【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀覆，特别涉及一种载板及镀膜设备。
技术介绍
1、异质结电池是一种高效晶硅太阳能电池结构，利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。异质结电池具有工艺流程简单，以及更高转化效率的优点。
2、异质结电池中非晶硅薄膜主要通过镀膜设备生产，例如，非晶硅薄膜通过板式pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，即等离子体增强化学气相沉积)设备沉积；又例如，tco玻璃表面的导电氧化物薄膜由等离子体沉积设备或物理气相沉积等设备完成。
3、现有技术中，非晶硅薄膜通过镀膜设备生产中，存在片内和片间镀膜厚度均匀性差，导致产品良率低的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术旨在提出一种载板及镀膜设备，以解决或部分解决现有的非晶硅薄膜在镀膜设备生产中，存在片内和片间镀膜厚度均匀性差，导致产品良率低的问题。
2、为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
3、第一方面，本技术实施例提供一种载板，该载板包括底板、上板和调节构件；所述底板设有第一安装部和第一端面；所述上板设于所述第一安装部处；所述上板包括第二安装部，所述第二安装部用于设置待镀膜件；所述调节构件连接于所述底板和所述上板；所述载板在工作的情况下，所述第一端面和所述第二安装部均面向工艺气体进气口；所述调节构件调节所述底板和所述上板的相对位置，以改变所述第一端面和所述第二安装部的相对位置。
4、可选的，所述调节构件为螺
5、可选的，所述上板背离所述第二安装部的端部表面设有球形凹槽，所述螺杆的一端呈半球体结构，所述螺杆的一端适于插入所述球形凹槽内。
6、可选的，所述螺杆的另一端位于所述螺纹孔内。
7、可选的，所述载板包括多个所述调节构件，多个所述调节构件沿所述上板的外周均布布置。
8、可选的，所述第一安装部为第一凹槽结构，所述第一端面设有所述第一凹槽结构，所述上板设于所述第一凹槽结构内。
9、可选的，所述上板背离所述第二安装部的端部表面和所述第一凹槽结构的槽底具有间隙。
10、可选的，所述第二安装部为第二凹槽结构，所述第二凹槽结构的槽底设有第二通孔，所述第一凹槽结构的槽底设有第一通孔；所述第二通孔和所述第一通孔连通，以将所述第二凹槽结构的槽内空间和所述底板背离所述第一端面的外部空间相连通。
11、可选的，所述第一安装部为通孔结构，所述通孔结构的一端位于所述第一端面，所述上板设于所述通孔结构内。
12、可选的，所述底板还包括连接部，所述连接部一端与所述通孔结构的孔壁连接，所述连接部的另一端位于所述通孔结构内，所述连接部与所述调节构件连接。
13、可选的，所述底板包括多个所述第一安装部，多个所述第一安装部呈阵列设置。
14、第二方面，本技术实施例还提供一种镀膜设备，该镀膜设备包括设备主体和载板，所述载板设于所述设备主体内，所述载板为如上述的载板。
15、本技术公开了一种载板，该载板包括底板、上板和调节构件；上板设于底板的第一安装部内；上板包括第二安装部，第二安装部用于设置待镀膜件。载板在使用过程中，当上板出现损坏时，可以仅更换出现损坏的上板，相对于更换整个载板，具有维修和更换成本低的优点。调节构件连接于底板和上板；调节构件调节底板和上板的相对位置，以改变第一端面和第二安装部的相对位置，使得第二安装部内的待镀膜件到上级底板或者靶材的间距改变，从而实现调节待镀膜件上镀膜厚度，使得任一片待镀膜件以及同一载板上的所有待镀膜件的镀膜厚度相一致，待镀膜件的镀膜均匀性好，有效提高待镀膜件的良品率；且仅通过调节构件调节底板和上板的相对位置，即可实现调节待镀膜件上镀膜厚度，还具有调节简单方便的优点。
16、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本技术的具体实施方式。
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1.一种载板，其特征在于，包括底板(20)、上板(30)和调节构件；
2.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述调节构件为螺杆(41)，所述底板(20)设有螺纹孔(23)，所述螺杆(41)设于所述螺纹孔(23)内，所述螺杆(41)的一端伸出所述螺纹孔(23)与所述上板(30)背离所述第二安装部(31)的端部抵接。
3.根据权利要求2所述的载板，其特征在于，所述上板(30)背离所述第二安装部(31)的端部表面设有球形凹槽(32)，所述螺杆(41)的一端呈半球体结构，所述螺杆(41)的一端适于插入所述球形凹槽(32)内。
4.根据权利要求2所述的载板，其特征在于，所述螺杆(41)的另一端位于所述螺纹孔(23)内。
5.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述载板(10)包括多个所述调节构件，多个所述调节构件沿所述上板(30)的外周均布布置。
6.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述第一安装部(21)为第一凹槽结构(24)，所述第一端面(22)设有所述第一凹槽结构(24)，所述上板(30)设于所述第一凹槽结构(24
7.根据权利要求6所述的载板，其特征在于，所述上板(30)背离所述第二安装部(31)的端部表面和所述第一凹槽结构(24)的槽底具有间隙(11)。
8.根据权利要求6所述的载板，其特征在于，所述第二安装部(31)为第二凹槽结构，所述第二凹槽结构的槽底设有第二通孔(33)，所述第一凹槽结构(24)的槽底设有第一通孔(25)；所述第二通孔(33)和所述第一通孔(25)连通，以将所述第二凹槽结构的槽内空间和所述底板(20)背离所述第一端面(22)的外部空间相连通。
9.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述第一安装部(21)为通孔结构(26)，所述通孔结构(26)的一端位于所述第一端面(22)，所述上板(30)设于所述通孔结构(26)内。
10.根据权利要求9所述的载板，其特征在于，所述底板(20)还包括连接部(27)，所述连接部(27)一端与所述通孔结构(26)的孔壁连接，所述连接部(27)的另一端位于所述通孔结构(26)内，所述连接部(27)与所述调节构件连接。
11.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述底板(20)包括多个所述第一安装部(21)，多个所述第一安装部(21)呈阵列设置。
12.一种镀膜设备，其特征在于，包括设备主体和载板(10)，所述载板(10)设于所述设备主体内，所述载板(10)为如权利要求1－11任一项所述的载板。
...【技术特征摘要】
1.一种载板，其特征在于，包括底板(20)、上板(30)和调节构件；
2.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述调节构件为螺杆(41)，所述底板(20)设有螺纹孔(23)，所述螺杆(41)设于所述螺纹孔(23)内，所述螺杆(41)的一端伸出所述螺纹孔(23)与所述上板(30)背离所述第二安装部(31)的端部抵接。
3.根据权利要求2所述的载板，其特征在于，所述上板(30)背离所述第二安装部(31)的端部表面设有球形凹槽(32)，所述螺杆(41)的一端呈半球体结构，所述螺杆(41)的一端适于插入所述球形凹槽(32)内。
4.根据权利要求2所述的载板，其特征在于，所述螺杆(41)的另一端位于所述螺纹孔(23)内。
5.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述载板(10)包括多个所述调节构件，多个所述调节构件沿所述上板(30)的外周均布布置。
6.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述第一安装部(21)为第一凹槽结构(24)，所述第一端面(22)设有所述第一凹槽结构(24)，所述上板(30)设于所述第一凹槽结构(24)内。
7.根据权利要求6所述的载板，其特征在于，所述上板(30)背离所述第二安装部(31)的端部表面和所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒙勇，杨苗，殷实，王立维，宋鹏，陈皓，曲铭浩，徐希翔，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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