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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及油墨,具体涉及一种uv-led紫外光固化磁性油墨及其制备方法和在芯片加工生产中的应用。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。在半导体制程中,随着晶圆尺寸增大及元件尺寸缩小,一片晶圆可依需要划分为数千个相同或不同的晶粒。由于制作过程中的操作问题或材料本身的特性,导致最后制备出的晶圆包括正常晶粒和缺陷晶粒。为了避免后续过程中,缺陷晶粒对晶圆的性能造成影响,通常需要对缺陷晶粒标记,便于剔除。
2、现有技术如中国专利申请cn101197350a公开了一种具有标记的晶圆,通过使用热固性墨水标记晶圆上的缺陷晶粒,从而使缺陷晶粒被筛选出来,实现对晶粒不良品的剔除。但是其剔除过程费时费力,并不能快速高效的将晶粒不良品剔除,同时热固化墨水的固化时间过长,不利于大批量生产。
3、现有技术如中国专利申请cn101891988a公开了一种紫外光固化磁性油墨及其应用,通过在光固连结料中添加磁性颜料纳米四氧化三铁,从而使制得的光固化油墨具有磁性。但是所用的纳米四氧化三铁表面没有进行改性,在制备过程中纳米四氧化三铁不易分散在基体中,容易团聚,从而在光固化过程中容易出现分层现象,限制了材料的应用。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种uv-led紫外光固化磁性油墨及其制备方法和在芯片加
2、为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案如下:
3、一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,包括以下步骤:
4、步骤(1)、将四氧化三铁与水混合,超声,加入乙醇水溶液和γ-氨丙基三乙氧基硅烷,第一次反应,反应结束后,离心,过滤,洗涤,干燥,得到改性四氧化三铁;将改性四氧化三铁与丙酮混合,滴加环氧氯丙烷,滴加完毕后,第二次反应,反应结束后,过滤,洗涤,得到功能化四氧化三铁;
5、步骤(2)、将功能化四氧化三铁、双羟丙基聚二甲基硅氧烷、聚丙二醇、六亚甲基二异氰酸酯混合搅拌,混合均匀后,加入第一引发剂,在氮气氛围中、第一次反应,反应结束后,得到第一次反应产物,在第一次反应产物中加入1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁、异佛尔酮二异氰酸酯和第二引发剂,第二次反应,反应结束后,得到第二次反应产物,在第二次反应产物中加入甲基丙烯酸羟乙酯和第三引发剂,第三次反应,反应结束后,得到改性聚氨酯丙烯酸酯;
6、步骤(3)、将γ-氨丙基三乙氧基硅烷、苯基缩水甘油醚、氢氧化钠、水混合,反应,得到改性poss;将改性poss与丙酮混合,超声,加入异佛尔酮二异氰酸酯和二月桂酸二丁基锡,第一次反应,反应结束后,得到第一次反应产物,将第一次反应产物与α-羟基异丁酰苯混合,第二次反应,反应结束后,过滤,加入洗涤液洗涤,干燥,得到改性光引发剂;
7、步骤(4)、将改性聚氨酯丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙酮、消泡剂、流平剂混合,搅拌,加入改性光引发剂和α-羟基异丁酰苯,搅拌,得到uv-led紫外光固化磁性油墨。
8、优选地,所述步骤(1)中:四氧化三铁、乙醇水溶液、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、水的质量比为100:(200-250):(30-40):(3000-3200);改性四氧化三铁、环氧氯丙烷、丙酮的质量比为(8-10):(2-3):(20-30)。
9、优选地,乙醇水溶液包括50wt%乙醇水溶液。
10、优选地,所述步骤(1)中:第一次反应条件为:在40-50℃温度下第一次反应10-18h,滴加条件为:在室温下滴加20-30min;第二次反应条件为:在50-55℃温度下第二次反应4-6h。
11、优选地,所述步骤(2)中:功能化四氧化三铁、双羟丙基聚二甲基硅氧烷、聚丙二醇、六亚甲基二异氰酸酯、第一引发剂、1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁、异佛尔酮二异氰酸酯、甲基丙烯酸羟乙酯的质量比为(1-3):(3-4):(70-80):(15-20):(0.1-0.2):0.5:(2-3):(8-10)。
12、优选地,所述步骤(2)中:第一次反应条件为:在氮气氛围中、55-65℃温度下第一次反应3-4h;第二次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第二次反应1-2h;第三次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第三次反应0.5-1h。
13、优选地,所述步骤(2)中:第一引发剂、第二引发剂、第三引发剂的质量比为1:1:1;第一引发剂和第二引发剂均为二月桂酸二丁基锡,第三引发剂为偶氮二异丁腈。
14、优选地,所述步骤(3)中:γ-氨丙基三乙氧基硅烷、苯基缩水甘油醚、氢氧化钠、水的质量比为(22-25):(30-35):(32-36):(58-65);反应条件为:在25-35℃温度下反应48-56h。
15、优选地,所述步骤(3)中:改性poss、异佛尔酮二异氰酸酯、二月桂酸二丁基锡、α-羟基异丁酰苯、丙酮的质量比为(5-8):(100-140):(0.4-0.6):(110-150):(300-400);第一次反应条件为:在50-60℃温度下第一次反应3-4h;第二次反应条件为:在55-60℃温度下第二次反应5-6h。
16、优选地,所述洗涤液包括丙酮。
17、优选地,所述步骤(4)中:改性聚氨酯丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、改性光引发剂、α-羟基异丁酰苯、丙酮、消泡剂、流平剂的质量比为(50-60):5:(2-3):(2-3):(30-40):1:1。
18、优选地,消泡剂包括有机硅消泡剂;流平剂包括有机硅流平剂。
