【技术实现步骤摘要】
本专利技术属半导体加工，具体为一种硅片吸取移载机构。
技术介绍
1、硅片是指有单晶硅制成的半导材料，具有十分稳定的化学性质，在常温下除氟化氢以外，很难与其他物质发生反应，并且纯度越高的单晶硅片导电性能越好，以至于硅片在电子领域应用极广，常出现在制造半导体器件、新能源电池、半导体计算机中作为运行电路的基础载体；
2、然后用于吸取硅片的吸盘长时间时候后需要进行检修以及维护的工作，因此吸盘需要拆卸以及安装，然后吸盘在安装时需要一定的精度（气嘴需要对准硅片），以防止喷头安装偏移影响硅片吸取后的稳定性，这就导致吸盘在安装后需要进行进一步的调试，这些步骤整合后会大大影响整体的工作效率，且用于吸取硅片的吸盘支架在工作过程单靠螺钉的安装方式，当长时间的振动发生后，会导致吸盘松动，甚至会导致硅片在移载过程中脱落，从而影响硅片的吸取效果。
技术实现思路
1、本部分的目的在于概述本专利技术的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和专利技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和专利技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本专利技术的范围。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种硅片吸取移载机构，包括运动轨道、运动套、承载组件和摆放座；
3、所述承载组件的下方安置有对接架和组件架，所述组件架下方安置有吸盘组件，所述吸盘组件的拐角安置有气嘴，所述摆放座的边缘表面安置有承载架；
4、所述
5、所述对接模块二主要由对接座二以及对接通道组成，所述对接通道铣设在对接座二的表面，所述对接通道作用为对接座二与组件架的对接件，所述对接座二的表面预留有对接室一，所述对接座二的中部预留有对接室二，其中对接室一与对接室二为贯通的连接关系，所述对接室一的左、右间距与牙纹一左、右两极端之间的距离相匹配；
6、所述对接室二中安置有联动座，所述联动座上半段的外周壁呈阵列的方式分布有牙纹二，所述牙纹二呈扇形分布。
7、作为一种硅片吸取移载机构的优选技术方案，所述对接座一的中段边侧安置有对称分布的牙纹一，所述对接座一的中段表面还预留有对称分布的对接腔，所述对接腔处在牙纹一的上方，所述对接腔内部的左、右、上、下侧均具有一样坡度的边，所述对接腔的嵌入口与牙纹一为同边分布。
8、作为一种硅片吸取移载机构的优选技术方案，所述对接座一的侧边安置有导向座，所述导向座在对接座一上所处的表面与对接腔和牙纹一在对接座一上所处的表面为邻边关系，所述对接室一的边侧表面铣设有导向沟路，所述导向沟路的尺寸与导向座的尺寸相匹配，所述导向沟路同时还延长连通分布于对接室二的侧边表面。
9、作为一种硅片吸取移载机构的优选技术方案，所述联动座的上半段中心轴处铰接有联动筒，所述联动筒处在牙纹二的旋转轴处，所述联动筒与对接室二的边侧铰接。
10、作为一种硅片吸取移载机构的优选技术方案，所述对接室二的侧边表面预留有牵引沟路。
11、作为一种硅片吸取移载机构的优选技术方案，所述对接室二的中部安置有推阻模块，所述推阻模块主要由对称分布的阻隔座和复位组件一组成，所述阻隔座具有坡度的一边对着对接座一，所述阻隔座垂直的一边贴着对接室二底边的表面，所述阻隔座的一边与复位组件一的一头对接，所述复位组件一的另一头与对接室二的边侧表面对接。
12、作为一种硅片吸取移载机构的优选技术方案，所述阻隔座的横向边侧安置有牵引座，所述牵引座在牵引沟路中可进行伸缩运动。
13、作为一种硅片吸取移载机构的优选技术方案，所述对接室一的边侧表面预留有收纳室，收纳室的开口大小比收纳室中部的间距要小，所述收纳室的中部伸缩运动有嵌合座，所述嵌合座与收纳室之间安置有复位组件二，且复位组件二的两头分别与收纳室以及嵌合座的表面固联。
14、作为一种硅片吸取移载机构的优选技术方案，所述对接座一远离导向座的侧边预留有内螺纹腔，所述对接座二的侧边表面预留有内螺纹通道，所述内螺纹腔与内螺纹通道的位置对应，所述内螺纹腔与内螺纹通道中共同对接有螺钉。
15、本专利技术的有益效果：
16、1、依靠对接座一的下半段按压对称分布的阻隔座，致使对称分布的阻隔座联动联动座进行旋转，依靠牙纹二与牙纹一之间的咬合关系，能够辅助对接座一的下半段继续下降，在对接座一下降到指定位置，阻隔座将联动座进行限制，此时利用牙纹二与牙纹一的咬合传动关系，能够在一层作用下防止对接座一脱离或松动于对接室二；
17、对接座一在刚嵌入对接室一时，对接座一的底部首先会与嵌合座有坡度的边按压，致使嵌合座被按压至复位组件二中，在对接座一下降到指定位置时，此时嵌合座与对接腔的位置对应，复位组件二在不受按压的作用力下能够将嵌合座顶出，嵌合座的尖端嵌入对接腔中，在嵌合座与对接腔的对接关系下，能够对对接座一的位置进行另一层的限制，进而起到对接模块一和对接模块二对接的稳定性，且能够避免松动；
18、当对接座一在对接室二中完全对接时，将螺钉拧紧至内螺纹腔中，一者能够防止对接模块一与对接模块二在对接时发生松动，二者能够避免对接座一发生偏移，同时利用牙纹二与牙纹一的咬合关系以及嵌合座和对接腔对接关系的作用下，致使螺钉能够精准对接至内螺纹腔中，以提高组件架的对接效率；
19、在组件架需要拆卸时，将螺钉拧松出内螺纹腔一段距离，将对接座一沿着对接室一剩余空隙位置进行伸缩运动，利用嵌合座左、右具有坡度的边与对接腔左、右具有坡度的边按压，此时嵌合座会被按压至收纳室中，当对接座一伸缩运动至指定位置时，牙纹一与牙纹二不再咬合，此时，可直接将对接模块二向下拉取，致使将两者方便进行拆卸。
