一种双膜压差压力传感器制造技术

本技术公开了一种双膜压差压力传感器，包括壳体，所述壳体上开设有检测腔，所述检测腔内固设有MEMS压差传感器，所述检测腔内部上下端通过MEMS压差传感器分隔成上检测室以及下检测室，通过MEMS压差传感器的上下面分别检测上检测室以及下检测室内的压力。本装置在MEMS压差传感器的上下面分别设计了与两个管路相连通的检测室，将两个管路的压力分别引入到上检测室以及下检测室内，通过一个MEMS差压传感器芯片的正反两个面同时监测2种不同的压力，并换算得出两路不同压力的压力差值，集成度高；同时在壳体内部设置了导流槽，可及时将传感器内部因环境温度变化产出的冷凝水排出，避免传感器测量误差或损坏。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于压差传感器，具体为一种双膜压差压力传感器。

技术介绍

1、差压(压差)传感器dps是一种用来测量两个压力之间差值的传感器，通常用于测量某一设备或部件前后两端的压差，主要应用测量汽车发动机尾气颗粒捕集器(dpf)前后通道的尾气压力差，然后将压力差信号送至ecu，ecu根据该压力差判断捕集器中的颗粒的积聚程度，决定“再生”触发时刻及额外燃料注入量。同时，ecu还可以通过控制egr阀、电子节气门的开度来提高尾气温度。

2、目前市场上常规的差压传感器是单膜压差传感器，此类压差传感器只能同时判断两端管路的压差力，无法单独对单端管路的绝对压力进行测量，在检测时精度低。稳定性差；同时在检测的过程中，内部因外部环境温度的变化，传感器内部可出现冷凝水，冷凝水堆积在传感器内部，容易导致传感器出现测量误差或损坏。

3、鉴于此，提出了一种双膜压差压力传感器。

技术实现思路

1、本技术的目的在于：为了解决上述提出的问题，提供一种双膜压差压力传感器。

2、本技术采用的技术方案如下：一种双膜压差压力传感器，包括壳体，所述壳体上开设有检测腔，所述检测腔内固设有mems压差传感器，所述检测腔内部上下端通过mems压差传感器分隔成上检测室以及下检测室，通过mems压差传感器的上下面分别检测上检测室以及下检测室内的压力；

3、所述壳体上设有分别与上检测室以及下检测室相连通的第一采集头和第二采集头；

4、所述下检测室和上检测室底壁上均设有向下倾斜的导流槽。

5、在一优选的实施方式中，所述检测腔上方在壳体内可拆连接有密封盖，所述密封盖与壳体的连接处均匀填充有密封胶。

6、在一优选的实施方式中，所述mems压差传感器上设有与mems压差传感器电连接的陶瓷线路板，所述壳体的一侧设有接插口，所述接插口内设有的引脚与陶瓷线路板电连接。

7、在一优选的实施方式中，所述mems压差传感器的底壁与壳体的接触面填充有第二密封胶。

8、在一优选的实施方式中，两个所述导流槽分别与第一采集头和第二采集头相连通，用于将冷凝后的水排出。

9、在一优选的实施方式中，所述壳体的一侧固设有若干个安装环，所述安装环作为嵌件在模具中与壳体一体注塑成型。

10、在一优选的实施方式中，所述密封盖的上侧内壁上一体成型有抵板，所述抵板的底端抵接在mems压差传感器上壁。

11、综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：

12、1、本技术中，在mems压差传感器的上下面分别设计了与两个管路相连通的检测室，将两个管路的压力分别引入到上检测室以及下检测室内，通过一个mems差压传感器芯片的正反两个面便可同时监测2种不同的压力，并换算得出两路不同压力的压力差值，集成度高，同时上检测室以及下检测室是隔开的，也可分别单独计算两个管路的绝对压力，当下游管路脱落时，也可及时报出故障。

13、2、本技术中，在壳体内部设置了导流槽，可及时将传感器内部因环境温度变化产出的冷凝水排出，避免传感器测量误差或损坏。

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【技术保护点】

1.一种双膜压差压力传感器，包括壳体(6)，其特征在于：所述壳体(6)上开设有检测腔，所述检测腔内固设有MEMS压差传感器(3)，所述检测腔内部上下端通过MEMS压差传感器(3)分隔成上检测室(10)以及下检测室(9)，通过MEMS压差传感器(3)的上下面分别检测上检测室(10)以及下检测室(9)内的压力；

2.如权利要求1所述的一种双膜压差压力传感器，其特征在于：所述检测腔上方在壳体(6)内可拆连接有密封盖(5)，所述密封盖(5)与壳体(6)的连接处均匀填充有密封胶(2)。

3.如权利要求1所述的一种双膜压差压力传感器，其特征在于：所述MEMS压差传感器(3)上设有与MEMS压差传感器(3)电连接的陶瓷线路板(4)，所述壳体(6)的一侧设有接插口(1)，所述接插口(1)内设有的引脚与陶瓷线路板(4)电连接。

4.如权利要求1所述的一种双膜压差压力传感器，其特征在于：所述MEMS压差传感器(3)的底壁与壳体(6)的接触面填充有第二密封胶(8)。

5.如权利要求1所述的一种双膜压差压力传感器，其特征在于：两个所述导流槽(13)分别与第一采集头(12)和第二采集头(11)相连通，用于将冷凝后的水排出。

6.如权利要求1所述的一种双膜压差压力传感器，其特征在于：所述壳体(6)的一侧固设有若干个安装环(7)，所述安装环(7)作为嵌件在模具中与壳体(6)一体注塑成型。

7.如权利要求2所述的一种双膜压差压力传感器，其特征在于：所述密封盖(5)的上侧内壁上一体成型有抵板，所述抵板的底端抵接在MEMS压差传感器(3)上壁。

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【技术特征摘要】

1.一种双膜压差压力传感器，包括壳体(6)，其特征在于：所述壳体(6)上开设有检测腔，所述检测腔内固设有mems压差传感器(3)，所述检测腔内部上下端通过mems压差传感器(3)分隔成上检测室(10)以及下检测室(9)，通过mems压差传感器(3)的上下面分别检测上检测室(10)以及下检测室(9)内的压力；

2.如权利要求1所述的一种双膜压差压力传感器，其特征在于：所述检测腔上方在壳体(6)内可拆连接有密封盖(5)，所述密封盖(5)与壳体(6)的连接处均匀填充有密封胶(2)。

3.如权利要求1所述的一种双膜压差压力传感器，其特征在于：所述mems压差传感器(3)上设有与mems压差传感器(3)电连接的陶瓷线路板(4)，所述壳体(6)的一侧设有接插口(1)，所述接插口(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑波，许俊杰，
申请(专利权)人：无锡盛迈克传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：