【技术实现步骤摘要】
本申请涉及工件架，例如涉及一种卧式圆盘工件公自转工件架。
技术介绍
1、目前，工件常在真空状态下进行处理，以提升工件的相关性能。相关技术(公开号：cn212388106u)中公开了一种工件架旋转系统，包括安装座、转动组件和驱动系统。转动组件设于安装座，转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且自转盘还可绕着一公转轴转动设置。驱动连接于转动组件，驱动系统驱动自转盘绕着自转轴和/或公转轴转动，以使得自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。
2、在实现本公开实施例的过程中，发现相关技术中至少存在如下问题：
3、自转盘沿着其自转轴转动时，以及自转盘绕着一公转轴转动时，自转盘自身始终位于同一平面内。使得待处理工件始终于同一平面内运动，相较于仅使自转盘自转或公转，以带动待处理工件做旋转运动的处理效果提升较小。
4、需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、为了对披露的实施例的一些方面有基本的理解，下面给出了简单的概括。所述概括不是泛泛评述，也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围，而是作为后面的详细说明的序言。
2、本公开实施例提供一种卧式圆盘工件公自转工件架，以提高工件的处理效果。
3、在一些实施
4、可选地，还包括：支撑板，与所述第三筒型件相连，所述第一转轴穿设于所述支撑板；第四筒型件，连接于所述支撑板，所述第四筒型件的中心线与所述第一筒型件的中心线互相平行；第三转轴，可转动的安装于所述第四筒型件内部，且穿设于所述支撑板；第一直齿轮，安装于所述第三转轴；第二直齿轮，安装于所述第一筒型件；其中，所述第三转轴可受控转动，以使所述第一筒型件做旋转运动。
5、可选地，还包括：第一磁流体密封件；第四转轴，可转动的安装于所述第一磁流体密封件的内部，所述第四转轴的一端与所述第三转轴相连；其中，所述第四转轴的另一端可受控转动，以使所述第三转轴做旋转运动。
6、可选地，还包括：第一电机，用于提供驱动力；第一减速器，安装于所述第一电机和所述第一磁流体密封件之间；其中，所述第一减速器的输入端与所述第一电机的转动端相连，所述第一减速器的输出端与所述第四转轴的另一端相连。
7、可选地，还包括：安装板，所述第一减速器安装于所述安装板；支杆，所述支杆的两端分别与所述安装板和所述第一磁流体密封件相连；联轴器，连接于所述第一减速器的输出端与所述第四转轴的另一端之间；定位开关，安装于所述安装板，且位于所述减速器的侧方；其中，所述定位开关被配置为用以对所述联轴器进行定位。
8、可选地，还包括：第二磁流体密封件；第五转轴，可转动的安装于所述第二磁流体密封件的内部，所述第五转轴的一端与所述第二转轴相连；其中，所述第五转轴的另一端可受控转动，以使所述第二转轴做旋转运动。
9、可选地，还包括：第二电机，用于提供驱动力；第二减速器，安装于所述第二电机和所述第二磁流体密封件之间；其中，所述第二减速器的输入端与所述第二电机的转动端相连，所述第二减速器的输出端与所述第五转轴的另一端相连。
10、可选地，还包括：轴承，分别安装于所述第一筒型件和所述第三筒型件之间、第二筒型件与所述第一转轴之间、所述第三筒型件和所述第二转轴之间、以及所述第四筒型件和所述第三转轴之间。
11、可选地，所述支撑件包括：支撑盘，与所述第一筒型件相连，所述支撑盘包括第一通孔，所述第三筒型件穿设于所述第一通孔；支撑架，连接于所述支撑盘；支撑座，连接于所述支撑架，所述支撑座包括第二通孔，所述第二筒型件安装于所述二通孔的内部。
12、本公开实施例提供的一种卧式圆盘工件公自转工件架，可以实现以下技术效果：
13、本公开实施例提供的一种卧式圆盘工件公自转工件架，包括第一筒型件、支撑件、第二筒型件、第一转轴、第一锥齿轮、第三筒型件、第二转轴和第二锥齿轮。支撑件连接于第一筒型件，与第一筒型件同步运动。第二筒型件连接于支撑件，第二筒型件的中心线与第一筒型件的中心线互相垂直。第一转轴可转动的安装于第二筒型件的内部，用于与工件相连，能够相对于第二筒型件做旋转运动，以带动工件做旋转运动。第一锥齿轮安装于第一转轴，用于传递驱动力。第三筒型件可转动的安装于第二筒型件的内部，能够相对于第二筒型件做旋转运动。第二转轴可转动的安装于第三筒型件的内部，能够相对于第三筒型件做旋转运动。第二锥齿轮安装于第二转轴，用于传递驱动力。第二锥齿轮与第一锥齿轮齿间啮合连接，二者在传递驱动力的同时改变传动方向。其中，第一筒型件和第二转轴均可受控转动，以使工件在自转的同时公转。
14、使用过程中，第三筒型件处于固定状态。在进行工件自转时，控制第二转轴转动，即可带动第二锥齿轮转动。通过齿间啮合作用，即可带动第一锥齿轮转动。进而带动第一转轴转动，最终即可带动工件绕第一转轴的轴线自转，即在其所在平面内做旋转运动。在进行工件公转时，控制第一筒型件转动，即可带动支撑件转动。进而带动第一筒型件和第一转轴转动，最终即可带动工件绕第二转轴的轴线公转，即使其可在不同平面内做旋转运动。同时控制第二转轴和第一筒型件转动，即可使工件在自转的同时公转，进而使工件可以于立体空间内运动，提高了工件的处理效果。
15、以上的总体描述和下文中的描述仅是示例性和解释性的，不用于限制本申请。
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1.一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1至5中任一项所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求6所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求2至5中任一项所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求1至5中任一项所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，所述支撑件包括：
【技术特征摘要】
1.一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的一种卧式圆盘工件公自转工件架，其特征在于，还包...
【专利技术属性】
技术研发人员：慈连鳌，赵秀丽，李吉福，
申请(专利权)人：沈阳腾鳌真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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