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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及坩埚制造,尤其涉及一种冷却板及坩埚熔制装置。
技术介绍
1、目前,石英坩埚一般通过坩埚熔制装置制造,具体地,坩埚熔制装置包括坩埚制备模具及电极,坩埚制备模具上设置有开口,电极能够通过开口伸入坩埚制备模具内,从而在坩埚制备模具内熔制坩埚。由于熔制过程中坩埚制备模具内的温度极高,为避免高温损伤坩埚熔制装置的其它结构,现有技术中一般在坩埚制备模具的上方覆设冷却板,冷却板上设置有通孔,通孔与坩埚制备模具的开口同轴设置,电极能够穿过通孔并伸入坩埚制备模具内,设置在坩埚制备模具上方的冷却板能够隔绝熔制坩埚时坩埚制备模具内产生的高温。
2、在坩埚熔制装置工作过程中,冷却板上位于通孔附近的位置一直受高温炙烤,当坩埚熔制装置工作一段时间后,冷却板上位于通孔附近的位置容易因受高温炙烤而损坏,从而导致冷却板出现漏液的问题。因此,在坩埚熔制装置工作一段时间后,就需要对冷却板进行更换,但由于现有技术中的冷却板一般为一个整板,因此,在坩埚熔制装置工作一段时间后需要对冷却板整体进行更换,极大地增加了生产成本。
3、因此,上述问题亟待解决。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种冷却板及坩埚熔制装置,以节约生产成本。
2、为达此目的,本专利技术采用以下技术方案:
3、本专利技术一方面提供了一种冷却板,安装于坩埚制备模具的开口处,所述冷却板包括:
4、第一板部,内部设置有第一冷却通道;及
5、第二板部,内部设置有第二冷却通
6、作为优选,所述第二板部为耐高温、绝缘材质。
7、作为优选,所述第二板部的外周设置有裙边,所述第二板部通过所述裙边挂设于所述第一板部内。
8、作为优选,所述冷却板还包括固定块,所述固定块被配置为将所述第二板部固定至所述第一板部上。
9、作为优选,所述冷却板包括两个以上所述固定块,两个以上所述固定块沿所述第二板部的边缘均匀排列。
10、作为优选,所述第二板部内部设置有空腔和隔板,所述空腔环绕于所述通孔的外周,所述隔板设置于所述空腔内并被配置为隔断所述空腔,以使所述空腔形成所述第二冷却通道,所述第二板部上安装有第一进液嘴和第一出液嘴,所述第一进液嘴与所述空腔内位于所述隔板一侧的区域连通,所述第一出液嘴与所述空腔内位于所述隔板另一侧的区域连通。
11、作为优选,所述第一板部上设置有第二通孔,所述第二板部设置于所述第二通孔内,所述第一冷却通道包括第一流道,所述第一流道绕设于所述第二通孔外周,所述第一板部上安装有第二进液嘴和第二出液嘴,所述第一流道的两端分别与所述第二进液嘴和所述第二出液嘴连通。
12、作为优选,所述第一冷却通道还包括第二流道,所述第二流道设置于所述第一流道的外侧,所述第一板部上还安装有第三进液嘴和第三出液嘴,所述第二流道的两端分别与所述第三进液嘴和所述第三出液嘴连通。
13、作为优选,所述第二流道包括两条以上第一通路和两条以上第二通路,两条以上所述第一通路和两条以上所述第二通路分别位于所述第一流道沿所述第二通孔的第一径向的两侧,两条以上所述第一通路沿所述第二通孔的第二径向依次排列,且两条以上所述第一通路串联,两条以上所述第二通路沿所述第二通孔的第二径向依次排列,且两条以上所述第二通路串联,最上游的所述第一通路的上游端与所述第三进液嘴连通,最下游的所述第二通路的下游端与所述第三出液嘴连通,最下游的所述第一通路的下游端与最上游的所述第二通路的上游端连通,所述第一径向与所述第二径向垂直。
14、本专利技术另一方面还提供了一种坩埚熔制装置,包括如上述的冷却板。
15、本专利技术的有益效果:本专利技术中,冷却板为分体式结构,具体地,冷却板包括独立的第一板部和第二板部,其中,冷却板上在坩埚熔制装置工作过程中一直受高温炙烤的部位位于第二板部上,在坩埚熔制装置工作一段时间后,只需对第二板部进行更换即可,而不易受高温炙烤的第一板部则能够继续使用,从而无需对冷却板整体进行更换,进而能够节省生产成本。
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1.冷却板,安装于坩埚制备模具的开口处,其特征在于,所述冷却板包括:
2.根据权利要求1所述的冷却板,其特征在于,所述第二板部(2)为耐高温、绝缘材质。
3.根据权利要求1所述的冷却板,其特征在于,所述第二板部(2)的外周设置有裙边(22),所述第二板部(2)通过所述裙边(22)挂设于所述第一板部(1)内。
