【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产，具体为一种光伏半导体生产用石英舟托。
技术介绍
1、石英舟是一种石英玻璃制品，主要用于实验室或工业生产中，可以用来支撑、保护、运输和存储石英玻璃仪器或其它实验器材。尤其在晶圆生产过程中，石英舟是承载晶圆的主要承载部件。但是晶圆生产需要降温，主要用于将晶圆快速降温以控制其质量和性能，快速将晶圆降温至所需温度，确保晶圆的质量和稳定性。
2、而现有技术中，公告号为cn207074651u的使用新型专利，使用了一种石英舟托架，该托架仅能起到放置晶圆的作用，并不能对晶圆进行降温，同时也不能降低晶圆移动过程中的晃动幅度，因此在晶圆的移动过程中，容易对晶圆造成损坏。
技术实现思路
1、为克服上述现有技术的缺陷，本专利技术提供如下技术方案：一种光伏半导体生产用石英舟托，包括夹持组件，所述夹持组件包括摆动调节架，摆动调节架上转动安装有花键轴支架，花键轴支架上固定安装有花键轴和夹持电缸，所述花键轴上通过花键滑动安装有两个对称设置的夹持摆臂，每个夹持摆臂上均固定安装有用于平衡的配重块，所述摆动调节架转动安装在支撑摆动架上，支撑摆动架上还固定安装有温度控制模块，所述温度控制模块包括汇流室，汇流室上设置有平衡喷嘴和散热喷嘴，所述汇流室上固定安装有连接嘴，连接嘴上固定安装有至少三个分离通道，每个分离通道内壁的切线位置固定安装有隔板通道，隔板通道的另一端延伸至分离通道的外侧。
2、优选地，所述夹持电缸的伸缩杆端部活动安装有两个对称设置的夹持拉杆，两个夹持拉杆分别
3、优选地，所述摆动调节架上固定安装有x轴平衡电机，x轴平衡电机的输出轴与花键轴之间通过传动带传动连接。
4、优选地，所述支撑摆动架上固定安装有y轴平衡电机，y轴平衡电机的输出轴与摆动调节架固定连接。
5、优选地，其中一个所述的配重块上固定安装有散热平衡架，散热平衡架的顶端转动安装有散热平衡舵，散热平衡架上还固定安装有用于调节散热平衡舵摆动角度的舵机。
6、优选地，所述汇流室与支撑摆动架固定连接，所述散热喷嘴上固定安装有释压嘴，释压嘴内侧设置有至少三片调节板。
7、优选地，每片所述的调节板上均固定安装有调节摆杆，所述释压嘴上固定安装有调节滑板支架，调节滑板支架上滑动安装有调节滑板，调节滑板与所有的调节摆杆活动连接。
8、优选地，所述释压嘴上固定安装有调节电缸，调节电缸的伸缩杆端部与调节滑板通过调节连杆活动连接。
9、优选地，所述分离通道上固定安装有进气室，进气室上开设有与分离通道相连通的通气口，所述进气室内壁固定安装有进气电机支架，进气电机支架上固定安装有进气电机，进气电机的输出轴上固定安装有进气扇。
10、优选地，所述进气室内部与所有的分离通道内部连通，所有的分离通道内部通过连接嘴与汇流室内部连通。
11、本专利技术与现有技术相比具备以下有益效果：（1）本专利技术可以对晶圆移动过程中的晃动进行实时的补偿，从而减少晶圆的晃动幅度，进而降低晶圆的碰撞概率；（2）本专利技术设置的温度控制模块，可以快速的对晶圆进行降温，从而确保晶圆的质量和稳定性；（3）本专利技术设置分离通道和隔离通道的配合，可以将空气中的灰尘颗粒与空气分离，防止晶圆在散热的过程中灰尘撞击晶圆表面，从而防止灰尘对晶圆造成损坏。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：包括夹持组件，所述夹持组件包括摆动调节架（107），摆动调节架（107）上转动安装有花键轴支架（104），花键轴支架（104）上固定安装有花键轴（103）和夹持电缸（105），所述花键轴（103）上通过花键滑动安装有两个对称设置的夹持摆臂（101），每个夹持摆臂（101）上均固定安装有用于平衡的配重块（106），所述摆动调节架（107）转动安装在支撑摆动架（108）上，支撑摆动架（108）上还固定安装有温度控制模块，所述温度控制模块包括汇流室（208），汇流室（208）上设置有平衡喷嘴（2081）和散热喷嘴（2082），所述汇流室（208）上固定安装有连接嘴（207），连接嘴（207）上固定安装有至少三个分离通道（205），每个分离通道（205）内壁的切线位置固定安装有隔板通道（206），隔板通道（206）的另一端延伸至分离通道（205）的外侧。
2.根据权利要求1所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述夹持电缸（105）的伸缩杆端部活动安装有两个对称设置的夹持拉杆（102），两个夹持拉杆（102）分别与对应的
3.根据权利要求2所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述摆动调节架（107）上固定安装有X轴平衡电机（110），X轴平衡电机（110）的输出轴与花键轴（103）之间通过传动带（111）传动连接。
