【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体检测用精密驱控的减振领域，具体涉及一种减振机构和晶圆检测设备。
技术介绍
1、晶圆检测设备，特别是明/暗场的晶圆图像缺陷检测设备，主要基于图像的差分计算获取缺陷的类型和位置。因此，获得高质量的图像对整机提升检测能力至关重要。光机结构的动力学特性影响相关镜片及物镜的位置稳定性，从而影响成像质量。但是在设备内部存在各种振动源，如风机过滤单元、相机风扇、运动模组伺服抖动、线缆折弯扰动等，这些都可能会激励光机结构，引发图像的抖动，从而降低整机的性能。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种减振机构和晶圆检测设备，其能解决上述问题。
2、一种减振机构，减振机构包括振动组件和阻尼层，所述阻尼层设置在所述振动组件上。
3、振动组件为拖链模组，拖链模组包括无尘拖链和拖链底板，阻尼层安装在所述拖链底板上。
4、本专利技术还提供了一种晶圆检测设备，晶圆检测设备包括照明系统、成像系统、晶圆载台和图像处理系统，成像系统或晶圆载台中的驱动装置采用前述的减振机构。
5、相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：本申请通过在振动组件处设置阻尼层，阻尼层将振动的能量耗散掉，达到减弱振动的效果，可以有效解决晶圆检测设备集成后局部振动超标的问题，且方案做操简单，易于实施。
【技术保护点】
1.一种减振机构，其特征在于：减振机构包括振动组件和阻尼层(3)，所述阻尼层(3)设置在所述振动组件上。
2.根据权利要求1所述的减振机构，其特征在于：所述振动组件为拖链模组，拖链模组包括无尘拖链(1)和拖链底板(2)，阻尼层(3)安装在所述拖链底板(2)上。
3.一种晶圆检测设备，晶圆检测设备包括照明系统、成像系统、晶圆载台和图像处理系统，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种减振机构，其特征在于：减振机构包括振动组件和阻尼层(3)，所述阻尼层(3)设置在所述振动组件上。
2.根据权利要求1所述的减振机构，其特征在于：所述振动组件为拖链模组，拖...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶大帅，王少卿，王超新，蔡雄飞，
申请(专利权)人：苏州矽行半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。