System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种UV-LED紫外光固化磁性油墨及其制备方法和在芯片加工生产中的应用技术_技高网

一种UV-LED紫外光固化磁性油墨及其制备方法和在芯片加工生产中的应用技术

技术编号:40651975 阅读:13 留言:0更新日期:2024-03-13 21:29
本发明专利技术涉及油墨技术领域,且公开了一种UV‑LED紫外光固化磁性油墨及其制备方法和在芯片加工生产中的应用。制备方法包括:将四氧化三铁依次与γ‑氨丙基三乙氧基硅烷、环氧氯丙烷反应,得到功能化四氧化三铁;将功能化四氧化三铁、双羟丙基聚二甲基硅氧烷、聚丙二醇、六亚甲基二异氰酸酯、1,1'‑二(1‑羟乙基)二茂铁、异佛尔酮二异氰酸酯、甲基丙烯酸羟乙酯聚合,得到改性聚氨酯丙烯酸酯;将改性光引发剂与改性聚氨酯丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙酮、消泡剂、流平剂混合,得到UV‑LED紫外光固化磁性油墨。该UV‑LED紫外光固化磁性油墨在芯片加工生产中可用于对晶粒不良品进行标记,通过磁性吸附分离的方式分离出晶粒不良品,从而对不良品进行剔除。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及油墨,具体涉及一种uv-led紫外光固化磁性油墨及其制备方法和在芯片加工生产中的应用。


技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。在半导体制程中,随着晶圆尺寸增大及元件尺寸缩小,一片晶圆可依需要划分为数千个相同或不同的晶粒。由于制作过程中的操作问题或材料本身的特性,导致最后制备出的晶圆包括正常晶粒和缺陷晶粒。为了避免后续过程中,缺陷晶粒对晶圆的性能造成影响,通常需要对缺陷晶粒标记,便于剔除。

2、现有技术如中国专利申请cn101197350a公开了一种具有标记的晶圆,通过使用热固性墨水标记晶圆上的缺陷晶粒,从而使缺陷晶粒被筛选出来,实现对晶粒不良品的剔除。但是其剔除过程费时费力,并不能快速高效的将晶粒不良品剔除,同时热固化墨水的固化时间过长,不利于大批量生产。

3、现有技术如中国专利申请cn101891988a公开了一种紫外光固化磁性油墨及其应用,通过在光固连结料中添加磁性颜料纳米四氧化三铁,从而使制得的光固化油墨具有磁性。但是所用的纳米四氧化三铁表面没有进行改性,在制备过程中纳米四氧化三铁不易分散在基体中,容易团聚,从而在光固化过程中容易出现分层现象,限制了材料的应用。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种uv-led紫外光固化磁性油墨及其制备方法和在芯片加工生产中的应用,该uv-led紫外光固化磁性油墨具有优良的综合性能和优异的磁性分离性能,在芯片加工生产中可用于对晶粒不良品进行标记,通过磁性吸附分离的方式分离出晶粒不良品,从而对不良品进行剔除。

2、为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案如下:

3、一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,包括以下步骤:

4、步骤(1)、将四氧化三铁与水混合,超声,加入乙醇水溶液和γ-氨丙基三乙氧基硅烷,第一次反应,反应结束后,离心,过滤,洗涤,干燥,得到改性四氧化三铁;将改性四氧化三铁与丙酮混合,滴加环氧氯丙烷,滴加完毕后,第二次反应,反应结束后,过滤,洗涤,得到功能化四氧化三铁;

5、步骤(2)、将功能化四氧化三铁、双羟丙基聚二甲基硅氧烷、聚丙二醇、六亚甲基二异氰酸酯混合搅拌,混合均匀后,加入第一引发剂,在氮气氛围中、第一次反应,反应结束后,得到第一次反应产物,在第一次反应产物中加入1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁、异佛尔酮二异氰酸酯和第二引发剂,第二次反应,反应结束后,得到第二次反应产物,在第二次反应产物中加入甲基丙烯酸羟乙酯和第三引发剂,第三次反应,反应结束后,得到改性聚氨酯丙烯酸酯;

