【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆生产加工相关，尤其涉及一种晶圆规整寻址收料装置。
技术介绍
1、在对晶圆进行撕膜后，需要对晶圆及钢环收料处理。
2、经过海量检索，发现现有技术公开号为cn218144469u，公开了一种用于晶圆回收的收料装置，包括底座组件和第一升降组件，还包括与第一升降组件结构相同的第二升降组件，第一升降组件和第二升降组件镜像分布设置在底座组件上沿着x轴方向的两侧位置。本技术采用双料盒结构，一个料盒满了，自动退出，第二个料盒进入收料，留出取放更换料盒充裕时间；通过升降台包括升降台运动板和升降台底板的结构设置，以及第三导轨组件、导向轴、压缩弹簧和传感器单元的配合，具有撞击保护报警的功能。
3、综上所述，现有技术中存在的问题在于：当晶圆在收料后需要未对带钢环的晶圆进行规整，使得带钢环的晶圆与晶圆料盒可能会发生不能对于的情况，不方便后续带钢环的晶圆进入料盒。
4、有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆规整寻址收料装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种晶圆规整寻址收料装置。
2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
3、一种晶圆规整寻址收料装置，包括晶圆寻址收料组件，晶圆寻址收料组件包括晶圆寻址支撑架、晶圆寻址运动板、晶圆寻址伺服电机、料盒支撑板、料盒、晶圆寻址带传动机构和晶圆寻址丝杆传动机构，晶圆寻址支撑架底部一侧的晶圆寻址伺服电机可通过晶圆寻址带
4、在晶圆寻址收料组件沿着y轴负方向的一侧设置有晶圆规整组件；
5、晶圆规整组件包括顶升电缸、规整后支撑组件、规整执行组件、规整左连杆组件和规整右连杆组件；
6、顶升电缸通过电缸安装座安装在规整后支撑组件上，顶升电缸可驱动规整执行组件在规整后支撑组件上沿着z轴方向移动，规整执行组件的上方沿着x轴的正方向依次设置有规整左连杆组件和规整右连杆组件，规整执行组件可同步驱动上方的规整左连杆组件和规整右连杆组件沿着x轴方向移动。
7、作为本技术的进一步改进，规整后支撑组件包括规整后支撑板、规整后支撑活动板和规整后支撑连接板，规整后支撑板沿着y轴正方向的一侧安装有两个规整后支撑导轨，规整后支撑活动板通过规整后支撑滑块与规整后支撑导轨相连接；
8、规整执行组件包括规整执行基板、规整执行电机和规整执行带传动机构，规整执行基板通过规整后支撑连接板与规整后支撑活动板相连接，规整执行基板上安装有沿着x轴方向分布的规整执行导轨，规整执行基板底部一侧的规整执行电机通过规整执行带传动机构可同步驱动上方的规整左连杆组件和规整右连杆组件在规整执行导轨上沿着x轴方向移动。
9、作为本技术的进一步改进，规整后支撑板上沿着y轴负方向的一侧安装有至少一个规整后支撑加强筋。
10、作为本技术的进一步改进，规整执行基板上沿着x轴方向中间的位置安装有光电传感器架，光电传感器架上安装有至少一个光电传感器。
11、作为本技术的进一步改进，规整左连杆组件包括沿着y轴方向分布的规整左连杆，规整右连杆组件包括沿着y轴方向分布的规整右连杆，规整左连杆的底部通过规整左连杆支架和规整执行滑块与规整执行基板上的规整执行导轨相连接，规整右连杆的底部通过规整右连杆支架和规整执行滑块与规整执行基板上的规整执行导轨相连接。
12、作为本技术的进一步改进，规整执行基板上沿着x轴方向安装有至少一个规整执行传感器，规整右连杆支架的底部安装有与规整执行传感器相配合的规整连杆感应片。
13、作为本技术的进一步改进，规整左连杆以及规整右连杆沿着y轴负方向一侧的底部均安装有规整连杆传感器。
14、作为本技术的进一步改进，规整执行基板上沿着x轴方向中间的位置安装有规整执行限位块，规整执行限位块用于对规整左连杆以及规整右连杆在x轴方向上进行限位处理。
15、作为本技术的进一步改进，晶圆寻址支撑架上的一侧安装有沿着z轴方向分布的晶圆寻址板，晶圆寻址运动板上安装有晶圆寻址传感器。
16、借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
17、本技术通过晶圆规整组件对带钢环的晶圆进行规整，使得带钢环的晶圆与晶圆料盒正对，方便后续带钢环的晶圆进入料盒；
18、通过光电传感器监控料盒对应层是否有物料并结合晶圆寻址传感器反馈当前的位置信息，可以更加准备的监控料盒对应层是否有物料。
19、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
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1.一种晶圆规整寻址收料装置，包括晶圆寻址收料组件(2)，所述晶圆寻址收料组件(2)包括晶圆寻址支撑架(31)、晶圆寻址运动板(33)、晶圆寻址伺服电机(35)、料盒支撑板(36)、料盒(37)、晶圆寻址带传动机构(38)和晶圆寻址丝杆传动机构(39)，所述晶圆寻址支撑架(31)底部一侧的晶圆寻址伺服电机(35)可通过晶圆寻址带传动机构(38)和晶圆寻址丝杆传动机构(39)驱动晶圆寻址运动板(33)在晶圆寻址支撑架(31)上沿着Z轴方向移动，所述晶圆寻址运动板(33)上的料盒支撑板(36)安装有用于存放晶圆(9)的料盒(37)；