4.根据权利要求3所述的冷却板,其特征在于,所述冷却板还包括固定块(3),所述固定块(3)被配置为将所述第二板部(2)固定至所述第一板部(1)上。
5.根据权利要求4所述的冷却板,其特征在于,所述冷却板包括两个以上所述固定块(3),两个以上所述固定块(3)沿所述第二板部(2)的边缘均匀排列。
6.根据权利要求1所述的冷却板,其特征在于,所述第二板部(2)内部设置有空腔(23)和隔板(24),所述空腔(23)环绕于所述通孔的外周,所述隔板(24)设置于所述空腔(23)内并被配置为隔断所述空腔(23),以使所述空腔(23)形成所述第二冷却通道,所述第二板部(2)上安装有第一进液嘴(25)和第一出液嘴(26),所述第一进液
7.根据权利要求1所述的冷却板,其特征在于,所述第一板部(1)上设置有第二通孔(11),所述第二板部(2)设置于所述第二通孔(11)内,所述第一冷却通道包括第一流道(12),所述第一流道(12)绕设于所述第二通孔(11)外周,所述第一板部(1)上安装有第二进液嘴(13)和第二出液嘴(14),所述第一流道(12)的两端分别与所述第二进液嘴(13)和所述第二出液嘴(14)连通。
8.根据权利要求7所述的冷却板,其特征在于,所述第一冷却通道还包括第二流道(15),所述第二流道(15)设置于所述第一流道(12)的外侧,所述第一板部(1)上还安装有第三进液嘴(16)和第三出液嘴(17),所述第二流道(15)的两端分别与所述第三进液嘴(16)和所述第三出液嘴(17)连通。
9.根据权利要求8所述的冷却板,其特征在于,所述第二流道(15)包括两条以上第一通路(151)和两条以上第二通路(152),两条以上所述第一通路(151)和两条以上所述第二通路(152)分别位于所述第一流道(12)沿所述第二通孔(11)的第一径向的两侧,两条以上所述第一通路(151)沿所述第二通孔(11)的第二径向依次排列,且两条以上所述第一通路(151)串联,两条以上所述第二通路(152)沿所述第二通孔(11)的第二径向依次排列,且两条以上所述第二通路(152)串联,最上游的所述第一通路(151)的上游端与所述第三进液嘴(16)连通,最下游的所述第二通路(152)的下游端与所述第三出液嘴(17)连通,最下游的所述第一通路(151)的下游端与最上游的所述第二通路(152)的上游端连通,所述第一径向与所述第二径向垂直。
10.坩埚熔制装置,其特征在于,包括如权利要求1-9任意一项所述的冷却板。
...【技术特征摘要】
1.冷却板,安装于坩埚制备模具的开口处,其特征在于,所述冷却板包括:
2.根据权利要求1所述的冷却板,其特征在于,所述第二板部(2)为耐高温、绝缘材质。
3.根据权利要求1所述的冷却板,其特征在于,所述第二板部(2)的外周设置有裙边(22),所述第二板部(2)通过所述裙边(22)挂设于所述第一板部(1)内。
4.根据权利要求3所述的冷却板,其特征在于,所述冷却板还包括固定块(3),所述固定块(3)被配置为将所述第二板部(2)固定至所述第一板部(1)上。
5.根据权利要求4所述的冷却板,其特征在于,所述冷却板包括两个以上所述固定块(3),两个以上所述固定块(3)沿所述第二板部(2)的边缘均匀排列。
6.根据权利要求1所述的冷却板,其特征在于,所述第二板部(2)内部设置有空腔(23)和隔板(24),所述空腔(23)环绕于所述通孔的外周,所述隔板(24)设置于所述空腔(23)内并被配置为隔断所述空腔(23),以使所述空腔(23)形成所述第二冷却通道,所述第二板部(2)上安装有第一进液嘴(25)和第一出液嘴(26),所述第一进液嘴(25)与所述空腔(23)内位于所述隔板(24)一侧的区域连通,所述第一出液嘴(26)与所述空腔(23)内位于所述隔板(24)另一侧的区域连通。
7.根据权利要求1所述的冷却板,其特征在于,所述第一板部(1)上设置有第二通孔(11),所述第二板部(2)设置于所述第二通孔(11)内,所述第一冷却通道包括第一流道(12),所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:毛炳全,林奇辉,王洋洋,陶飞,方志远,李连仲,
申请(专利权)人:浙江美晶新材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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