20、本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种硅片吸取移载机构，其特征在于：包括运动轨道（100）、运动套（101）、承载组件（102）和摆放座（200）；
2.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述对接座一（310）的中段边侧安置有对称分布的牙纹一（311），所述对接座一（310）的中段表面还预留有对称分布的对接腔（312），所述对接腔（312）处在牙纹一（311）的上方，所述对接腔（312）内部的左、右、上、下侧均具有一样坡度的边，所述对接腔（312）的嵌入口与牙纹一（311）为同边分布。
3.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述对接座一（310）的侧边安置有导向座（313），所述导向座（313）在对接座一（310）上所处的表面与对接腔（312）和牙纹一（311）在对接座一（310）上所处的表面为邻边关系，所述对接室一（411）的边侧表面铣设有导向沟路（415），所述导向沟路（415）的尺寸与导向座（313）的尺寸相匹配，所述导向沟路（415）同时还延长连通分布于对接室二（412）的侧边表面。
4.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在
5.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述对接室二（412）的侧边表面预留有牵引沟路（413）。
6.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述对接室二（412）的中部安置有推阻模块，所述推阻模块主要由对称分布的阻隔座（600）和复位组件一（700）组成，所述阻隔座（600）具有坡度的一边对着对接座一（310），所述阻隔座（600）垂直的一边贴着对接室二（412）底边的表面，所述阻隔座（600）的一边与复位组件一（700）的一头对接，所述复位组件一（700）的另一头与对接室二（412）的边侧表面对接。
7.根据权利要求6所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述阻隔座（600）的横向边侧安置有牵引座（601），所述牵引座（601）在牵引沟路（413）中可进行伸缩运动。
8.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述对接室一（411）的边侧表面预留有收纳室（414），收纳室（414）的开口大小比收纳室（414）中部的间距要小，所述收纳室（414）的中部伸缩运动有嵌合座（800），所述嵌合座（800）与收纳室（414）之间安置有复位组件二（801），且复位组件二（801）的两头分别与收纳室（414）以及嵌合座（800）的表面固联。
9.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述对接座一（310）远离导向座（313）的侧边预留有内螺纹腔（900），所述对接座二（410）的侧边表面预留有内螺纹通道（901），所述内螺纹腔（900）与内螺纹通道（901）的位置对应，所述内螺纹腔（900）与内螺纹通道（901）中共同对接有螺钉（902）。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片吸取移载机构，其特征在于：包括运动轨道（100）、运动套（101）、承载组件（102）和摆放座（200）；
2.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述对接座一（310）的中段边侧安置有对称分布的牙纹一（311），所述对接座一（310）的中段表面还预留有对称分布的对接腔（312），所述对接腔（312）处在牙纹一（311）的上方，所述对接腔（312）内部的左、右、上、下侧均具有一样坡度的边，所述对接腔（312）的嵌入口与牙纹一（311）为同边分布。
3.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述对接座一（310）的侧边安置有导向座（313），所述导向座（313）在对接座一（310）上所处的表面与对接腔（312）和牙纹一（311）在对接座一（310）上所处的表面为邻边关系，所述对接室一（411）的边侧表面铣设有导向沟路（415），所述导向沟路（415）的尺寸与导向座（313）的尺寸相匹配，所述导向沟路（415）同时还延长连通分布于对接室二（412）的侧边表面。
4.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述联动座（500）的上半段中心轴处铰接有联动筒（502），所述联动筒（502）处在牙纹二（501）的旋转轴处，所述联动筒（502）与对接室二（412）的边侧铰接。
5.根据权利要求1所述的硅片吸取移载机构，其特征在于：所述对接室二（412）的侧边表面预留有牵引沟路（413）。
6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋旭东，蒋成斌，
申请(专利权)人：南京卓胜自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。