4.根据权利要求3所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述支撑摆动架（108）上固定安装有Y轴平衡电机（109），Y轴平衡电机（109）的输出轴与摆动调节架（107）固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：其中一个所述的配重块（106）上固定安装有散热平衡架（112），散热平衡架（112）的顶端转动安装有散热平衡舵（113），散热平衡架（112）上还固定安装有用于调节散热平衡舵（113）摆动角度的舵机（114）。
6.根据权利要求5所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述汇流室（208）与支撑摆动架（108）固定连接，所述散热喷嘴（2082）上固定安装有释压嘴（209），释压嘴（209）内侧设置有至少三片调节板（210）。
7.根据权利要求6所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：每片所述的调节板（210）上均固定安装有调节摆杆（214），所述释压嘴（209）上固定安装有调节滑板支架（212），调节滑板支架（212）上滑动安装有调节滑板（213），调节滑板（213）与所有的调节摆杆（214）活动连接。
8.根据权利要求7所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述释压嘴（209）上固定安装有调节电缸（211），调节电缸（211）的伸缩杆端部与调节滑板（213）通过调节连杆（215）活动连接。
9.根据权利要求8所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述分离通道（205）上固定安装有进气室（201），进气室（201）上开设有与分离通道（205）相连通的通气口（2011），所述进气室（201）内壁固定安装有进气电机支架（202），进气电机支架（202）上固定安装有进气电机（203），进气电机（203）的输出轴上固定安装有进气扇（204）。
10.根据权利要求9所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述进气室（201）内部与所有的分离通道（205）内部连通，所有的分离通道（205）内部通过连接嘴（207）与汇流室（208）内部连通。
...【技术特征摘要】
1.一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：包括夹持组件，所述夹持组件包括摆动调节架（107），摆动调节架（107）上转动安装有花键轴支架（104），花键轴支架（104）上固定安装有花键轴（103）和夹持电缸（105），所述花键轴（103）上通过花键滑动安装有两个对称设置的夹持摆臂（101），每个夹持摆臂（101）上均固定安装有用于平衡的配重块（106），所述摆动调节架（107）转动安装在支撑摆动架（108）上，支撑摆动架（108）上还固定安装有温度控制模块，所述温度控制模块包括汇流室（208），汇流室（208）上设置有平衡喷嘴（2081）和散热喷嘴（2082），所述汇流室（208）上固定安装有连接嘴（207），连接嘴（207）上固定安装有至少三个分离通道（205），每个分离通道（205）内壁的切线位置固定安装有隔板通道（206），隔板通道（206）的另一端延伸至分离通道（205）的外侧。
2.根据权利要求1所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述夹持电缸（105）的伸缩杆端部活动安装有两个对称设置的夹持拉杆（102），两个夹持拉杆（102）分别与对应的夹持摆臂（101）活动连接。
3.根据权利要求2所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述摆动调节架（107）上固定安装有x轴平衡电机（110），x轴平衡电机（110）的输出轴与花键轴（103）之间通过传动带（111）传动连接。
4.根据权利要求3所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：所述支撑摆动架（108）上固定安装有y轴平衡电机（109），y轴平衡电机（109）的输出轴与摆动调节架（107）固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种光伏半导体生产用石英舟托，其特征在于：其中一个所述的配...
【专利技术属性】
技术研发人员：汤芳，常永喜，张勇，孙秋谨，
申请(专利权)人：浙江浩鑫半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。