【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体检测，特别是涉及一种料盘搬运机构。
技术介绍
1、由于半导体器件自身具有体积小、数量多且重量较轻的特点，因此在检测分选前后需要将其盛放在料盘上，通过搬运料盘来实现半导体器件的批量搬运。然而在半导体向料盘放置的过程中以及料盘搬运的过程中，都会出现一些不可避免的晃动和误差，从而导致半导体在料盘中放置位置产生偏差，出现翘起等现象，严重影响后续检测。因此在半导体检测前后，需要对料盘进行翘料检测。
2、以往的翘料检测技术多设置在检测前后料盘水平传输设备上，通过对射传感器扫描料盘上端面来实现翘料检测。但现阶段半导体检测设备，检测前后大都采用搬运机构进行搬运料盘，即通过夹手垂直移动抓取料盘并携带料盘移动搬运，其料盘与搬运机构之间不存在水平移动，因此以往的翘料检测技术难以适用。
技术实现思路
1、基于此，有必要提供一种能够对料盘进行翘料检测的料盘搬运机构。
2、一种料盘搬运机构，包括：固定板、夹手以及浮动板，所述夹手连接于所述固定板上，所述夹手与所述固定板之间形成用于固持料盘的夹持空间；所述浮动板位于所述夹持空间内，且所述浮动板能够相对所述固定板和所述夹手上下移动，以在所述夹手固持所述料盘时置于所述料盘上表面；所述固定板上还有设置有传感器，所述传感器用于在所述夹手固持所述料盘且所述浮动板置于所述料盘上表面时，检测所述浮动板是否倾斜。
3、本申请提供的料盘搬运机构，由于设有浮动板，浮动板能够相对固定板上下移动。当夹手固持料盘时，浮动板置于料盘上表面
4、在其中一个实施例中，所述浮动板通过浮动轴组件活动连接于所述固定板，所述浮动轴组件包括轴体，所述轴体穿设于所述固定板，所述浮动板连接于所述轴体下端。
5、如此，通过轴体与固定板配合能够限制浮动板的移动方向，避免浮动板沿水平方向脱出。
6、在其中一个实施例中，所述浮动轴组件还包括弹性件，在所述夹手固持所述料盘时，所述弹性件用于对所述浮动板施加朝远离所述固定板的方向移动的力。
7、如此，通过设置弹性件，可使得夹手固持料盘时，浮动板能够对料盘施加压力，从而可将料盘压平整，使得翘料检测的结果不受料盘变形的影响，并且，通过弹性件对浮动板施加压力，可使浮动板盖牢料盘，从而可以防止在搬运料盘的过程中出现撒料、翘料的情况。
8、在其中一个实施例中，所述浮动轴组件还包括固定于所述固定板的导向轴承，所述轴体穿设于所述导向轴承。
9、通过设置导向轴承，可使浮动板的移动更加顺畅及稳定。
10、在其中一个实施例中，所述导向轴承设有轴承孔，所述轴体穿设于所述轴承孔，所述轴体的外径小于所述轴承孔的内径，以使所述轴体能够相对所述轴承孔的轴线偏斜移动。
11、如此，浮动板能够相对料盘发生小幅度转动，从而当料盘出现翘料时，浮动板会被翘起的物料顶起而发生倾斜，从而通过浮动板的倾斜反映出料盘存在翘料情况。
12、在其中一个实施例中，所述浮动轴组件还包括设于所述轴体上端的止挡部，所述轴体上端通过所述止挡部止挡于所述导向轴承上端。
13、如此，通过止挡部可将轴体限制在导向轴承内，避免轴体脱落。
14、在其中一个实施例中，所述浮动轴组件还包括设置于所述止挡部和所述导向轴承上端面之间的缓冲垫，所述缓冲垫套设于所述轴体外侧。
15、设置缓冲垫可以避免轴体上下移动时止挡部直接撞击导向轴承，一方面能够起到减震消音的作用，另一方面可以避免损坏导向轴承，从而有利于延长使用寿命。
16、在其中一个实施例中，所述传感器沿所述浮动板的移动方向间隔设置有多组，多组所述传感器用于检测所述浮动板在多个高度上是否倾斜。
17、如此，该料盘搬运机构可以适用于搬运一个或多个料盘时的检测。
18、在其中一个实施例中，所述固定板的侧边设有安装支架，所述传感器通过所述安装支架安装于所述固定板上，所述安装支架包括固定架以及调节架，所述固定架固定于所述固定板侧边，所述调节架连接于所述固定架，所述传感器安装于所述调节架上，且所述调节架能够相对所述固定架活动，以调节所述传感器的安装位置。
19、如此，可确保传感器准确安装到位。
20、在其中一个实施例中，所述传感器为对射传感器，所述对射传感器包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端分别设于所述固定板的相对两侧，当所述浮动板贴合于所述料盘的上表面时，所述接收端能够接收到所述发射端发射的光线；当所述浮动板相对所述料盘的上表面倾斜时，所述接收端无法接收到所述发射端发射的光线。
21、如此，根据接收端是否能够接收到发射端发射的光线，即可判断浮动板是否发生倾斜，从而判断翘料情况。该传感器结构简单，易于实现。
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1.一种料盘搬运机构，其特征在于，包括：固定板(10)、夹手(20)以及浮动板(30)，
2.根据权利要求1所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述浮动板(30)通过浮动轴组件(50)活动连接于所述固定板(10)，所述浮动轴组件(50)包括轴体(51)，所述轴体(51)穿设于所述固定板(10)，所述浮动板(30)连接于所述轴体(51)下端。