6、步骤(3)、将γ-氨丙基三乙氧基硅烷、苯基缩水甘油醚、氢氧化钠、水混合,反应,得到改性poss;将改性poss与丙酮混合,超声,加入异佛尔酮二异氰酸酯和二月桂酸二丁基锡,第一次反应,反应结束后,得到第一次反应产物,将第一次反应产物与α-羟基异丁酰苯混合,第二次反应,反应结束后,过滤,加入洗涤液洗涤,干燥,得到改性光引发剂;

7、步骤(4)、将改性聚氨酯丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙酮、消泡剂、流平剂混合,搅拌,加入改性光引发剂和α-羟基异丁酰苯,搅拌,得到uv-led紫外光固化磁性油墨。

8、优选地,所述步骤(1)中:四氧化三铁、乙醇水溶液、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、水的质量比为100:(200-250):(30-40):(3000-3200);改性四氧化三铁、环氧氯丙烷、丙酮的质量比为(8-10):(2-3):(20-30)。

9、优选地,乙醇水溶液包括50wt%乙醇水溶液。

10、优选地,所述步骤(1)中:第一次反应条件为:在40-50℃温度下第一次反应10-18h,滴加条件为:在室温下滴加20-30min;第二次反应条件为:在50-55℃温度下第二次反应4-6h。

11、优选地,所述步骤(2)中:功能化四氧化三铁、双羟丙基聚二甲基硅氧烷、聚丙二醇、六亚甲基二异氰酸酯、第一引发剂、1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁、异佛尔酮二异氰酸酯、甲基丙烯酸羟乙酯的质量比为(1-3):(3-4):(70-80):(15-20):(0.1-0.2):0.5:(2-3):(8-10)。

12、优选地,所述步骤(2)中:第一次反应条件为:在氮气氛围中、55-65℃温度下第一次反应3-4h;第二次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第二次反应1-2h;第三次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第三次反应0.5-1h。

13、优选地,所述步骤(2)中:第一引发剂、第二引发剂、第三引发剂的质量比为1:1:1;第一引发剂和第二引发剂均为二月桂酸二丁基锡,第三引发剂为偶氮二异丁腈。

14、优选地,所述步骤(3)中:γ-氨丙基三乙氧基硅烷、苯基缩水甘油醚、氢氧化钠、水的质量比为(22-25):(30-35):(32-36):(58-65);反应条件为:在25-35℃温度下反应48-56h。

15、优选地,所述步骤(3)中:改性poss、异佛尔酮二异氰酸酯、二月桂酸二丁基锡、α-羟基异丁酰苯、丙酮的质量比为(5-8):(100-140):(0.4-0.6):(110-150):(300-400);第一次反应条件为:在50-60℃温度下第一次反应3-4h;第二次反应条件为:在55-60℃温度下第二次反应5-6h。

16、优选地,所述洗涤液包括丙酮。

17、优选地,所述步骤(4)中:改性聚氨酯丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、改性光引发剂、α-羟基异丁酰苯、丙酮、消泡剂、流平剂的质量比为(50-60):5:(2-3):(2-3):(30-40):1:1。

18、优选地,消泡剂包括有机硅消泡剂;流平剂包括有机硅流平剂。

19、优选地,一种采用如上所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,制备得到的uv-led紫外光固化磁性油墨。