2.如权利要求1所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整后支撑组件(5)包括规整后支撑板(10)、规整后支撑活动板(13)和规整后支撑连接板(15)，所述规整后支撑板(10)沿着Y轴正方向的一侧安装有两个规整后支撑导轨(12)，所述规整后支撑活动板(13)通过规整后支撑滑块(14)与规整后支撑导轨(12)相连接；
3.如权利要求2所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整后支撑板(10)上沿着Y轴负方向的一侧
4.如权利要求2所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整执行基板(16)上沿着X轴方向中间的位置安装有光电传感器架(20)，所述光电传感器架(20)上安装有至少一个光电传感器(21)。
5.如权利要求2所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整左连杆组件(7)包括沿着Y轴方向分布的规整左连杆(26)，所述规整右连杆组件(8)包括沿着Y轴方向分布的规整右连杆(30)，所述规整左连杆(26)的底部通过规整左连杆支架(25)和规整执行滑块(23)与规整执行基板(16)上的规整执行导轨(22)相连接，所述规整右连杆(30)的底部通过规整右连杆支架(28)和规整执行滑块(23)与规整执行基板(16)上的规整执行导轨(22)相连接。
6.如权利要求5所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整执行基板(16)上沿着X轴方向安装有至少一个规整执行传感器(18)，所述规整右连杆支架(28)的底部安装有与规整执行传感器(18)相配合的规整连杆感应片(29)。
7.如权利要求5所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整左连杆(26)以及所述规整右连杆(30)沿着Y轴负方向一侧的底部均安装有规整连杆传感器(27)。
8.如权利要求5所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整执行基板(16)上沿着X轴方向中间的位置安装有规整执行限位块(24)，所述规整执行限位块(24)用于对规整左连杆(26)以及规整右连杆(30)在X轴方向上进行限位处理。
9.如权利要求1所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述晶圆寻址支撑架(31)上的一侧安装有沿着Z轴方向分布的晶圆寻址板(32)，所述晶圆寻址运动板(33)上安装有晶圆寻址传感器(34)。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆规整寻址收料装置，包括晶圆寻址收料组件(2)，所述晶圆寻址收料组件(2)包括晶圆寻址支撑架(31)、晶圆寻址运动板(33)、晶圆寻址伺服电机(35)、料盒支撑板(36)、料盒(37)、晶圆寻址带传动机构(38)和晶圆寻址丝杆传动机构(39)，所述晶圆寻址支撑架(31)底部一侧的晶圆寻址伺服电机(35)可通过晶圆寻址带传动机构(38)和晶圆寻址丝杆传动机构(39)驱动晶圆寻址运动板(33)在晶圆寻址支撑架(31)上沿着z轴方向移动，所述晶圆寻址运动板(33)上的料盒支撑板(36)安装有用于存放晶圆(9)的料盒(37)；
2.如权利要求1所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整后支撑组件(5)包括规整后支撑板(10)、规整后支撑活动板(13)和规整后支撑连接板(15)，所述规整后支撑板(10)沿着y轴正方向的一侧安装有两个规整后支撑导轨(12)，所述规整后支撑活动板(13)通过规整后支撑滑块(14)与规整后支撑导轨(12)相连接；
3.如权利要求2所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整后支撑板(10)上沿着y轴负方向的一侧安装有至少一个规整后支撑加强筋(11)。
4.如权利要求2所述的一种晶圆规整寻址收料装置，其特征在于，所述规整执行基板(16)上沿着x轴方向中间的位置安装有光电传感器架(20)，所述光电传感器架(20)上安装有至少一个光电传感器(21)。
5.如权利要求2所述的一种晶圆规整寻址...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，王乾宝，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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