保整个反应管内温度均匀；同时，多个载舟沿着每个反应管长度方向叠放，反应管的体积正好容纳一列载舟，反应空间减小，进一步降低了炉管温度的控制难度；另外，反应管单独加热，外部的加热管不仅可以辅助反应管加热，还可以起到保持内部反应管的温度，提升了内部反应管内温度的均匀性。在气氛炉体开始工作时，反应管上的反应气体输入管向反应空间内提供反应的原料。
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1.一种气氛炉体，其特征在于，包括加热管(1)、炉门(4)及多个设在所述加热管(1)内的反应管(2)，所述反应管(2)内被用于放置多个承载了待反应硅片的载舟(5)；每个所述反应管(2)外设有独立的第一加热体(21)，所述加热管(1)的内壁设有第二加热体(11)；多个所述反应管(2)上设有反应气体输入管(22)，所述反应管(2)的顶壁包含在所述加热管(1)的顶壁内侧，所述炉门(4)用于对接所述加热管(1)的管口及密封所述反应管(2)形成封闭的腔体。
2.根据权利要求1所述的气氛炉体，其特征在于，在所述加热管(1)内且所述反应管(2)之间设有辅热棒(3)。
3.根据权利要求1或2所述的气氛炉体，其特征在于，所述炉门(4)包括第一炉门(41)和门托(42)，所述第一炉门(41)设有多个且与所述门托(42)的安装面柔性连接；所述第一炉门(41)被用于与所述反应管(2)的底部管口对接并将其密封，所述门托(42)被用于与所述加热管(1)的底部管口对接。
4.根据权利要求1或2所述的气氛炉体，其特征在于，所述反应管(2)的顶端设有封头(23)，所述封头(23
5.根据权利要求4所述的气氛炉体，其特征在于，所述加热管(1)的外壁还设有壳体，所述壳体包括保温材料，所述保温材料贴近所述加热管(1)的外壁。
6.根据权利要求3所述的气氛炉体，其特征在于，所述反应管(2)还包括抽气管口，所述抽气管口设置于靠近所述反应管(2)底部管口，或设置于所述第一炉门(41)。
7.根据权利要求1所述的气氛炉体，其特征在于，多个所述载舟(5)沿着所述反应管(2)长度方向叠放，多个所述反应管(2)在所述加热管(1)的周向等间距分布。
8.根据权利要求1所述的气氛炉体，其特征在于，还包括托盘，所述托盘可拆卸的设置于相邻两个所述载舟(5)之间，以固定相邻两个所述载舟(5)的相对位置。
9.根据权利要求6所述的气氛炉体，其特征在于，所述反应管(2)内还包括第一热偶组件，所述加热管(1)与所述反应管(2)之间还包括第二热偶组件；所述第一热偶组件被用于检测所述反应管(2)内腔的温度，所述第二热偶组件被用于检测所述反应管(2)与所述加热管(1)之间区域内的温度。
...【技术特征摘要】
1.一种气氛炉体，其特征在于，包括加热管(1)、炉门(4)及多个设在所述加热管(1)内的反应管(2)，所述反应管(2)内被用于放置多个承载了待反应硅片的载舟(5)；每个所述反应管(2)外设有独立的第一加热体(21)，所述加热管(1)的内壁设有第二加热体(11)；多个所述反应管(2)上设有反应气体输入管(22)，所述反应管(2)的顶壁包含在所述加热管(1)的顶壁内侧，所述炉门(4)用于对接所述加热管(1)的管口及密封所述反应管(2)形成封闭的腔体。
2.根据权利要求1所述的气氛炉体，其特征在于，在所述加热管(1)内且所述反应管(2)之间设有辅热棒(3)。
3.根据权利要求1或2所述的气氛炉体，其特征在于，所述炉门(4)包括第一炉门(41)和门托(42)，所述第一炉门(41)设有多个且与所述门托(42)的安装面柔性连接；所述第一炉门(41)被用于与所述反应管(2)的底部管口对接并将其密封，所述门托(42)被用于与所述加热管(1)的底部管口对接。
4.根据权利要求1或2所述的气氛炉体，其特征在于，所述反应管(2)的顶端设有封头(23)，所述封头(23)与所述反应管(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈世庚，朱志颖，朱建春，徐锦，胥林，
申请(专利权)人：江苏小牛自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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