20、优选地,一种采用如上所述的uv-led紫外光固化磁性油墨在芯片加工生产中的应用。

21、与现有技术相比,本专利技术的有益效果为:本专利技术中将四氧化三铁与硅烷偶联剂γ-氨丙基三乙氧基硅烷表面接枝,得到具有氨基基团和硅氧烷基团的改性四氧化三铁;将改性四氧化三铁与环氧氯丙烷反应,环氧基开环,得到具有双羟基基团和硅氧烷基团的功能化四氧化三铁;双羟基基团可以与异氰酸酯基团反应,使功能化四氧化三铁参与聚氨酯的聚合反应中,将功能化四氧化三铁聚合在聚氨酯主链上,提高了四氧化三铁在聚氨酯预聚体中的分散性,使其不易团聚,同时改性四氧化三铁表面的聚硅氧烷也共聚在聚氨酯分子链中,使得聚氨酯预聚体在具有磁性的同时,耐水性和附着力有所提高。

22、此外,添加的1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁可以进一步提高聚氨酯预聚体的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中:四氧化三铁、乙醇水溶液、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、水的质量比为100:(200-250):(30-40):(3000-3200);改性四氧化三铁、环氧氯丙烷、丙酮的质量比为(8-10):(2-3):(20-30);第一次反应条件为:在40-50℃温度下第一次反应10-18h,滴加条件为:在室温下滴加20-30min;第二次反应条件为:在50-55℃温度下第二次反应4-6h。

3.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中:功能化四氧化三铁、双羟丙基聚二甲基硅氧烷、聚丙二醇、六亚甲基二异氰酸酯、第一引发剂、1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁、异佛尔酮二异氰酸酯、甲基丙烯酸羟乙酯的质量比为(1-3):(3-4):(70-80):(15-20):(0.1-0.2):0.5:(2-3):(8-10)。

4.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中:第一次反应条件为:在氮气氛围中、55-65℃温度下第一次反应3-4h;第二次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第二次反应1-2h;第三次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第三次反应0.5-1h。

5.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中:第一引发剂、第二引发剂、第三引发剂的质量比为1:1:1;第一引发剂和第二引发剂均为二月桂酸二丁基锡,第三引发剂为偶氮二异丁腈。

6.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中:γ-氨丙基三乙氧基硅烷、苯基缩水甘油醚、氢氧化钠、水的质量比为(22-25):(30-35):(32-36):(58-65);反应条件为:在25-35℃温度下反应48-56h。

7.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中:改性POSS、异佛尔酮二异氰酸酯、二月桂酸二丁基锡、α-羟基异丁酰苯、丙酮的质量比为(5-8):(100-140):(0.4-0.6):(110-150):(300-400);第一次反应条件为:在50-60℃温度下第一次反应3-4h;第二次反应条件为:在55-60℃温度下第二次反应5-6h。

8.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中:改性聚氨酯丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、改性光引发剂、α-羟基异丁酰苯、丙酮、消泡剂、流平剂的质量比为(50-60):5:(2-3):(2-3):(30-40):1:1。

9.一种采用如权利要求1-8任一项所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法制备得到的UV-LED紫外光固化磁性油墨。

10.一种如权利要求9所述的UV-LED紫外光固化磁性油墨在芯片加工生产中的应用。

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【技术特征摘要】

1.一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中:四氧化三铁、乙醇水溶液、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、水的质量比为100:(200-250):(30-40):(3000-3200);改性四氧化三铁、环氧氯丙烷、丙酮的质量比为(8-10):(2-3):(20-30);第一次反应条件为:在40-50℃温度下第一次反应10-18h,滴加条件为:在室温下滴加20-30min;第二次反应条件为:在50-55℃温度下第二次反应4-6h。

3.根据权利要求1所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中:功能化四氧化三铁、双羟丙基聚二甲基硅氧烷、聚丙二醇、六亚甲基二异氰酸酯、第一引发剂、1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁、异佛尔酮二异氰酸酯、甲基丙烯酸羟乙酯的质量比为(1-3):(3-4):(70-80):(15-20):(0.1-0.2):0.5:(2-3):(8-10)。

4.根据权利要求1所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中:第一次反应条件为:在氮气氛围中、55-65℃温度下第一次反应3-4h;第二次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第二次反应1-2h;第三次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第三次反应0.5-1h。

5.根据权利要求1所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐谦
申请(专利权)人:广东成利泰科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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