19、优选地,一种采用如上所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,制备得到的uv-led紫外光固化磁性油墨。
20、优选地,一种采用如上所述的uv-led紫外光固化磁性油墨在芯片加工生产中的应用。
21、与现有技术相比,本专利技术的有益效果为:本专利技术中将四氧化三铁与硅烷偶联剂γ-氨丙基三乙氧基硅烷表面接枝,得到具有氨基基团和硅氧烷基团的改性四氧化三铁;将改性四氧化三铁与环氧氯丙烷反应,环氧基开环,得到具有双羟基基团和硅氧烷基团的功能化四氧化三铁;双羟基基团可以与异氰酸酯基团反应,使功能化四氧化三铁参与聚氨酯的聚合反应中,将功能化四氧化三铁聚合在聚氨酯主链上,提高了四氧化三铁在聚氨酯预聚体中的分散性,使其不易团聚,同时改性四氧化三铁表面的聚硅氧烷也共聚在聚氨酯分子链中,使得聚氨酯预聚体在具有磁性的同时,耐水性和附着力有所提高。
22、此外,添加的1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁可以进一步提高聚氨酯预聚体的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中:四氧化三铁、乙醇水溶液、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、水的质量比为100:(200-250):(30-40):(3000-3200);改性四氧化三铁、环氧氯丙烷、丙酮的质量比为(8-10):(2-3):(20-30);第一次反应条件为:在40-50℃温度下第一次反应10-18h,滴加条件为:在室温下滴加20-30min;第二次反应条件为:在50-55℃温度下第二次反应4-6h。
3.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中:功能化四氧化三铁、双羟丙基聚二甲基硅氧烷、聚丙二醇、六亚甲基二异氰酸酯、第一引发剂、1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁、异佛尔酮二异氰酸酯、甲基丙烯酸羟乙酯的质量比为(1-3):(3-4):(70-80):(15-20):(0.1-0.2):0.5:(2-3):(8-10)。
4.根据权利要求1所述的一种
5.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中:第一引发剂、第二引发剂、第三引发剂的质量比为1:1:1;第一引发剂和第二引发剂均为二月桂酸二丁基锡,第三引发剂为偶氮二异丁腈。
6.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中:γ-氨丙基三乙氧基硅烷、苯基缩水甘油醚、氢氧化钠、水的质量比为(22-25):(30-35):(32-36):(58-65);反应条件为:在25-35℃温度下反应48-56h。
7.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中:改性POSS、异佛尔酮二异氰酸酯、二月桂酸二丁基锡、α-羟基异丁酰苯、丙酮的质量比为(5-8):(100-140):(0.4-0.6):(110-150):(300-400);第一次反应条件为:在50-60℃温度下第一次反应3-4h;第二次反应条件为:在55-60℃温度下第二次反应5-6h。
8.根据权利要求1所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中:改性聚氨酯丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、改性光引发剂、α-羟基异丁酰苯、丙酮、消泡剂、流平剂的质量比为(50-60):5:(2-3):(2-3):(30-40):1:1。
9.一种采用如权利要求1-8任一项所述的一种UV-LED紫外光固化磁性油墨的制备方法制备得到的UV-LED紫外光固化磁性油墨。
10.一种如权利要求9所述的UV-LED紫外光固化磁性油墨在芯片加工生产中的应用。
...【技术特征摘要】
1.一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中:四氧化三铁、乙醇水溶液、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、水的质量比为100:(200-250):(30-40):(3000-3200);改性四氧化三铁、环氧氯丙烷、丙酮的质量比为(8-10):(2-3):(20-30);第一次反应条件为:在40-50℃温度下第一次反应10-18h,滴加条件为:在室温下滴加20-30min;第二次反应条件为:在50-55℃温度下第二次反应4-6h。
3.根据权利要求1所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中:功能化四氧化三铁、双羟丙基聚二甲基硅氧烷、聚丙二醇、六亚甲基二异氰酸酯、第一引发剂、1,1'-二(1-羟乙基)二茂铁、异佛尔酮二异氰酸酯、甲基丙烯酸羟乙酯的质量比为(1-3):(3-4):(70-80):(15-20):(0.1-0.2):0.5:(2-3):(8-10)。
4.根据权利要求1所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中:第一次反应条件为:在氮气氛围中、55-65℃温度下第一次反应3-4h;第二次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第二次反应1-2h;第三次反应条件为:在氮气氛围中、65-70℃温度下第三次反应0.5-1h。
5.根据权利要求1所述的一种uv-led紫外光固化磁性油墨的制备方法,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐谦,
申请(专利权)人:广东成利泰科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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