3.根据权利要求2所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述浮动轴组件(50)还包括弹性件(52)，在所述夹手(20)固持所述料盘(70)时，所述弹性件(52)用于对所述浮动板(30)施加朝远离所述固定板(10)的方向移动的力。
4.根据权利要求2所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述浮动轴组件(50)还包括固定于所述固定板(10)的导向轴承(53)，所述轴体(51)穿设于所述导向轴承(53)。
5.根据权利要求4所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述导向轴承(53)设有轴承孔(531)，所述轴体(51)穿设于所述轴承孔(531)，所述轴体(51)的外径小于所述轴承孔(531)的内径，以使所述轴体(51)能够
6.根据权利要求4所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述浮动轴组件(50)还包括设于所述轴体(51)上端的止挡部(54)，所述轴体(51)上端通过所述止挡部(54)止挡于所述导向轴承(53)上端。
7.根据权利要求6所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述浮动轴组件(50)还包括设置于所述止挡部(54)和所述导向轴承(53)上端面之间的缓冲垫(55)，所述缓冲垫(55)套设于所述轴体(51)外侧。
8.根据权利要求1所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述传感器(40)沿所述浮动板(30)的移动方向间隔设置有多组，多组所述传感器(40)用于检测所述浮动板(30)在多个高度上是否倾斜。
9.根据权利要求1所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述固定板(10)的侧边设有安装支架(60)，所述传感器(40)通过所述安装支架(60)安装于所述固定板(10)上，所述安装支架(60)包括固定架(61)以及调节架(62)，所述固定架(61)固定于所述固定板(10)侧边，所述调节架(62)连接于所述固定架(61)，所述传感器(40)安装于所述调节架(62)上，且所述调节架(62)能够相对所述固定架(61)活动，以调节所述传感器(40)的安装位置。
10.根据权利要求1所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述传感器(40)为对射传感器，所述对射传感器包括发射端(41)和接收端(42)，所述发射端(41)和所述接收端(42)分别设于所述夹持空间的相对两侧，
...【技术特征摘要】
1.一种料盘搬运机构，其特征在于，包括：固定板(10)、夹手(20)以及浮动板(30)，
2.根据权利要求1所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述浮动板(30)通过浮动轴组件(50)活动连接于所述固定板(10)，所述浮动轴组件(50)包括轴体(51)，所述轴体(51)穿设于所述固定板(10)，所述浮动板(30)连接于所述轴体(51)下端。
3.根据权利要求2所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述浮动轴组件(50)还包括弹性件(52)，在所述夹手(20)固持所述料盘(70)时，所述弹性件(52)用于对所述浮动板(30)施加朝远离所述固定板(10)的方向移动的力。
4.根据权利要求2所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述浮动轴组件(50)还包括固定于所述固定板(10)的导向轴承(53)，所述轴体(51)穿设于所述导向轴承(53)。
5.根据权利要求4所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述导向轴承(53)设有轴承孔(531)，所述轴体(51)穿设于所述轴承孔(531)，所述轴体(51)的外径小于所述轴承孔(531)的内径，以使所述轴体(51)能够相对所述轴承孔(531)的轴线偏斜移动。
6.根据权利要求4所述的料盘搬运机构，其特征在于，所述浮动轴组件(50)还包括设于所述轴体(51)上端的止挡部(54)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：龙裕嘉，包荣剑，徐合，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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