一种水平吸盘的多向调整机构制造技术

本技术涉及一种水平吸盘的多向调整机构，包括连接杆，连接杆的一端与环形结构的固定环套的一侧相连，固定环套上至少开设有4个调节孔，所述调节孔内连接有调节螺栓，固定环片通过在调节孔内的调节螺栓与固定环套调节相连，固定环片的周边与至少有4个连接弹片的一端相连，连接弹片的另一端与外水平吸盘相连，固定环片上连接有至少2个调节固定环块，调节固定环块上穿接有调节螺柱，调节螺柱的上方穿过固定环套与固定夹块相连接，调节螺柱的下方穿过固定环片与内水平吸盘相连，调节螺柱上装有弹簧，弹簧的一端与内水平吸盘相碰触，弹簧的另一端与固定环片的底部相碰触。本技术可以针对不同尺寸的产品进行兼容，有效提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种水平吸盘的多向调整机构，尤其涉及一种兼容两种水吸盘的多向调整机构。

技术介绍

1、在半导体晶圆制造的领域中，经检索，专利：晶圆固定装置、晶圆固定基座及晶圆真空吸盘(cn201810191580.5)，包括：一晶圆固定基座及一升降装置。所述晶圆固定基座包括一旋转轴座、一吸盘座以及一晶圆真空吸盘；所述吸盘座固定设置在所述旋转轴座上；所述晶圆真空吸盘以弹性材料制造，且固定设置在所述吸盘座上。所述晶圆真空吸盘具有一吸盘本体、一环状支撑凸缘以及一真空槽；所述环状支撑凸缘自所述吸盘本体的周缘轴向向上突伸；所述真空槽形成在所述吸盘本体顶面，且被所述环状支撑凸缘所围绕；所述升降装置连接所述晶圆固定基座，且具有至少一顶针。上述的吸盘只能针对一种尺寸进行吸盘，针对不同的尺寸(如8和12英寸)，需要进行更换部件，从而降低了工作效率。

2、有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的水平吸盘的多向调整机构，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种水平吸盘的多向调整机构。

2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：

3、一种水平吸盘的多向调整机构，包括连接杆，所述连接杆的一端与环形结构的固定环套的一侧相连，所述固定环套上至少开设有4个调节孔，所述调节孔内连接有调节螺栓，所述固定环套连接有与固定环套环形口匹配的环形结构的固定环片，所述固定环片通过在调节孔内的调节螺栓与固定环套调节相连，所述固定环片的周边与至少有4个连接弹片的一端相连，所述连接弹片的另一端与外水平吸盘相连，所述调节孔的位置与连接弹片的位置相一一对应设置，所述固定环片上连接有至少2个调节固定环块，所述调节固定环块上穿接有调节螺柱，所述调节螺柱的上方穿过固定环套与固定夹块相连接，所述调节螺柱的下方穿过固定环片与内水平吸盘相连，所述调节螺柱上装有弹簧，所述弹簧的一端与内水平吸盘相碰触，弹簧的另一端与固定环片的底部相碰触。

4、优选地，所述的一种水平吸盘的多向调整机构，所述4个连接弹片等分连接在固定环片的周边上。

5、优选地，所述的一种水平吸盘的多向调整机构，所述调节螺柱通过连接块与内水平吸盘相连接。

6、优选地，所述的一种水平吸盘的多向调整机构，所述固定环套的一侧上开设有连接孔，所述连接杆的一端相连接有固定杆，所述固定杆插接于连接孔内。

7、优选地，所述的一种水平吸盘的多向调整机构，所述固定环套和连接杆之间通过连接片相连。

8、借由上述方案，本技术至少具有以下优点：

9、本技术可以通过调节螺栓和调节螺柱对不同尺寸的晶圆进行兼容吸附，不需要反复调整，提高工作效率，以便利生产。同时也不需要进行更换吸盘，达到降低成本，提高工作效率的目的。本技术结构简单，调节方便快捷。

10、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

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【技术保护点】

1.一种水平吸盘的多向调整机构，包括连接杆(1)，其特征在于：所述连接杆(1)的一端与环形结构的固定环套(2)的一侧相连，所述固定环套(2)上至少开设有4个调节孔(3)，所述调节孔(3)内连接有调节螺栓，所述固定环套(2)连接有与固定环套(2)环形口匹配的环形结构的固定环片(4)，所述固定环片(4)通过在调节孔(3)内的调节螺栓与固定环套(2)调节相连，所述固定环片(4)的周边与至少有4个连接弹片(5)的一端相连，所述连接弹片(5)的另一端与外水平吸盘(6)相连，所述调节孔(3)的位置与连接弹片(5)的位置相一一对应设置，所述固定环片(4)上连接有至少2个调节固定环块(7)，所述调节固定环块(7)上穿接有调节螺柱(8)，所述调节螺柱(8)的上方穿过固定环套(2)与固定夹块(9)相连接，所述调节螺柱(8)的下方穿过固定环片(4)与内水平吸盘(10)相连，所述调节螺柱(8)上装有弹簧(11)，所述弹簧(11)的一端与内水平吸盘相碰触，弹簧的另一端与固定环片(4)的底部相碰触。

2.根据权利要求1所述的一种水平吸盘的多向调整机构，其特征在于：所述4个连接弹片(5)等分连接在固定环片(4)的周边上。

3.根据权利要求1所述的一种水平吸盘的多向调整机构，其特征在于：所述调节螺柱(8)通过连接块与内水平吸盘(10)相连接。

4.根据权利要求1所述的一种水平吸盘的多向调整机构，其特征在于：所述固定环套(2)的一侧上开设有连接孔，所述连接杆(1)的一端相连接有固定杆，所述固定杆插接于连接孔内。

5.根据权利要求1或4所述的一种水平吸盘的多向调整机构，其特征在于：所述固定环套(2)和连接杆(1)之间通过连接片相连。

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【技术特征摘要】

1.一种水平吸盘的多向调整机构，包括连接杆(1)，其特征在于：所述连接杆(1)的一端与环形结构的固定环套(2)的一侧相连，所述固定环套(2)上至少开设有4个调节孔(3)，所述调节孔(3)内连接有调节螺栓，所述固定环套(2)连接有与固定环套(2)环形口匹配的环形结构的固定环片(4)，所述固定环片(4)通过在调节孔(3)内的调节螺栓与固定环套(2)调节相连，所述固定环片(4)的周边与至少有4个连接弹片(5)的一端相连，所述连接弹片(5)的另一端与外水平吸盘(6)相连，所述调节孔(3)的位置与连接弹片(5)的位置相一一对应设置，所述固定环片(4)上连接有至少2个调节固定环块(7)，所述调节固定环块(7)上穿接有调节螺柱(8)，所述调节螺柱(8)的上方穿过固定环套(2)与固定夹块(9)相连接，所述调节螺柱(8)的下方穿过固定环片(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾阳洋，林坚，卢伟，章健，沈东民，顾坚强，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：