【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及能够简便且准确地定位光源的光轴的光源装置、使用其的曝光装置以及盒的安装位置调节方法。
技术介绍
1、以往，已知在制造半导体等时使用的曝光装置的光源装置中，使用多个光源(例如，专利文献1)。
2、专利文献1所公开的光源装置具备安装有多个光源的盒和安装有多个该盒的框架，通过将盒正确地安装于框架，使从安装于盒的各光源放射的光轴按照设计朝向正确方向。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2012-113270号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的技术课题
2、然而，在专利文献1所公开的光源装置的情况下，通过使形成于盒的框架抵接面与形成于框架的盒嵌插面抵接，即通过“面接触”来进行定位。
3、因此，在框架的盒嵌插面、盒的框架抵接面的面精度差的情况下、框架与盒之间夹有异物的情况下等，存在盒产生晃动，无法将该盒固定在适当的位置的问题。
4、此外，若盒相对于框架“面接触”，则来自安装于盒的各光源的正面(光的照射面)的冷却风难以绕到各光源的背面(电源布线等侧)，因此通向各光源的电源布线(导线线束)等产生热劣化，在最坏的情况下，存在布线短路的危险性。
5、本专利技术是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供一种能够简便且准确地进行盒相对于框架的定位并且能够使来自各光源的正面的冷却风容易绕到背面的光源装置、使用其的曝光装置以及盒的安装位置调节方法。
6、用于解决
7、根据本专利技术的一个方面，
8、提供一种光源装置，该具备：
9、多个光源；
10、盒，具有安装有多个所述光源的多个光源安装孔；
11、框架，具有安装有多个所述盒的多个盒安装部；以及
12、安装结构体，将多个所述盒分别通过单触式操作安装于所述框架，
13、多个所述盒通过所述安装结构体以相对于所述盒安装部存在间隙的状态安装。
14、优选地，
15、所述光源装置还具备调节构件，该调节构件调节所述盒和所述框架中的至少一方上的所述安装结构体的一部分的安装高度。
16、优选地，
17、所述光源装置还具备定位凸部，该定位凸部从所述盒安装部以给定的分离距离支承所述盒。
18、优选地，
19、所述光源装置还具备定位凸部调节构件，该定位凸部调节构件调节所述定位凸部的高度。
20、根据本专利技术的其他方面，
21、提供一种曝光装置，其具备：
22、上述的光源装置；以及
23、光学系统，使来自多个所述光源的光会聚及平行化。
24、优选地，
25、来自多个所述光源的光轴分别与所述光学系统中的光学系统光轴交叉。
26、根据本专利技术的另一方面，
27、提供一种盒的安装位置调节方法，
28、所述盒的安装位置调节方法在上述的曝光装置中，选择配光角窄的光源作为所述光源，在来自多个所述光源的光轴分别与所述光学系统中的光学系统光轴交叉的位置配设目标，以使来自多个所述光源的光集中于所述目标的方式，调节所述盒相对于所述框架的安装位置。
29、专利技术效果
30、根据本专利技术，通过所述安装结构体，多个所述盒通过单触式操作以存在间隙的状态安装于所述盒安装部。由此，能够提供一种光源装置，其能够简便且准确地进行盒相对于框架的定位，并且通过在盒与框架之间存在间隙，能够使来自各光源的正面的冷却风容易绕到背面。
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1.一种光源装置，具备：
2.根据权利要求1所述的光源装置，其中，
3.根据权利要求1所述的光源装置，其中，
4.根据权利要求3所述的光源装置，其中，
5.一种曝光装置，具备：
6.根据权利要求5所述的曝光装置，其中，
7.一种盒的安装位置调节方法，
【技术特征摘要】
1.一种光源装置，具备：
2.根据权利要求1所述的光源装置，其中，
3.根据权利要求1所述的光源装置，其中，
4.根据权利要求...
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