【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子级特种气体，具体地指一种电子级特种气体取样和检测装置。
技术介绍
1、电子级特种气体主要包括电子气体、高纯气体和标准气体，在半导体和微电子工业中应用广泛，是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的重要材料，由于在半导体等电子工业生产中的重要作用，电子特气被称为电子工业的“血液”。
2、电子级特种气体的品质主要取决于其纯度和净度，一旦纯度或是净度不达标，轻则使得下游产品质量不过关，重则扩散污染整条产品线，造成严重浪费。为了保证产品的合格率，避免经济损失，半导体制造商会对气体供应商提供的气体纯度做出严格要求，通过使用多种气体纯化技术并实时连续监测气体纯度，以确保输送到制造全过程的超纯气体的质量。
3、在取样检测过程中，电子级特种气体取样方法和检测对气体纯度的检测准确度起着至关重要的影响，受限于国内电子特气行业重生产而轻检测，因此检测方法和取样方法同国外厂商都有一定差距，缺少精确稳定的取样方法和取样系统。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服上述不足，提供一种电子级特种气体取样和检测装置，可实现检测仪器多种气体的多种分流控制和流量控制，保证特种气体检测的精准度，实现待检气体的便捷取样。
2、本技术为解决上述技术问题，所采用的技术方案是：一种电子级特种气体取样和检测装置，包括进样气路，所述进样气路末端设有气体缓冲瓶，所述气体缓冲瓶出气口通过连接管路分别与第一检测仪器保护气气路和第一检测仪器
3、优选地，所述进样气路前端设有第一过滤器，所述第一检测仪器保护气气路前端设有第二过滤器。
4、优选地，所述进样气路上设有单向阀，所述第一检测仪器进气气路上设有单向阀和流量计。
5、优选地，所述连接管路还分别与第二检测仪器保护气气路和第二检测仪器进气气路连接。
6、优选地，所述第二检测仪器保护气气路上设有第七阀门和第三过滤器，所述第二检测仪器进气气路上设有第八阀门。
7、优选地，所述第二检测仪器进气气路上还并联连接有两个支路，每个支路上均设有相应的单向阀和流量计。
8、优选地，靠近气体缓冲瓶出气口位置的连接管路上设有第九阀门，第二检测仪器进气气路两个支路间的连接管路上设有第十阀门，靠近第一检测仪器保护气气路位置的连接管路上设有第十一阀门。
9、本技术的有益效果：本技术装置适用各种酸碱性气体，可实现检测仪器多种气体的多种分流控制和流量控制，保证检测的精准度，同时也可实现待检气体的便捷取样。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种电子级特种气体取样和检测装置，包括进样气路（1），其特征在于：所述进样气路（1）末端设有气体缓冲瓶（2），所述气体缓冲瓶（2）出气口通过连接管路（8）分别与第一检测仪器保护气气路（3）和第一检测仪器进气气路（4）连接，气体缓冲瓶（2）排气口与排空气路（5）连接，进样气路（1）侧部与吹扫气气路（6）连接，气体缓冲瓶（2）取样口与取样气路（7）连接，所述进样气路（1）上设有第一阀门（1.1），所述第一检测仪器保护气气路（3）上设有第二阀门（3.1），所述第一检测仪器进气气路（4）上设有第三阀门（4.1），所述排空气路（5）上设有第四阀门（5.1），所述吹扫气气路（6）上设有第五阀门（6.1），所述取样气路（7）上设有第六阀门（7.1）。
2.根据权利要求1所述的一种电子级特种气体取样和检测装置，其特征在于：所述进样气路（1）前端设有第一过滤器（1.2），所述第一检测仪器保护气气路（3）前端设有第二过滤器（3.2）。
3.根据权利要求1所述的一种电子级特种气体取样和检测装置，其特征在于：所述进样气路（1）上设有单向阀，所述第一检测仪器进气气路（4）上设有
4.根据权利要求1所述的一种电子级特种气体取样和检测装置，其特征在于：所述连接管路（8）还分别与第二检测仪器保护气气路（9）和第二检测仪器进气气路（10）连接。
5.根据权利要求4所述的一种电子级特种气体取样和检测装置，其特征在于：所述第二检测仪器保护气气路（9）上设有第七阀门（9.1）和第三过滤器（9.2），所述第二检测仪器进气气路（10）上设有第八阀门（10.1）。
6.根据权利要求5所述的一种电子级特种气体取样和检测装置，其特征在于：所述第二检测仪器进气气路（10）上还并联连接有两个支路，每个支路上均设有相应的单向阀和流量计。
7.根据权利要求6所述的一种电子级特种气体取样和检测装置，其特征在于：靠近气体缓冲瓶（2）出气口位置的连接管路（8）上设有第九阀门（8.1），第二检测仪器进气气路（10）两个支路间的连接管路（8）上设有第十阀门（8.2），靠近第一检测仪器保护气气路（3）位置的连接管路（8）上设有第十一阀门（8.3）。
...【技术特征摘要】
1.一种电子级特种气体取样和检测装置，包括进样气路（1），其特征在于：所述进样气路（1）末端设有气体缓冲瓶（2），所述气体缓冲瓶（2）出气口通过连接管路（8）分别与第一检测仪器保护气气路（3）和第一检测仪器进气气路（4）连接，气体缓冲瓶（2）排气口与排空气路（5）连接，进样气路（1）侧部与吹扫气气路（6）连接，气体缓冲瓶（2）取样口与取样气路（7）连接，所述进样气路（1）上设有第一阀门（1.1），所述第一检测仪器保护气气路（3）上设有第二阀门（3.1），所述第一检测仪器进气气路（4）上设有第三阀门（4.1），所述排空气路（5）上设有第四阀门（5.1），所述吹扫气气路（6）上设有第五阀门（6.1），所述取样气路（7）上设有第六阀门（7.1）。
2.根据权利要求1所述的一种电子级特种气体取样和检测装置，其特征在于：所述进样气路（1）前端设有第一过滤器（1.2），所述第一检测仪器保护气气路（3）前端设有第二过滤器（3.2）。
3.根据权利要求1所述的一种电子级特种气体取样和检测装置，其特征在于：所述进样气路（1）上设有单...
【专利技术属性】
技术研发人员：李少平，刘洋，杨着，贺兆波，叶瑞，曾靖淞，郭岚峰，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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